Mumaitiro ekuputira vacuum,chiyero chekuisa mari ndeimwe yenzira huru dzinoona kushanda zvakanaka kwekugadzirwa uye hunhu hwefirimu. Zvisinei, mwero wepamusoro kana wakaderera wekuisa firimu unogona kukanganisa zvakananga kunaka kwefirimu, nokudaro zvichikanganisa mashandiro ayo ekuona, emagetsi, uye emakanika. Kuwana chiyero chakakodzera pakati pehuwandu hwekuisa firimu uye hunhu kwakakosha pakugadzirisa maitiro efirimu rakatetepa.
I. Pfungwa Yekutanga Yehuwandu Hwekuisa Mari Munzvimbo
Mwero wekudonhedzwa kwesimba unowanzo kuratidzwa mu nm/s kana Å/s, zvichimiririra ukobvu hwefirimu hunoiswa panguva imwe neimwe pamusoro pe substrate. Hunokonzerwa nezvinhu zvakawanda, zvinosanganisira:
Vacuum Level: Kumanikidzwa kwakanyanya kunotungamira mukupararira kwezvikamu, zvichideredza mwero wekushandiswa kwezvikamu.
Simba Rinopinda: Simba rekupisa renzvimbo yekubuda kwemvura kana simba rekuburitsa mvura yechinhu chinobuda mvura rinosarudza mwero wekubuda kwemvura.
Kufamba kweGasi: Mukuita kwegasi rinobuda, kuwanda kwegasi kunokanganisa zvakananga mwero wekuisa gasi.
II. Nzira Dzinobatanidza Mwero weKuiswa kweMafirimu uye Hunhu hweMafirimu
Migumisiro yeKuwanda Kwemari Yakawandisa Yekuisa Mari Munzvimbo Yayo
Kuwanda Kwemafirimu Mashoma: Nguva shoma yekupararira kwepasi pahuwandu hwepamusoro inokonzera maumbirwo ane maburi.
Matambudziko Ekushushikana Nekunamatira: Kuunganidzwa nekukurumidza kunowedzera kushushikana kwemukati uye kunoita kuti kunamira kusashande zvakanaka.
Kuchinja-chinja kweOptical: Kuderera kwehukobvu kunokonzera kutsauka mu refractive index kana transmittance.
Migumisiro yeChiyero Chekudzikira Kwakanyanya Kwekuisa Mari Munzvimbo
Kubudirira Kushoma: Nguva yakareba yekushanda kwemidziyo yakakura inoderedza kufambira mberi kwemuchina.
Njodzi Yekusvibiswa: Kuisa gasi rakawanda muchinhu ichi kunowedzera mukana wekuti gasi rigare rakasara kana kuti tsvina isanganiswe.
Kukura Kwezviyo Zvisina Kunaka: Mune zvimwe zvinhu, kuunganidzwa kwakanyanyisa kwezviyo kunokurudzira kuomarara kwakanyanya pamusoro kana kuti tsanga dzakakora.
Hwindo Rakakodzera Rokuisa Nzvimbo
Kuwanda kwemafirimu kuri pakati nepakati kunoita kuti pave nekuenzana pakati pehuwandu hwemafirimu, kudzora kushushikana, uye kufanana kweukobvu.
Mukuita, kuyera mwero uye Quartz Crystal Monitoring (QCM) zvinoshandiswa zvakanyanya pakudzora mwero nemazvo.
III. Kudzora Mari muMatekiniki Akasiyana eKuisa Mari muMari
Kubuda kwemvura mumhepo: Kuwanda kwemvura kunogona kukonzera kusvipa uye zvikanganiso zvetumbuyu; kupisa kunoshandiswa kudzikamisa kubuda kwemvura mumhepo.
Kukurunga Magnetron: Mwero unokonzerwa nesimba rechinangwa uye kuyerera kwegasi remuchina; kugadzirisa kunofanirwa kuenzana nekushanda zvakanaka kwechinangwa uye kufanana kwefirimu.
Kusveta kwemvura mumuviri: Kuwanda kwemvura inodonhedzwa zvakanyanya nehupfu hwakanangana nayo, zvichida kudzora kuyerera kweropa/gasi.
IV. Maitiro Emaindasitiri
Mumachira ekuona, kudzora mwero kunobatanidzwa zvakananga nekunyatsojeka kwechiratidzo che refractive uye kupindirana kwemavara.
Mumafirimu matete e semiconductor, mwero wakanyanya unogona kuchinja resistivity yefirimu, zvichideredza mashandiro emudziyo.
Mumachira ekushongedza, mwero wakakwira unosarudzwa kuti pave nekubereka kukuru munzvimbo yakakura, chero bedzi kuine kufanana kwakafanana.
Hukama huripo pakati pehuwandu hwemafirimu nehunhu hwemafirimu hwakabatana zvakasimba: huwandu hwakawanda hunokanganisa huwandu hwemafirimu uye kunamatira, nepo huwandu hwakaderera hunoderedza kugadzirwa kwezvinhu uye hunowedzera njodzi dzekusvibiswa. Vagadziri vanogona kuwana chiyero chakanaka pakati pekushanda zvakanaka uye hunhu, vachisangana nezvinodiwa nekushandisa optical, electronic, uye decoration applications.
—Nyaya iyi yakaburitswa namidziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Kukadzi-04-2026