جمع کرنے کی شرح اور فلم کے معیار کے درمیان تعلق

ویکیوم کوٹنگ کے عمل میں،جمع کرنے کی شرح پروڈکشن کی کارکردگی اور فلم کی خصوصیات دونوں کا تعین کرنے والے کلیدی پیرامیٹرز میں سے ایک ہے۔ تاہم، ضرورت سے زیادہ یا کم جمع کرنے کی شرح فلم کے معیار کو براہ راست متاثر کر سکتی ہے، اس طرح اس کی آپٹیکل، برقی اور مکینیکل کارکردگی متاثر ہوتی ہے۔ پتلی فلم کے عمل کو بہتر بنانے کے لیے جمع کی شرح اور معیار کے درمیان صحیح توازن قائم کرنا بہت ضروری ہے۔

I. جمع کرنے کی شرح کا بنیادی تصور

جمع کرنے کی شرح کو عام طور پر nm/s یا Å/s میں ظاہر کیا جاتا ہے، جو سبسٹریٹ سطح پر فی یونٹ وقت جمع ہونے والی فلم کی موٹائی کی نمائندگی کرتا ہے۔ یہ متعدد عوامل سے متاثر ہوتا ہے، بشمول:

ویکیوم لیول: پس منظر کا زیادہ دباؤ ذرہ کے بکھرنے کا باعث بنتا ہے، جس سے جمع ہونے کی مؤثر شرح کم ہوتی ہے۔

انرجی ان پٹ: وانپیکرن ماخذ کی حرارتی طاقت یا پھوٹنے والے ہدف کے خارج ہونے والے کرنٹ سے پھوٹنے / بخارات کی شرح کا تعین ہوتا ہے۔

گیس کے بہاؤ پر عمل کریں: رد عمل سے پھٹنے میں، گیس کا ارتکاز براہ راست جمع ہونے کی شرح کو متاثر کرتا ہے۔

II جمع کرنے کی شرح اور فلم کے معیار کو جوڑنے کا طریقہ کار
بہت زیادہ جمع ہونے کی شرح کے اثرات

کم فلمی کثافت: اعلی شرحوں پر محدود سطح کے پھیلاؤ کے نتیجے میں غیر محفوظ ڈھانچے ہوتے ہیں۔

تناؤ اور چپکنے کے مسائل: تیزی سے جمع ہونا اندرونی تناؤ کو بڑھاتا ہے اور آسنجن کو کمزور کرتا ہے۔

نظری تغیر: کم موٹائی کی درستگی ریفریکٹیو انڈیکس یا ٹرانسمیٹینس میں انحراف کا سبب بنتی ہے۔

ضرورت سے زیادہ کم جمع ہونے کی شرح کے اثرات

کم پیداواری صلاحیت: بڑے رقبے والے ذیلی ذخیرے کے لیے طویل سائیکل کا وقت تھرو پٹ کو کم کرتا ہے۔

آلودگی کا خطرہ: توسیعی جمع ہونے سے بقایا گیس یا ناپاکی کے شامل ہونے کا امکان بڑھ جاتا ہے۔

غیر معمولی اناج کی افزائش: بعض مواد میں، ضرورت سے زیادہ سست جمع ہونا سطح کی حد سے زیادہ کھردری یا موٹے دانوں کو فروغ دیتا ہے۔

بہترین جمع کرنے والی ونڈو

ایک اعتدال پسند جمع کی شرح فلم کی کثافت، تناؤ پر قابو پانے، اور موٹائی کی یکسانیت کے درمیان توازن کو یقینی بناتی ہے۔
عملی طور پر، شرح کیلیبریشن اور کوارٹج کرسٹل مانیٹرنگ (QCM) کو درست شرح کنٹرول کے لیے وسیع پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے۔

III جمع کرنے کی مختلف تکنیکوں میں ریٹ کنٹرول

حرارتی بخارات: ضرورت سے زیادہ شرح تھوکنے اور ذرات کے نقائص کا سبب بن سکتی ہے۔ بخارات کو مستحکم کرنے کے لیے مرحلہ وار ہیٹنگ کا استعمال کیا جاتا ہے۔

میگنیٹران سپٹرنگ: شرح ہدف کی طاقت اور گیس کے بہاؤ سے متاثر ہوتی ہے۔ اصلاح کو ہدف کے استعمال کی کارکردگی اور فلم کی یکسانیت میں توازن رکھنا چاہیے۔

ری ایکٹیو سپٹرنگ: ٹارگٹ پوائزننگ سے جمع ہونے کی شرح سخت متاثر ہوتی ہے، جس کے لیے بند لوپ پلازما/گیس فلو کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے۔

چہارم صنعتی طرز عمل

آپٹیکل کوٹنگز میں، ریٹ کنٹرول براہ راست ریفریکٹیو انڈیکس کی درستگی اور مداخلت کے رنگ کی مستقل مزاجی سے منسلک ہوتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر پتلی فلموں میں، ضرورت سے زیادہ شرح فلم کی مزاحمت کو تبدیل کر سکتی ہے، آلے کی کارکردگی کو کم کر دیتی ہے۔

آرائشی ملمع کاری میں، بڑے رقبے کی پیداواری صلاحیت کو زیادہ سے زیادہ کرنے کے لیے زیادہ قیمتوں کو ترجیح دی جاتی ہے، بشرطیکہ یکسانیت برقرار رہے۔

جمع کرنے کی شرح اور فلم کے معیار کے درمیان تعلق مضبوطی سے جوڑا جاتا ہے: بہت زیادہ شرح کثافت اور چپکنے سے سمجھوتہ کرتی ہے، جب کہ بہت کم شرح پیداواری صلاحیت کو کم کرتی ہے اور آلودگی کے خطرات کو بڑھاتی ہے۔ صرف درست جمع کی شرح کنٹرول اور عمل کی اصلاح کے ذریعے مینوفیکچررز آپٹیکل، الیکٹرانک اور آرائشی ایپلی کیشنز کے تقاضوں کو پورا کرتے ہوئے، کارکردگی اور معیار کے درمیان ایک بہترین توازن حاصل کر سکتے ہیں۔

-یہ مضمون شائع کیا گیا تھا۔ویکیوم کوٹنگ کا سامانصنعت کار Zhenhua ویکیوم