Ann am pròiseasan còmhdach falamh, anìre tasgaidh 'S e seo aon de na prìomh pharaimeatairean a tha a' dearbhadh èifeachdas cinneasachaidh agus feartan film. Ach, faodaidh ìrean tasgaidh ro àrd no ro ìosal buaidh dhìreach a thoirt air càileachd film, agus mar sin a' toirt buaidh air a choileanadh optigeach, dealain agus meacanaigeach. Tha e deatamach an cothromachadh ceart fhaighinn eadar ìre tasgaidh agus càileachd airson leasachadh pròiseas film tana.
I. Bun-bheachd Ìre Tasgaidh
Mar as trice, bidh an ìre tasgaidh air a chur an cèill ann an nm/s no Å/s, a’ riochdachadh tighead an fhilm a thèid a thasgadh gach aonad ùine air uachdar an t-substrate. Tha grunn nithean a’ toirt buaidh air, nam measg:
Ìre Falmhachaidh: Bidh cuideam cùl-fhiosrachaidh nas àirde ag adhbhrachadh sgapadh mìrean, a’ lughdachadh an ìre tasgaidh èifeachdach.
Cuir a-steach Lùtha: Tha cumhachd teasachaidh an stòr falmhachaidh no sruth sgaoilidh an targaid sputtering a’ dearbhadh an ìre sputtering/falmhachaidh.
Sruth Gas Pròiseis: Ann an sputtering ath-ghnìomhach, bidh dùmhlachd gas a’ toirt buaidh dhìreach air an ìre tasgaidh.
II. Dòighean-obrach a tha a’ ceangal ìre tasgadh agus càileachd film
Buaidhean Ìre Tasgaidh Ro-àrd
Dlùths Film Ìosal: Bidh ùine sgaoilidh uachdar cuibhrichte aig ìrean àrda ag adhbhrachadh structaran porous.
Cùisean Strus is Greamachaidh: Bidh cruinneachadh luath a’ meudachadh cuideam intreach agus a’ lagachadh greamachaidh.
Caochlaideachd Optaigeach: Bidh cruinneas tighead nas lugha ag adhbhrachadh claonaidhean ann an clàr-amais ath-tharraingeach no tar-chuir.
Buaidhean Ìre Tasgaidh ro ìosal
Cinneasachd Ìosal: Bidh amannan cearcall nas fhaide airson fo-stratan mòra a’ lughdachadh an toraidh.
Cunnart Truailleadh: Bidh tasgadh fada a’ meudachadh coltachd gun tèid gas fuigheallach no neo-ghlainead a thoirt a-steach.
Fàs Gràin Neo-àbhaisteach: Ann an cuid de stuthan, bidh tasgadh ro shlaodach ag adhbhrachadh cus garbh-uachdar no gràinean garbha.
Uinneag Tasgaidh as Fheàrr
Bidh ìre tasgaidh meadhanach a’ dèanamh cinnteach à cothromachadh eadar dùmhlachd film, smachd cuideam, agus cunbhalachd tighead.
Ann an cleachdadh, thathas a’ cleachdadh calabrachadh reata agus Sgrùdadh Criostail Quartz (QCM) gu farsaing airson smachd mionaideach air reata.
III. Smachd Ìrean ann an Diofar Dhòighean Tasgaidh
Falmhachadh Teirmeach: Dh’ fhaodadh cus sruthadh agus uireasbhaidhean mìrean adhbhrachadh; thathar a’ cleachdadh teasachadh mean air mhean gus falmhachadh a dhèanamh seasmhach.
Spùtadh Magnetron: Tha buaidh aig cumhachd an targaid agus sruthadh gas a’ phròiseis air an ìre; feumaidh an leasachadh cothromachadh a dhèanamh eadar èifeachdas cleachdaidh an targaid agus cunbhalachd an fhilm.
Sputtering Ath-ghnìomhach: Tha buaidh mhòr aig puinnseanachadh targaid air an ìre tasgaidh, agus tha feum air smachd sruthadh plasma/gas lùb dùinte.
IV. Cleachdaidhean Gnìomhachais
Ann an còtaichean optaigeach, tha smachd reata ceangailte gu dìreach ri cruinneas clàr-amais ath-tharraingeach agus cunbhalachd dath eadar-theachd.
Ann am filmichean tana leth-chonnsachaidh, faodaidh cus gluasaid atharrachadh a dhèanamh air strì an fhilm, a’ lughdachadh coileanadh an inneil.
Ann an còtaichean sgeadachaidh, is fheàrr ìrean nas àirde gus cinneasachd raointean mòra a mheudachadh, fhad ‘s a tha cunbhalachd air a chumail suas.
Tha an dàimh eadar ìre tasgaidh agus càileachd film ceangailte gu dlùth ri chèile: bidh ìre ro àrd a’ dèanamh cron air dùmhlachd agus greamachadh, agus bidh ìre ro ìosal a’ lughdachadh cinneasachd agus ag àrdachadh chunnartan truailleadh. Is ann dìreach tro smachd mionaideach air ìre tasgaidh agus leasachadh pròiseas as urrainn do luchd-saothrachaidh cothromachadh as fheàrr a choileanadh eadar èifeachdas agus càileachd, a’ coinneachadh ri iarrtasan thagraidhean optigeach, dealanach agus sgeadachaidh.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh leuidheam còmhdach falamhneach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 4 Gearran 2026
