Процес на директна полимеризација со плазма

Процес на директна полимеризација со плазма

Процесот на плазма полимеризација е релативно едноставен и за опремата за внатрешна електродна полимеризација и за опремата за надворешна електродна полимеризација, но изборот на параметри е поважен кај плазма полимеризацијата, бидејќи параметрите имаат поголемо влијание врз структурата и перформансите на полимерните филмови за време на плазма полимеризацијата.

Чекорите за работа за директна плазма полимеризација се следниве:

(1) Усисување

Позадинскиот вакуум на полимеризација под вакуумски услови треба да се пумпа до 1,3×10-1Pa. За реакции на полимеризација кои бараат посебни барања за контрола на содржината на кислород или азот, потребниот позадински вакуум е уште поголем.

(2) Мономер за реакција на полнеж или мешан гас од носечки гас и мономер

Степенот на вакуум е 13-130Pa. За плазма полимеризација која бара работа, треба да се избере соодветен режим на контрола на протокот и брзина на проток, генерално 10.100mL/min. Во плазмата, мономерните молекули се јонизираат и дисоцираат со бомбардирање на енергични честички, што резултира со активни честички како што се јони и активни гени. Активните честички активирани од плазмата можат да подлежат на плазма полимеризација на интерфејсот помеѓу гасната фаза и цврстата фаза. Мономерот е извор на прекурсор за плазма полимеризација, а влезниот реакционен гас и мономерот треба да имаат одредена чистота.

(3) Избор на напојување за побудување

Плазмата може да се генерира со користење на еднонасочна струја, високофреквентни, RF или микробранови извори на енергија за да се обезбеди плазма средина за полимеризација. Изборот на напојување се одредува врз основа на барањата за структурата и перформансите на полимерот.

(4) Избор на режим на празнење

За барањата на полимерите, плазма полимеризацијата може да избере два режима на празнење: континуирано празнење или пулсно празнење.

(5) Избор на параметри на празнење

При спроведување на плазма полимеризација, параметрите на празнење треба да се земат предвид од параметрите на плазмата, својствата на полимерот и барањата за структурата. Големината на применетата моќност за време на полимеризацијата се одредува од волуменот на вакуумската комора, големината на електродата, брзината на проток и структурата на мономерот, брзината на полимеризација и структурата и перформансите на полимерот. На пример, ако волуменот на реакционата комора е 1L и се користи RF плазма полимеризација, моќноста на празнење ќе биде во опсег од 10~30W. Под такви услови, генерираната плазма може да се агрегира за да формира тенок филм на површината на работното парче. Стапката на раст на филмот за плазма полимеризација варира во зависност од напојувањето, видот и брзината на проток на мономерот и условите на процесот. Општо земено, брзината на раст е 100nm/min~1um/min.

(6) Мерење на параметрите во плазма полимеризација

Плазма параметрите и процесните параметри што треба да се мерат при плазма полимеризација вклучуваат: напон на празнење, струја на празнење, фреквенција на празнење, температура на електрони, густина, тип и концентрација на реакциона група итн.

——Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа Технолоџи, апроизводител на машини за оптички премази.