Опремата за вакуумско плазма чистење има интегрирана структура, опремена со RF јонски систем за чистење, целосно автоматска контрола, практично работење и одржување.
RF високофреквентниот генератор може да генерира плазма со висока густина, да ја активира, гравира и пепелува површината на обработуваниот дел, ефикасно да ја отстрани прашината и маснотиите од површината на производот, да го ослободи површинскиот стрес и да добие разни модификации на површината на обработуваниот дел.
Применливо е за гума, стакло, керамика, метал и други производи, а се применува и во микроелектроника, LCD, LED диоди, LCM, PCB кола, полупроводнички пакувања, медицински помагала, експерименти во биолошките науки и други области.