Vakuuma iztvaikošanas pārklāšana (saukta par iztvaikošanas pārklāšanu) notiek vakuuma vidē, kad iztvaicētājs uzkarsē plēves materiālu, lai to gazificētu, plēves materiāla daļiņu plūsma tiek iztvaicēta tieši uz substrāta un substrāta nogulsnēšanās rezultātā veidojas cieta plēve. Vakuuma iztvaikošana ir PVD tehnoloģijas attīstība, kas ir agrākā un plašāk izmantotā pilsētas plēves tehnoloģija, lai gan vēlāk attīstījās izsmidzināšana un jonu pārklāšana daudzējādā ziņā pārspēja vakuuma iztvaikošanu, taču vakuuma iztvaikošanas pilsētas plēves tehnoloģijai joprojām ir daudz priekšrocību, piemēram, iekārtas un process ir relatīvi vienkāršs, var gan nogulsnēt ļoti tīru plēvi, gan arī pagatavot plēves slāni ar noteiktu struktūru un īpašībām. Šīs metodes galvenie trūkumi ir tādi, ka nav viegli iegūt plēves ar kristālisku struktūru, plēves saķere ar substrātu ir maza, un procesa atkārtojamība nav pietiekami laba.
Pēdējos gados, pateicoties elektronu bombardēšanas iztvaikošanai, augstfrekvences indukcijas iztvaikošanai, kā arī lāzera iztvaikošanai un citām vakuuma iztvaikošanas pārklājuma tehnoloģijām, šī tehnoloģija ir kļuvusi pilnīgāka un plaši izmantota mašīnās, elektriskajā vakuumā, radio, optikā, atomenerģijā, lai atrastu pilsētu.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 17. augusts