Mekhoa ea ho roala ka vacuum,sekhahla sa ho beoa ha thepa ke e 'ngoe ea liparamente tsa bohlokoa tse khethollang katleho ea tlhahiso le thepa ea filimi. Leha ho le joalo, sekhahla se phahameng haholo kapa se tlase sa ho beoa ha filimi se ka ama boleng ba filimi ka kotloloho, ka hona sa ama ts'ebetso ea eona ea mahlo, ea motlakase le ea mechini. Ho fumana teka-tekano e nepahetseng lipakeng tsa sekhahla sa ho beoa ha filimi le boleng ho bohlokoa bakeng sa ntlafatso ea ts'ebetso ea filimi e tšesaane.
I. Khopolo ea Motheo ea Sekhahla sa ho Felisoa ha Chelete
Sekhahla sa ho lahla hangata se hlahisoa ka nm/s kapa Å/s, e emelang botenya ba filimi bo behiloeng ka nako ea yuniti holim'a bokaholimo ba substrate. Se susumetsoa ke lintlha tse ngata, ho kenyeletsoa:
Boemo ba Vacuum: Khatello e phahameng ea bokamorao e lebisa ho hasaneng ha likaroloana, e leng se fokotsang sekhahla se sebetsang sa ho beoa ha lintho.
Kenyelletso ea Matla: Matla a futhumatsang a mohloli oa mouoane kapa motlakase o ntšang metsi oa sepheo sa ho qhala a laola sekhahla sa ho qhala/ho qhala.
Phallo ea Khase ea Ts'ebetso: Ha ho qhalana ha khase ka mokhoa o arabelang, mahloriso a khase a ama ka kotloloho sekhahla sa ho beoa ha khase.
II. Mekhoa e Hokelang Sekhahla sa ho Hlahisoa le Boleng ba Filimi
Litlamorao tsa Sekhahla se Phahameng sa ho Fokotsa Tekanyo
Botebo bo Tlase ba Filimi: Nako e fokolang ea ho hasana ha bokaholimo ka sekhahla se phahameng e fella ka meaho e nang le masoba.
Mathata a Khatello ea Kelello le ho Khomarela: Ho bokellana ka potlako ho eketsa khatello ea maikutlo 'me ho fokolisa ho khomarela.
Phetoho ea Optical: Ho nepahala ha botenya bo fokotsehileng ho baka ho kheloha ho index ea refractive kapa transmittance.
Litlamorao tsa Sekhahla se Tlase sa ho Felisoa ha Chelete
Tlhahiso e Tlase: Nako e telele ea potoloho bakeng sa li-substrate tsa sebaka se seholo e fokotsa tlhahiso.
Kotsi ea Tšilafalo: Ho kenngoa ha khase ka nako e telele ho eketsa monyetla oa ho kenngoa ha khase e setseng kapa litšila.
Khōlo e sa Tloaelehang ea Lithollo: Linthong tse itseng, ho bokellana butle haholo ho khothalletsa ho ba thata haholo holim'a metsi kapa lithollo tse mahoashe.
Fensetere e ntle ka ho fetisisa ea ho tlosa
Sekhahla se itekanetseng sa ho beoa ha filimi se netefatsa tekano pakeng tsa ho teteana ha filimi, taolo ea khatello ea maikutlo le ho tšoana ha botenya.
Ha e le hantle, ho lekanya sekhahla le Tlhokomelo ea Crystal ea Quartz (QCM) li sebelisoa haholo bakeng sa taolo e nepahetseng ea sekhahla.
III. Taolo ea Litefiso Mekhoeng e Fapaneng ea ho Beha Tefo
Mouoane o Chesang: Sekhahla se feteletseng se ka baka ho tšoela mathe le ho se sebetse hantle ha dikokwana-hloko; ho futhumatsa ka mohato ho sebediswa ho tsitsisa mouoane.
Ho Hlakola ha Magnetron: Sekhahla se susumetsoa ke matla a sepheo le phallo ea khase ea ts'ebetso; ntlafatso e tlameha ho leka-lekanya katleho ea tšebeliso ea sepheo le ho tšoana ha filimi.
Ho Hlakola ka Tsela e Reactive: Sekhahla sa ho lahla metsi se angoa haholo ke chefo e reretsoeng, e hlokang taolo ea phallo ea plasma/khase e koetsoeng.
IV. Mekhoa ea Liindasteri
Likoahelong tsa optical, taolo ea sekhahla e amana ka ho toba le ho nepahala ha index ea refractive le ho tsitsa ha 'mala.
Lifiliming tse tšesaane tsa semiconductor, sekhahla se feteletseng se ka fetola ho hanyetsa ha filimi, sa theola ts'ebetso ea sesebelisoa.
Likobong tse khabisitsoeng, ho khethoa sekhahla se phahameng ho eketsa tlhahiso ea sebaka se seholo, ha feela ho bolokoa ho tšoana.
Kamano pakeng tsa sekhahla sa ho beoa ha thepa le boleng ba filimi e hokahane ka thata: sekhahla se phahameng haholo se beha sekgahla le ho kgomarela, ha sekhahla se tlase haholo se fokotsa tlhahiso mme se eketsa dikotsi tsa tšilafalo. Ke ka taolo e nepahetseng ya sekhahla sa ho beoa ha thepa le ntlafatso ya tshebetso feela moo bahlahisi ba ka fihlelang tekano e ntle pakeng tsa bokgoni le boleng, ho fihlela ditlhoko tsa ditshebediso tsa mahlasedi, tsa elektroniki le tsa mekhabiso.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Hlakola-04-2026