진공 증착 코팅(evaporationcoating이라고도 함)은 진공 환경에서 증발기로 박막 재료를 가열하여 가스화시키고, 박막 재료의 입자 흐름을 기판에 직접 증발시켜 기판을 증착하여 고체 박막을 형성하는 기술입니다. 진공 증착은 PVD 기술 중 가장 초기에 개발되어 더 널리 사용되는 박막 기술입니다. 이후 스퍼터링과 이온 플레이팅이 개발되어 진공 증착보다 여러 면에서 우수하지만, 진공 증착 박막 기술은 여전히 많은 장점을 가지고 있습니다. 예를 들어 장비와 공정이 비교적 간단하고, 매우 순수한 박막을 증착할 수 있을 뿐만 아니라, 특정 구조와 특성을 가진 박막층을 제조할 수 있습니다. 이 방법의 주요 단점은 결정질 구조를 가진 박막을 얻기 어렵고, 기판에 대한 박막의 접착력이 낮으며, 공정 반복성이 충분하지 않다는 것입니다.
최근 몇 년 동안, 전자 충격 증발, 고주파 유도 증발, 레이저 증발 및 기타 기술로 인해 진공 증발 코팅 기술이 일반적으로 응용되어 이 기술이 더욱 완벽해졌으며 기계, 전기 진공, 라디오, 광학, 원자력에 널리 사용되고 있습니다.
게시 시간: 2023년 8월 17일