នៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ គឺជាប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗមួយដែលកំណត់ទាំងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងលក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្ត។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អត្រាការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តខ្ពស់ ឬទាបពេកអាចប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់គុណភាពខ្សែភាពយន្ត ដោយហេតុនេះប៉ះពាល់ដល់ដំណើរការអុបទិក អគ្គិសនី និងមេកានិចរបស់វា។ ការស្វែងរកតុល្យភាពត្រឹមត្រូវរវាងអត្រាការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត និងគុណភាពគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការខ្សែភាពយន្តស្តើង។
I. គោលគំនិតជាមូលដ្ឋាននៃអត្រាបង្គរ
អត្រានៃការដាក់ជាធម្មតាត្រូវបានបង្ហាញជា nm/s ឬ Å/s ដែលតំណាងឱ្យកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ក្នុងមួយឯកតានៃពេលវេលាលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ វាត្រូវបានជះឥទ្ធិពលដោយកត្តាច្រើន រួមមាន៖
កម្រិតសុញ្ញកាស៖ សម្ពាធផ្ទៃខាងក្រោយខ្ពស់នាំឱ្យមានការខ្ចាត់ខ្ចាយភាគល្អិត ដែលធ្វើឱ្យអត្រាដាក់ភាគល្អិតមានប្រសិទ្ធភាពថយចុះ។
ការបញ្ចូលថាមពល៖ ថាមពលកំដៅនៃប្រភពហួត ឬចរន្តបញ្ចេញនៃគោលដៅបាញ់កំណត់អត្រាបាញ់/ហួត។
លំហូរឧស្ម័នដំណើរការ៖ នៅក្នុងការបាញ់ថ្នាំដែលមានប្រតិកម្ម កំហាប់ឧស្ម័នប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់អត្រានៃការដាក់។
II. យន្តការភ្ជាប់អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ និងគុណភាពខ្សែភាពយន្ត
ផលប៉ះពាល់នៃអត្រានៃការដាក់ខ្ពស់ហួសហេតុ
ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្តទាប៖ ពេលវេលាសាយភាយលើផ្ទៃមានកំណត់ក្នុងអត្រាខ្ពស់បណ្តាលឱ្យមានរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានរន្ធញើស។
បញ្ហាភាពតានតឹង និងការស្អិត៖ ការប្រមូលផ្តុំយ៉ាងឆាប់រហ័សបង្កើនភាពតានតឹងខាងក្នុង និងធ្វើឱ្យការស្អិតចុះខ្សោយ។
ភាពប្រែប្រួលអុបទិក៖ ភាពត្រឹមត្រូវនៃកម្រាស់ថយចុះបណ្តាលឱ្យមានគម្លាតនៅក្នុងសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ឬការបញ្ជូនពន្លឺ។
ផលប៉ះពាល់នៃអត្រាបង្គរទាបពេក
ផលិតភាពទាប៖ រយៈពេលវដ្តវែងជាងសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមធំធ្វើឱ្យបរិមាណផលិតកម្មថយចុះ។
ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគ៖ ការដាក់សារធាតុបន្ថែមយូរបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃឧស្ម័ន ឬភាពមិនបរិសុទ្ធដែលនៅសេសសល់។
ការលូតលាស់គ្រាប់ធញ្ញជាតិមិនប្រក្រតី៖ នៅក្នុងវត្ថុធាតុដើមមួយចំនួន ការដាក់ស្រទាប់យឺតពេកជំរុញឱ្យមានភាពរដុបនៃផ្ទៃហួសប្រមាណ ឬគ្រាប់ធញ្ញជាតិរដុប។
បង្អួចដាក់ប្រាក់ល្អបំផុត
អត្រានៃការដាក់ស្រទាប់កម្រិតមធ្យមធានានូវតុល្យភាពរវាងដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត ការគ្រប់គ្រងភាពតានតឹង និងឯកសណ្ឋានកម្រាស់។
នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ការក្រិតតាមខ្នាតអត្រា និងការត្រួតពិនិត្យគ្រីស្តាល់ Quartz (QCM) ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងអត្រាដ៏ច្បាស់លាស់។
III. ការគ្រប់គ្រងអត្រាក្នុងបច្ចេកទេសដាក់ប្រាក់ផ្សេងៗគ្នា
ការហួតដោយកម្ដៅ៖ អត្រាហួតហួសប្រមាណអាចបណ្តាលឱ្យមានការហៀរចេញ និងពិការភាពភាគល្អិត; កំដៅជាជំហានៗត្រូវបានប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យការហួតមានស្ថេរភាព។
ការបញ្ចេញចំហាយម៉ាញ៉េត្រុង៖ អត្រាត្រូវបានជះឥទ្ធិពលដោយថាមពលគោលដៅ និងលំហូរឧស្ម័នដំណើរការ។ ការធ្វើឲ្យប្រសើរឡើងត្រូវតែមានតុល្យភាពរវាងប្រសិទ្ធភាពប្រើប្រាស់គោលដៅ និងឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្ត។
ការបញ្ចេញសារធាតុប្រតិកម្ម៖ អត្រានៃការបញ្ចេញសារធាតុត្រូវបានប៉ះពាល់យ៉ាងខ្លាំងដោយការពុលគោលដៅ ដែលទាមទារឱ្យមានការគ្រប់គ្រងលំហូរប្លាស្មា/ឧស្ម័នក្នុងរង្វង់បិទជិត។
IV. ការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម
នៅក្នុងថ្នាំកូតអុបទិក ការគ្រប់គ្រងអត្រាត្រូវបានភ្ជាប់ដោយផ្ទាល់ទៅនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ និងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃពណ៌ជ្រៀតជ្រែក។
នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តស្តើង semiconductor អត្រាខ្ពស់ពេកអាចផ្លាស់ប្តូរភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត ដែលធ្វើឱ្យខូចដំណើរការឧបករណ៍។
នៅក្នុងថ្នាំកូតតុបតែង អត្រាខ្ពស់ជាងនេះត្រូវបានគេពេញចិត្តដើម្បីបង្កើនផលិតភាពលើផ្ទៃដីធំ ដរាបណាឯកសណ្ឋានត្រូវបានរក្សា។
ទំនាក់ទំនងរវាងអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ និងគុណភាពខ្សែភាពយន្តត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធ៖ អត្រាខ្ពស់ពេកធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ដង់ស៊ីតេ និងភាពស្អិតជាប់ ខណៈពេលដែលអត្រាទាបពេកកាត់បន្ថយផលិតភាព និងបង្កើនហានិភ័យនៃការបំពុល។ មានតែតាមរយៈការគ្រប់គ្រងអត្រាដាក់ស្រទាប់ដ៏ច្បាស់លាស់ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការប៉ុណ្ណោះ ទើបក្រុមហ៊ុនផលិតអាចសម្រេចបាននូវតុល្យភាពល្អបំផុតរវាងប្រសិទ្ធភាព និងគុណភាព ដោយបំពេញតម្រូវការនៃកម្មវិធីអុបទិក អេឡិចត្រូនិក និងការតុបតែង។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែកុម្ភៈ-០៤-២០២៦