Pilina ma waena o ka helu hoʻokaʻawale a me ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni

I nā kaʻina hana uhi vacuum, kaka helu waiho ʻana ʻo ia kekahi o nā palena koʻikoʻi e hoʻoholo ai i ka pono o ka hana ʻana a me nā waiwai kiʻiʻoniʻoni. Eia nō naʻe, hiki i nā helu hoʻokaʻawale kiʻekiʻe a haʻahaʻa paha ke hoʻopilikia pololei i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni, a laila e hoʻopilikia ai i kāna hana optical, uila, a me ka mechanical. ʻO ka hoʻokō ʻana i ke kaulike kūpono ma waena o ka helu hoʻokaʻawale a me ka maikaʻi he mea koʻikoʻi no ka hoʻonui ʻana i ke kaʻina hana ʻili lahilahi.

I. Manaʻo Kumu o ka Kaʻina Hoʻokahe

ʻO ka maʻamau, hōʻike ʻia ka helu hoʻokahe ʻana ma nm/s a i ʻole Å/s, e hōʻike ana i ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia i kēlā me kēia manawa ma luna o ka ʻili o ka substrate. Hoʻopili ʻia e nā kumu he nui, me:

Pae Vacuum: ʻO ke kaomi hope kiʻekiʻe e alakaʻi ai i ka hoʻopuehu ʻana o nā ʻāpana, e hōʻemi ana i ka helu hoʻopili kūpono.

Ikehu Hoʻokomo: ʻO ka mana hoʻomehana o ke kumu mahu a i ʻole ke au hoʻokuʻu o ka pahuhopu sputtering e hoʻoholo ai i ka wikiwiki o ka sputtering/evaporation.

Kaʻina Hana Kinoea: I ka reactive sputtering, hoʻopilikia pololei ka nui o ke kinoea i ka helu deposition.

II. Nā ʻano hana e hoʻopili ai i ka helu hoʻokahe a me ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni
Nā hopena o ka nui o ka waiho ʻana

ʻO ka Density Kiʻiʻoniʻoni Haʻahaʻa: ʻO ka manawa hoʻolaha ʻili palena ʻia ma nā helu kiʻekiʻe e hopena i nā ʻano porous.

Nā Pilikia o ke Koʻikoʻi a me ka Pipili: Hoʻonui ka hōʻiliʻili wikiwiki i ke koʻikoʻi kūloko a hoʻonāwaliwali i ka hoʻopili ʻana.

ʻO ka loli ʻana o ka Optical: ʻO ka emi ʻana o ka pololei o ka mānoanoa e hoʻoulu ai i nā ʻokoʻa i ka refractive index a i ʻole ka transmittance.

Nā hopena o ka helu hoʻokahe haʻahaʻa loa

Hana Haʻahaʻa: ʻO ka manawa pōʻaiapuni lōʻihi no nā substrates wahi nui e hōʻemi i ka throughput.

Ka Pōpilikia o ka Haumia: Hoʻonui ka waiho ʻana i ka manawa kūpono o ke koena kinoea a i ʻole ka hoʻohui ʻia ʻana o ka haumia.

Ka ulu ʻana o nā hua palaoa maʻamau ʻole: Ma kekahi mau mea, ʻo ka waiho lohi loa ʻana e hoʻoulu ai i ka ʻāʻī nui o ka ʻili a i ʻole nā ​​​​hua palaoa ʻāʻī.

Puka makani hoʻokaʻawale maikaʻi loa

ʻO ka nui o ka waiho ʻana he kaulike ia ma waena o ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni, ka kaohi ʻana i ke koʻikoʻi, a me ke ʻano like o ka mānoanoa.
I ka hana maoli, hoʻohana nui ʻia ka calibration rate a me ka Quartz Crystal Monitoring (QCM) no ka kaohi ʻana i ka rate pololei.

III. Ka Mana o ka Uku ma nā ʻAno Hoʻokaʻawale like ʻole

Ka Hoʻoheheʻe ʻana o ka Mahana: ʻO ka nui o ka hoʻoheheʻe ʻana e hiki ai ke kuha a me nā kīnā ʻōpala; hoʻohana ʻia ka hoʻomehana ʻana i kēlā me kēia ʻanuʻu e hoʻopaʻa i ka hoʻoheheʻe ʻana.

Magnetron Sputtering: Hoʻopili ʻia ka wikiwiki e ka mana o ka pahuhopu a me ke kahe ʻana o ke kinoea hana; pono ka hoʻonui ʻana e kaulike i ka pono o ka hoʻohana ʻana i ka pahuhopu a me ke kūlike o ka kiʻiʻoniʻoni.

Reactive Sputtering: Hoʻopilikia nui ʻia ka nui o ka waiho ʻana e ka lāʻau make i ka pahuhopu, e koi ana i ka kaohi ʻana o ke kahe ʻana o ka plasma/kinoea i pani ʻia.

IV. Nā Hana ʻOihana

I loko o nā uhi optical, pili pono ka kaohi o ka wikiwiki i ka pololei o ka refractive index a me ke kūlike o ke kala interference.

I loko o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi semiconductor, hiki i ka wikiwiki nui ke hoʻololi i ke kū'ē ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni, e hoʻohaʻahaʻa ana i ka hana o ka hāmeʻa.

I nā uhi hoʻonaninani, makemake ʻia nā kumukūʻai kiʻekiʻe e hoʻonui i ka huahua ma kahi nui, inā mālama ʻia ke ʻano like.

Ua pili pono ka pilina ma waena o ka nui o ka waiho ʻana a me ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni: ʻo ke kiʻekiʻe loa o ka nui e hoʻopilikia i ka nui a me ka hoʻopili ʻana, ʻoiai ʻo ka haʻahaʻa loa o ka nui e hōʻemi ana i ka huahana a hoʻonui i nā pilikia haumia. Ma o ka kaohi pololei ʻana i ka nui o ka waiho ʻana a me ka hoʻonui ʻana i ke kaʻina hana hiki i nā mea hana ke hoʻokō i kahi kaulike kūpono ma waena o ka pono a me ka maikaʻi, e hoʻokō ana i nā koi o nā noi optical, electronic, a me nā mea hoʻonaninani.

—Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala enā lako hana uhi vacuummea hana Zhenhua Vacuum