Di pêvajoyên pêçandina valahiyê de,rêjeya danînê yek ji parametreyên sereke ye ku hem karîgeriya hilberînê û hem jî taybetmendiyên fîlmê diyar dike. Lêbelê, rêjeyên danîna pir zêde an jî pir kêm dikarin rasterast bandorê li ser kalîteya fîlmê bikin, bi vî rengî bandorê li performansa wê ya optîkî, elektrîkî û mekanîkî bikin. Ji bo baştirkirina pêvajoya fîlma tenik, dîtina hevsengiya rast di navbera rêjeya danîna û kalîteyê de pir girîng e.
I. Têgeha bingehîn a rêjeya danînê
Rêjeya danînê bi gelemperî bi nm/s an Å/s tê îfadekirin, ku qalindahiya fîlmê ku di yekîneya demê de li ser rûyê substratê tê danîn temsîl dike. Ew ji hêla gelek faktoran ve tê bandorkirin, di nav de:
Asta Valahîyê: Zeexta paşxaneyê ya bilindtir dibe sedema belavbûna perçeyan, û rêjeya çêbûna bi bandor kêm dike.
Têketina Enerjiyê: Hêza germkirinê ya çavkaniya buharbûnê an jî herika dakêşanê ya hedefa sputterkirinê rêjeya sputterkirin/buharbûnê diyar dike.
Herikîna Gaza Pêvajoyê: Di sputterkirina reaktîf de, rêjeya gazê rasterast bandorê li rêjeya depokirinê dike.
II. Mekanîzmayên ku Rêjeya Depozîsyonê û Kalîteya Fîlmê Bi hev ve girêdidin
Bandorên Rêjeya Depozîsyonê ya Pir Zêde
Densiya Fîlmê ya Kêm: Dema belavbûna rûberê ya sînorkirî di rêjeyên bilind de dibe sedema avahiyên poroz.
Pirsgirêkên Stres û Çêkirinê: Berhevkirina bilez stresa hundirîn zêde dike û çêkirinê qels dike.
Guherbariya Optîkî: Kêmkirina rastbûna qalindahiyê dibe sedema cûdahiyên di endeksa şikestinê an veguhestinê de.
Bandorên Rêjeya Depozîsyonê ya Pir Kêm
Berhemdariya Kêm: Demên çerxeyê yên dirêjtir ji bo substratên rûbera mezin hilberînê kêm dike.
Rîska Gemarîbûnê: Depokirina dirêjkirî îhtîmala tevlîbûna gaza mayî an nepakiyê zêde dike.
Mezinbûna Neasayî ya Dendikan: Di hin materyalan de, danîna pir hêdî dibe sedema hişkbûna rûyê zêde an dendikên qalind.
Pencereya Depozîtasyona Baştirîn
Rêjeyeke nerm a danîna fîlmê hevsengiyek di navbera tîrbûna fîlmê, kontrola stresê û yekrengiya qalindahiyê de misoger dike.
Di pratîkê de, kalibrkirina rêjeyê û Çavdêriya Krîstala Quartz (QCM) ji bo kontrola rêjeyê ya rastîn bi berfirehî têne bikar anîn.
III. Kontrolkirina Rêjeyê di Teknîkên Cûda yên Depozîsyonê de
Buharbûna Germahî: Leza zêde dikare bibe sedema tifkirin û kêmasiyên perçeyan; germkirina gav bi gav tê bikar anîn da ku buharbûnê sabît bike.
Sprekirina Magnetronê: Rêje ji hêla hêza hedef û herikîna gaza pêvajoyê ve tê bandorkirin; optîmîzasyon divê karîgeriya karanîna hedef û yekrengiya fîlimê hevseng bike.
Sprekirina Reaksiyonî: Rêjeya depozîsyonê bi giranî ji hêla jehrîbûna hedefê ve bandor dibe, ku hewceyê kontrola herikîna plazma/gazê ya çerxa girtî ye.
IV. Pratîkên Pîşesaziyê
Di pêçandina optîkî de, kontrola rêjeyê rasterast bi rastbûna endeksa şikestinê û yekrengiya rengê destwerdanê ve girêdayî ye.
Di fîlmên tenik ên nîvconductor de, rêjeya zêde dikare berxwedana fîlmê biguherîne û performansa cîhazê xirab bike.
Di pêçandinên xemilandî de, rêjeyên bilindtir têne tercîh kirin da ku hilberîna li ser deverek mezin zêde bikin, bi şertê ku yekrengî were parastin.
Têkiliya di navbera rêjeya danîna madeyê û kalîteya fîlmê de bi awayekî zexm ve girêdayî ye: rêjeyek pir zêde densite û zeliqandinê xirab dike, lê rêjeyek pir nizm hilberînê kêm dike û xetereyên kontaminasyonê zêde dike. Tenê bi rêya kontrola rêjeya danîna madeyê ya rast û baştirkirina pêvajoyê, hilberîner dikarin hevsengiyek çêtirîn di navbera karîgerî û kalîteyê de bi dest bixin, û daxwazên sepanên optîkî, elektronîkî û xemilandî bicîh bînin.
— Ev gotar ji hêlaalavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: Sibat-04-2026