Дар равандҳои пӯшонидани вакуумӣ,сатҳи таҳвил яке аз параметрҳои калидӣ мебошад, ки ҳам самаранокии истеҳсолот ва ҳам хосиятҳои плёнкаро муайян мекунад. Аммо, суръати аз ҳад зиёд баланд ё пасти таҳшиншавӣ метавонад ба сифати плёнка таъсири мустақим расонад ва бо ин ба кори оптикӣ, электрикӣ ва механикии он таъсир расонад. Барои беҳсозии раванди плёнкаи тунук ба даст овардани тавозуни дуруст байни суръати таҳшиншавӣ ва сифат муҳим аст.
I. Консепсияи асосии меъёри таҳвил
Суръати таҳшиншавӣ одатан бо нм/с ё Å/с ифода карда мешавад, ки ғафсии плёнкаеро, ки дар як воҳиди вақт дар сатҳи субстрат таҳшин мешавад, ифода мекунад. Ба он омилҳои гуногун, аз ҷумла: таъсир мерасонанд.
Сатҳи вакуум: Фишори заминаи баландтар боиси парокандашавии зарраҳо мегардад, ки суръати муассири таҳшиншавиро коҳиш медиҳад.
Энергияи воридотӣ: Қувваи гармкунии манбаи бухоршавӣ ё ҷараёни холӣ кардани ҳадафи пошидан суръати пошидан/бухоршавиро муайян мекунад.
Ҷараёни гази раванд: Дар пошидани реактивӣ, консентратсияи газ мустақиман ба суръати таҳшиншавӣ таъсир мерасонад.
II. Механизмҳое, ки суръати таҳшиншавӣ ва сифати плёнкаро пайваст мекунанд
Таъсири суръати аз ҳад зиёди боришот
Зичии пасти плёнка: Вақти маҳдуди паҳншавии сатҳ бо суръати баланд боиси сохторҳои сӯрохдор мегардад.
Стресс ва мушкилоти часпиш: Ҷамъшавии босуръат фишори дохилиро зиёд мекунад ва часпишро суст мекунад.
Тағйирпазирии оптикӣ: Кам шудани дақиқии ғафсӣ боиси инҳироф дар нишондиҳандаи шикаст ё гузариш мегардад.
Таъсири суръати аз ҳад пасти боришот
Ҳосилнокии паст: Вақти тӯлонии давра барои субстратҳои масоҳати калон қобилияти коркардро кам мекунад.
Хатари ифлосшавӣ: Тахтапушти тӯлонӣ эҳтимолияти воридшавии гази боқимонда ё ифлосиҳоро зиёд мекунад.
Афзоиши ғайримуқаррарии донаҳо: Дар баъзе маводҳо, таҳшиншавии аз ҳад зиёд суст боиси ноҳамвории аз ҳад зиёди сатҳ ё донаҳои дағал мегардад.
Тирезаи ҷойгиркунии оптималӣ
Суръати мӯътадили боркунӣ тавозуни байни зичии плёнка, назорати фишор ва якрангии ғафсӣро таъмин мекунад.
Дар амал, калибрченкунии суръат ва мониторинги кристаллҳои кварс (QCM) барои назорати дақиқи суръат васеъ истифода мешаванд.
III. Назорати суръат дар усулҳои гуногуни таҳшинкунӣ
Бухоршавии гармӣ: Суръати аз ҳад зиёд метавонад боиси пайдоиши туф ва нуқсонҳои зарраҳо гардад; гармкунии зина ба зина барои мӯътадил кардани бухоршавӣ истифода мешавад.
Пошидани магнетронӣ: Суръат аз қувваи ҳадаф ва ҷараёни гази коркард таъсир мегирад; беҳсозӣ бояд самаранокии истифодаи ҳадаф ва якрангии плёнкаро мувозинат кунад.
Пошидани реактивӣ: Суръати таҳшиншавӣ аз заҳролудшавии ҳадаф ба таври назаррас таъсир мерасонад, ки назорати ҷараёни плазма/газро дар ҳалқаи пӯшида талаб мекунад.
IV. Амалияҳои саноатӣ
Дар рӯйпӯшҳои оптикӣ, назорати суръат мустақиман бо дақиқии нишондиҳандаи шикаст ва мувофиқати ранги интерференсия алоқаманд аст.
Дар плёнкаҳои тунуки нимноқилҳо, суръати аз ҳад зиёд метавонад муқовимати плёнкаро тағйир диҳад ва кори дастгоҳро паст кунад.
Дар рӯйпӯшҳои ороишӣ, барои баланд бардоштани ҳосилнокии масоҳати калон, ба шарте ки якрангӣ нигоҳ дошта шавад, меъёрҳои баландтар бартарӣ дода мешаванд.
Робитаи байни суръати таҳшиншавӣ ва сифати плёнка бо ҳам зич алоқаманд аст: суръати аз ҳад зиёд баланд зичӣ ва часпишро коҳиш медиҳад, дар ҳоле ки суръати аз ҳад паст ҳосилнокиро коҳиш медиҳад ва хатари ифлосшавиро зиёд мекунад. Танҳо тавассути назорати дақиқи суръати таҳшиншавӣ ва беҳсозии равандҳо истеҳсолкунандагон метавонанд ба тавозуни оптималӣ байни самаранокӣ ва сифат ноил шаванд ва талаботи барномаҳои оптикӣ, электронӣ ва ороиширо қонеъ гардонанд.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудаасттаҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 04 феврали соли 2026