ഡിപ്പോസിഷൻ റേറ്റും ഫിലിം ക്വാളിറ്റിയും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം

വാക്വം കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ,നിക്ഷേപ നിരക്ക് ഉൽ‌പാദന കാര്യക്ഷമതയും ഫിലിം ഗുണങ്ങളും നിർണ്ണയിക്കുന്ന പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകളിൽ ഒന്നാണ്. എന്നിരുന്നാലും, അമിതമായി ഉയർന്നതോ കുറഞ്ഞതോ ആയ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കുകൾ ഫിലിം ഗുണനിലവാരത്തെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുകയും അതുവഴി അതിന്റെ ഒപ്റ്റിക്കൽ, ഇലക്ട്രിക്കൽ, മെക്കാനിക്കൽ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും. ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കും ഗുണനിലവാരവും തമ്മിലുള്ള ശരിയായ സന്തുലിതാവസ്ഥ കൈവരിക്കുന്നത് നേർത്ത-ഫിലിം പ്രക്രിയ ഒപ്റ്റിമൈസേഷന് നിർണായകമാണ്.

I. നിക്ഷേപ നിരക്കിന്റെ അടിസ്ഥാന ആശയം

നിക്ഷേപ നിരക്ക് സാധാരണയായി nm/s അല്ലെങ്കിൽ Å/s ൽ പ്രകടിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിൽ ഒരു യൂണിറ്റ് സമയത്തിന് നിക്ഷേപിക്കുന്ന ഫിലിം കനം പ്രതിനിധീകരിക്കുന്നു. ഇത് ഒന്നിലധികം ഘടകങ്ങളാൽ സ്വാധീനിക്കപ്പെടുന്നു, അവയിൽ ചിലത്:

വാക്വം ലെവൽ: ഉയർന്ന പശ്ചാത്തല മർദ്ദം കണികാ ചിതറിക്കലിന് കാരണമാകുന്നു, ഇത് ഫലപ്രദമായ നിക്ഷേപ നിരക്ക് കുറയ്ക്കുന്നു.

ഊർജ്ജ ഇൻപുട്ട്: ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെ ചൂടാക്കൽ ശക്തിയോ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റോ ആണ് സ്പട്ടറിംഗ്/ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് നിർണ്ണയിക്കുന്നത്.

പ്രോസസ് ഗ്യാസ് ഫ്ലോ: റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗിൽ, വാതക സാന്ദ്രത നിക്ഷേപ നിരക്കിനെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു.

II. ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കിനെയും ഫിലിം ഗുണനിലവാരത്തെയും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന സംവിധാനങ്ങൾ
അമിതമായി ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്കിന്റെ ഫലങ്ങൾ

കുറഞ്ഞ ഫിലിം സാന്ദ്രത: ഉയർന്ന നിരക്കുകളിൽ പരിമിതമായ ഉപരിതല വ്യാപന സമയം സുഷിരങ്ങളുള്ള ഘടനകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു.

സമ്മർദ്ദവും പശ പ്രശ്‌നങ്ങളും: ദ്രുതഗതിയിലുള്ള അടിഞ്ഞുകൂടൽ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും പശ ദുർബലപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഒപ്റ്റിക്കൽ വേരിയബിലിറ്റി: കുറഞ്ഞ കനം കൃത്യത റിഫ്രാക്റ്റീവ് സൂചികയിലോ ട്രാൻസ്മിറ്റൻസിലോ വ്യതിയാനങ്ങൾക്ക് കാരണമാകുന്നു.

അമിതമായി കുറഞ്ഞ നിക്ഷേപ നിരക്കിന്റെ ഫലങ്ങൾ

കുറഞ്ഞ ഉൽപ്പാദനക്ഷമത: വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾക്ക് ദീർഘമായ സൈക്കിൾ സമയം ത്രൂപുട്ട് കുറയ്ക്കുന്നു.

മലിനീകരണ സാധ്യത: നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന നിക്ഷേപം അവശിഷ്ട വാതകത്തിന്റെയോ മാലിന്യത്തിന്റെയോ സംയോജന സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു.

അസാധാരണമായ ധാന്യവളർച്ച: ചില വസ്തുക്കളിൽ, അമിതമായി മന്ദഗതിയിലുള്ള നിക്ഷേപം അമിതമായ ഉപരിതല പരുക്കനോ പരുക്കൻ ധാന്യങ്ങളോ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നു.

ഒപ്റ്റിമൽ ഡിപ്പോസിഷൻ വിൻഡോ

മിതമായ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് ഫിലിം സാന്ദ്രത, സമ്മർദ്ദ നിയന്ത്രണം, കട്ടിയുള്ള ഏകത എന്നിവയ്ക്കിടയിലുള്ള സന്തുലിതാവസ്ഥ ഉറപ്പാക്കുന്നു.
പ്രായോഗികമായി, കൃത്യമായ നിരക്ക് നിയന്ത്രണത്തിനായി നിരക്ക് കാലിബ്രേഷനും ക്വാർട്സ് ക്രിസ്റ്റൽ മോണിറ്ററിംഗും (ക്യുസിഎം) വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

III. വ്യത്യസ്ത ഡിപ്പോസിഷൻ ടെക്നിക്കുകളിലെ നിരക്ക് നിയന്ത്രണം

താപ ബാഷ്പീകരണം: അമിതമായ നിരക്ക് തുപ്പലിനും സൂക്ഷ്മ കണിക വൈകല്യങ്ങൾക്കും കാരണമായേക്കാം; ബാഷ്പീകരണം സ്ഥിരപ്പെടുത്താൻ ഘട്ടം ഘട്ടമായി ചൂടാക്കൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്: ടാർഗെറ്റ് പവറും പ്രോസസ് ഗ്യാസ് ഫ്ലോയും നിരക്കിനെ സ്വാധീനിക്കുന്നു; ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗ കാര്യക്ഷമതയും ഫിലിം യൂണിഫോമിറ്റിയും സന്തുലിതമാക്കണം.

റിയാക്ടീവ് സ്പട്ടറിംഗ്: ടാർഗെറ്റ് വിഷബാധ നിക്ഷേപ നിരക്കിനെ ശക്തമായി ബാധിക്കുന്നു, അതിനാൽ ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് പ്ലാസ്മ/ഗ്യാസ് ഫ്ലോ നിയന്ത്രണം ആവശ്യമാണ്.

IV. വ്യാവസായിക രീതികൾ

ഒപ്റ്റിക്കൽ കോട്ടിംഗുകളിൽ, നിരക്ക് നിയന്ത്രണം റിഫ്രാക്റ്റീവ് സൂചിക കൃത്യതയുമായും ഇടപെടൽ വർണ്ണ സ്ഥിരതയുമായും നേരിട്ട് ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു.

സെമികണ്ടക്ടർ നേർത്ത ഫിലിമുകളിൽ, അമിതമായ നിരക്ക് ഫിലിം റെസിസ്റ്റിവിറ്റിയിൽ മാറ്റം വരുത്തുകയും ഉപകരണത്തിന്റെ പ്രകടനം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും.

അലങ്കാര കോട്ടിംഗുകളിൽ, ഏകീകൃതത നിലനിർത്തുന്നുണ്ടെങ്കിൽ, വലിയ പ്രദേശങ്ങളിലെ ഉൽ‌പാദനക്ഷമത പരമാവധിയാക്കാൻ ഉയർന്ന നിരക്കുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു.

ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കും ഫിലിം ഗുണനിലവാരവും തമ്മിലുള്ള ബന്ധം വളരെ അടുത്താണ്: വളരെ ഉയർന്ന നിരക്ക് സാന്ദ്രതയെയും അഡീഷനെയും വിട്ടുവീഴ്ച ചെയ്യുന്നു, അതേസമയം വളരെ കുറഞ്ഞ നിരക്ക് ഉൽപ്പാദനക്ഷമത കുറയ്ക്കുകയും മലിനീകരണ സാധ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. കൃത്യമായ ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്ക് നിയന്ത്രണത്തിലൂടെയും പ്രക്രിയ ഒപ്റ്റിമൈസേഷനിലൂടെയും മാത്രമേ നിർമ്മാതാക്കൾക്ക് കാര്യക്ഷമതയും ഗുണനിലവാരവും തമ്മിലുള്ള ഒപ്റ്റിമൽ സന്തുലിതാവസ്ഥ കൈവരിക്കാൻ കഴിയൂ, ഇത് ഒപ്റ്റിക്കൽ, ഇലക്ട്രോണിക്, അലങ്കാര ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നു.

—ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾനിർമ്മാതാവ് ഷെൻഹുവ വാക്വം