Жабдуу магнетрондук чачыратуу жана каршылык менен буулануу технологиясын бириктирет жана ар кандай субстраттарды каптоо үчүн чечимди камсыз кылат.
Эксперименталдык каптоо жабдуулары негизинен университеттерде жана илимий-изилдөө мекемелеринде колдонулат жана ар кандай эксперименталдык талаптарга жооп бере алат. Жабдуулар үчүн ар кандай структуралык максаттар сакталган, аларды ар кандай тармактардагы илимий изилдөөлөргө жана иштеп чыгууларга ылайыкташтыруу үчүн ийкемдүү түрдө конфигурациялоого болот. Магнетрондук чачыратуу системасы, катоддук дого системасы, электрондук нурдун буулануу системасы, каршылыктын буулануу системасы, CVD, PECVD, ион булагы, кыйшайуу системасы, жылытуу системасы, үч өлчөмдүү арматура ж.б. тандай алышат. Кардарлар өздөрүнүн ар кандай муктаждыктарына жараша тандай алышат.
Жабдуулар кооз көрүнүшү, компакттуу түзүлүшү, кичинекей аянты, автоматташтыруунун жогорку даражасы, жөнөкөй жана ийкемдүү иштөөсү, туруктуу иштеши жана оңой тейлөө сыяктуу мүнөздөмөлөргө ээ.
Жабдууларды пластикке, дат баспас болотко, гальваникалык жабдыктарга/пластик тетиктерге, айнекке, керамикага жана башка материалдарга колдонсо болот. Титан, хром, күмүш, жез, алюминий сыяктуу жөнөкөй металл катмарларын же TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC сыяктуу металл кошулма пленкаларын даярдоого болот.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(мм) | φ600*H800(мм) | φ800*H1000(мм) |