ОПИС НА ПРОИЗВОДОТ

Предност на опремата

1. Оптимизација на премачкување на длабоки дупки

Ексклузивна технологија за премачкување на длабоки дупки: Саморазвиената технологија за премачкување на длабоки дупки на Zhenhua Vacuum може да постигне супериорен сооднос на ширина и висина од 10:1 дури и за мали отвори со големина од 30 микрометри, надминувајќи ги предизвиците за премачкување на сложените структури на длабоки дупки.

2. Прилагодливо, поддржува различни големини

Поддржува стаклени подлоги од различни големини, вклучувајќи спецификации од 600×600mm / 510×515mm или поголеми.

3. Флексибилност на процесот, компатибилна со повеќе материјали

Опремата е компатибилна со спроводливи или функционални тенкофилмни материјали како што се Cu, Ti, W, Ni и Pt, задоволувајќи ги различните апликациски потреби за спроводливост и отпорност на корозија.

4. Стабилни перформанси на опремата, лесно одржување

Опремата е опремена со интелигентен систем за контрола кој овозможува автоматско прилагодување на параметрите и следење во реално време на униформноста на дебелината на филмот; таа има модуларен дизајн за лесно одржување, намалувајќи го времето на застој.

Апликација:Може да се користи за напредно пакување TGV/TSV/TMV, способно за постигнување премачкување на слој за сеење во длабоки дупки со сооднос на ширина и висина ≥10:1.