Sootaga i le va o le fua faatatau o le teuina ma le lelei o ata tifaga

I faiga o le ufiufiina o le vacuum, o lefua faatatau o le teuina o se tasi lea o fa'ailoga autū e fuafua ai le lelei o le gaosiga ma meatotino o ata tifaga. Peita'i, o le maualuga tele po'o le maualalo o le fua faatatau o le fa'aputuina e mafai ona a'afia sa'o ai le lelei o le ata tifaga, ma a'afia ai lona fa'atinoga opitika, eletise, ma le fa'ainisinia. O le maua o le paleni sa'o i le va o le fua faatatau o le fa'aputuina ma le lelei e taua tele mo le fa'aleleia atili o le fa'agasologa o ata tifaga manifinifi.

I. Manatu Fa'avae o le Fua Fa'aputuga

O le fua faatatau o le fa'aputuga e masani ona fa'aalia i le nm/s po'o le Å/s, e fa'atusalia ai le mafiafia o le ata tifaga ua fa'aputuina i le taimi ta'itasi i luga o le fogāeleele o le substrate. E a'afia i le tele o mea, e aofia ai:

Tulaga o le Vacuum: O le maualuga o le mamafa i tua atu e mafua ai ona fa'asalalauina vaega laiti, ma fa'aitiitia ai le fua faatatau o le fa'aputuina lelei.

Malosiaga e Ulufale Mai: O le malosiaga fa'avevela o le puna o le fa'amamago po'o le tafe fa'asa'oloto o le sini fa'asusu e fa'atonutonuina ai le fua fa'atatau o le fa'asusu/fa'asusu.

Tafega o le Kasa i le Faagasologa: I le reactive sputtering, o le malosi o le kasa e aʻafia saʻo ai le fua faatatau o le teuina.

II. Auala e So'otaga ai le Saosaoa o le Fa'aputuga ma le Lelei o Ata Tifaga
Aafiaga o le Maualuga Tele o le Fua Fa'aputuga

Maualalo le Mafiafia o Ata Tifaga: O le taimi fa'atapula'a o le sosolo o luga i fua fa'atatau maualuga e mafua ai ni fausaga e pu'upu'u.

Fa'afitauli o le Popolega ma le Pipii: O le vave fa'aputuina e fa'ateleina ai le popole totino ma fa'avaivaia ai le pipii.

Fesuiaiga o le Va'aiga: O le fa'aitiitia o le sa'o o le mafiafia e mafua ai le eseesega i le fa'asinomaga o le refractive po'o le transmittance.

Aafiaga o le Maualalo Tele o le Fua Fa'aputuga

Gaosiga Maualalo: O taimi fa'ata'amilosaga uumi mo mea e fa'aogaina i se vaega tetele e fa'aitiitia ai le gaosiga.

Lamatiaga o le Fa'aleagaina: O le umi o le teuina e fa'ateleina ai le avanoa e toe fa'aputu ai le kesi po'o mea leaga.

Tuputupu A'e Lē Masani o Saito: I nisi o mea, o le telegese o le fa'aputuina e mafua ai le tele o le ma'a'a o le fogaeleele po'o le mafiafia o saito.

Fa'amalama Fa'aputuga Sili Ona Lelei

O le fua faatatau o le fa'aputuina e mautinoa ai le paleni i le va o le mafiafia o le ata tifaga, le puleaina o le atuatuvale, ma le tutusa o le mafiafia.
I le faʻatinoina, o le faʻatulagaina o le fua faatatau ma le Quartz Crystal Monitoring (QCM) e faʻaaogaina lautele mo le puleaina saʻo o le fua faatatau.

III. Puleaina o le Fua Faatatau i Auala Eseese o le Fa'aputuga

Fa'apuna Vevela: O le tele naua o le fa'apuna e ono mafua ai le feanu ma fa'aletonu o mea manogi; e fa'aaoga le fa'avevela faasolosolo e fa'amautu ai le fa'apuna.

Magnetron Sputtering: O le fua faatatau e aʻafia e le malosiaga o le sini ma le tafe o le kesi o le faagasologa; e tatau i le faʻaleleia atili ona paleni le lelei o le faʻaaogaina o le sini ma le tutusa o le ata tifaga.

Reactive Sputtering: E ​​matuā a'afia lava le fua faatatau o le fa'aputuga e le fa'a'ona i le sini, e mana'omia ai le pulea fa'apitoa o le tafe o le plasma/kesi.

IV. Faiga Fa'apisinisi

I ufiufi opitika, o le puleaina o le fua faatatau e fesoʻotaʻi tuusaʻo ma le saʻo o le faasinomaga o le refractive ma le tutusa o lanu o le faʻalavelave.

I ata manifinifi o semiconductor, o le tele o le fua faatatau e mafai ona suia ai le tete'e atu o le ata, ma fa'aleagaina ai le fa'atinoga o le masini.

I vali teuteu, e sili atu le maualuga o fua faatatau ina ia faateleina ai le gaosiga i se vaega tele, pe afai e faatumauina pea le tutusa.

E fesoʻotaʻi lelei le sootaga i le va o le fua faatatau o le teuina ma le lelei o le ata tifaga: o le fua faatatau maualuga tele e faʻaleagaina ai le mafiafia ma le pipii, ae o le fua faatatau maualalo tele e faʻaitiitia ai le gaosiga ma faʻateleina ai lamatiaga o le faʻaleagaina. E naʻo le pulea saʻo o le fua faatatau o le teuina ma le faʻaleleia atili o le faagasologa e mafai ai e le au gaosi oloa ona ausia se paleni lelei i le va o le lelei ma le lelei, e faʻafetaui ai manaʻoga o faʻaoga vaʻai, eletise, ma teuteuga.

—O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum