Vakuuminis garinimas (vadinamas garinimu) – tai procesas, kai plėvelės medžiaga vakuuminėje aplinkoje kaitinama garintuvu, kad ji pavirstų dujomis. Plėvelės medžiagos dalelių srautas garinamas tiesiai ant pagrindo, o pats pagrindas nusodinamas ir susidaro kieta plėvelė. Vakuuminis garinimas yra viena iš ankstyviausių ir plačiau naudojamų miesto plėvelės technologijų, nors vėliau išsivystė dulkinimo ir joninio dengimo technologija, daugeliu aspektų pranašesnė už vakuuminį garinimą. Tačiau vakuuminio garinimo miesto plėvelės technologija vis dar turi daug privalumų, pavyzdžiui, įranga ir procesas yra gana paprasti, galima nusodinti labai gryną plėvelę, tačiau taip pat galima paruošti plėvelės sluoksnį su specifine struktūra ir savybėmis ir kt. Pagrindiniai šio metodo trūkumai yra tai, kad sunku gauti kristalinės struktūros plėveles, plėvelės sukibimas su pagrindu yra mažas, o proceso pakartojamumas nėra pakankamai geras.
Pastaraisiais metais dėl elektronų bombardavimo garinimo, aukšto dažnio indukcinio garinimo, taip pat lazerinio garinimo ir kitų technologijų vakuuminio garinimo dengimo technologijoje ši technologija buvo plačiai taikoma, todėl ši technologija yra tobulesnė ir plačiai naudojama mašinose, elektriniame vakuume, radijuje, optikoje, atominėje energetikoje miestui rasti.
Įrašo laikas: 2023 m. rugpjūčio 17 d.