ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانلىرىدا،تاپشۇرۇش نىسبىتى ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە پىلاستىنكا خۇسۇسىيىتىنى بەلگىلەيدىغان ئاساسلىق پارامېتىرلارنىڭ بىرى. قانداقلا بولمىسۇن، چۆكمە سۈرئىتىنىڭ ھەددىدىن زىيادە يۇقىرى ياكى تۆۋەن بولۇشى پىلاستىنكا سۈپىتىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىپ، ئۇنىڭ ئوپتىكىلىق، ئېلېكترلىك ۋە مېخانىكىلىق ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. چۆكمە سۈرئىتى بىلەن سۈپىتى ئوتتۇرىسىدا توغرا تەڭپۇڭلۇقنى ساقلاش نېپىز پىلاستىنكا جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
I. چۆكمە نىسبىتىنىڭ ئاساسىي ئۇقۇمى
چۆكمە سۈرئىتى ئادەتتە nm/s ياكى Å/s بىلەن ئىپادىلىنىدۇ، بۇ ئاساس يۈزىگە بىرلىك ۋاقىت ئىچىدە چۆككەن پەردە قېلىنلىقىنى كۆرسىتىدۇ. بۇنىڭغا تۆۋەندىكىدەك نۇرغۇن ئامىللار تەسىر كۆرسىتىدۇ:
ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى: يۇقىرى ئارقا بېسىم زەررىچىلەرنىڭ چېچىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، ئۈنۈملۈك چۆكۈش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
ئېنېرگىيە كىرگۈزۈش: پارغا ئايلىنىش مەنبەسىنىڭ قىزىتىش قۇۋۋىتى ياكى پۈركۈش نىشانىنىڭ قويۇپ بېرىش ئېقىمى پۈركۈش/پارغا ئايلىنىش سۈرئىتىنى بەلگىلەيدۇ.
جەريان گاز ئېقىمى: رېئاكتىپ چاچراتقۇدا، گاز قويۇقلۇقى بىۋاسىتە چۆكمە سۈرئىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
II. چۆكمە سۈرئىتى ۋە پىلاستىنكا سۈپىتىنى باغلايدىغان مېخانىزملار
ھەددىدىن زىيادە يۇقىرى چۆكمە نىسبىتىنىڭ تەسىرى
تۆۋەن پەردە زىچلىقى: يۇقىرى سۈرئەتتىكى چەكلىك يۈزە تارقىلىش ۋاقتى تۆشۈكلۈك قۇرۇلمىلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
بېسىم ۋە چاپلىشىش مەسىلىلىرى: تېز توپلىنىش ئىچكى بېسىمنى ئاشۇرىدۇ ۋە چاپلىشىشنى ئاجىزلاشتۇرىدۇ.
ئوپتىكىلىق ئۆزگىرىشچانلىق: قېلىنلىقنىڭ توغرىلىقىنىڭ تۆۋەنلىشى سىنىش كۆرسەتكۈچى ياكى ئۆتكۈزۈشچانلىقىدا پەرقلىنىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
چۆكمە نىسبىتىنىڭ ھەددىدىن زىيادە تۆۋەن بولۇشىنىڭ تەسىرى
تۆۋەن ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى: چوڭ كۆلەمدىكى ئاساسىي ماتېرىياللارنىڭ ئۇزۇنراق دەۋرىيلىك ۋاقتى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
بۇلغىنىش خەۋپى: ئۇزۇن مۇددەت چۆكمە قىلىش قالدۇق گاز ياكى ئارىلاشمىلارنىڭ قوشۇلۇپ كېتىش ئېھتىماللىقىنى ئاشۇرىدۇ.
داننىڭ نورمالسىز ئۆسۈشى: بەزى ماتېرىياللاردا، بەك ئاستا چۆكۈش يۈزەكى داغلارنىڭ ئارتۇقچە بولۇشىنى ياكى قېلىن دانچىلارنىڭ كۆپىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئەڭ ياخشى چۆكمە كۆزنىكى
ئورتاچە چۆكمە نىسبىتى پىلاستىنكا زىچلىقى، بېسىمنى كونترول قىلىش ۋە قېلىنلىقنىڭ بىردەكلىكى ئوتتۇرىسىدىكى تەڭپۇڭلۇقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
ئەمەلىيەتتە، سۈرئەتنى تەڭشەش ۋە كۋارتس كرىستال كۆزىتىش (QCM) ئېنىق سۈرئەتنى كونترول قىلىش ئۈچۈن كەڭ قوللىنىلىدۇ.
III. ھەر خىل چۆكمە تېخنىكىلىرىدا سۈرئەتنى كونترول قىلىش
ئىسسىقلىق بىلەن پارغا ئايلىنىش: ھەددىدىن زىيادە سۈرئەت تۈكۈرۈك ۋە زەررىچە كەمتۈكلۈكلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن؛ پارغا ئايلىنىشنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن باسقۇچلۇق قىزىتىش ئۇسۇلى قوللىنىلىدۇ.
ماگنىترون پۈركۈش: سۈرئەت نىشاننىڭ كۈچى ۋە پىششىقلاپ ئىشلەنگەن گاز ئېقىمىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ؛ ئەلالاشتۇرۇش نىشاننى ئىشلىتىش ئۈنۈمى ۋە پىلاستىنكىنىڭ بىردەكلىكىنى تەڭپۇڭلاشتۇرۇشى كېرەك.
رېئاكتىپ چاچراش: نىشان زەھەرلىنىشىنىڭ چۆكمە سۈرئىتىگە كۈچلۈك تەسىر كۆرسىتىدۇ، شۇڭا يېپىق دەۋرىيلىك پلازما/گاز ئېقىمىنى كونترول قىلىش تەلەپ قىلىنىدۇ.
IV. سانائەت ئەمەلىيەتلىرى
ئوپتىكىلىق قاپلاشلاردا، سۈرئەتنى كونترول قىلىش سىنىش كۆرسەتكۈچىنىڭ توغرىلىقى ۋە ئارىلىشىش رەڭلىرىنىڭ مۇقىملىقى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردىلەردە، ھەددىدىن زىيادە سۈرئەت پەردىنىڭ قارشىلىقىنى ئۆزگەرتىپ، ئۈسكۈنىنىڭ ئىقتىدارىنى تۆۋەنلىتىۋېتىدۇ.
بېزەكلىك قاپلاشلاردا، بىردەكلىك ساقلانغان ئەھۋال ئاستىدا، چوڭ كۆلەمدىكى ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزۈش ئۈچۈن يۇقىرى نىسبەتتە ئىشلىتىش ئەۋزەل.
چۆكمە سۈرئىتى بىلەن پىلاستىنكا سۈپىتى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت زىچ مۇناسىۋەتلىك: بەك يۇقىرى سۈرئەت زىچلىق ۋە يېپىشقاقلىققا تەسىر كۆرسىتىدۇ، بەك تۆۋەن سۈرئەت ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە بۇلغىنىش خەۋپىنى ئاشۇرىدۇ. پەقەت ئېنىق چۆكمە سۈرئىتىنى كونترول قىلىش ۋە جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش ئارقىلىقلا ئىشلەپچىقارغۇچىلار ئۈنۈم بىلەن سۈپەت ئوتتۇرىسىدىكى ئەڭ ياخشى تەڭپۇڭلۇققا ئېرىشىپ، ئوپتىكىلىق، ئېلېكترونلۇق ۋە بېزەكچىلىك قوللىنىشچان پروگراممىلىرىنىڭ تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ.
—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 2-ئاينىڭ 4-كۈنى