Вакуумды булану жабыны (буландырғыш деп аталады) вакуумдық ортада, буландырғыш оны газдандыру үшін пленка материалын қыздырады, пленка материалы бөлшектер ағынының тікелей субстратқа булануы және субстрат тұндыру, қатты пленка технологиясын қалыптастыру. Вакуумды булану - бұл ең ерте, кеңірек қолданылатын қалалық пленка технологиясын жасаудағы PVD технологиясы, бірақ кейінірек шашырату және иондау вакуумдық булану артықшылығына қарағанда көптеген аспектілерде дамыды, бірақ вакуумдық булану қалашығының пленка технологиясы әлі де көптеген артықшылықтарға ие, мысалы, жабдық пен процесс салыстырмалы түрде қарапайым, сонымен қатар пленканың құрылымымен және дайындалған қасиеттерімен өте қарапайым болуы мүмкін. пленка қабаты және т.б. Бұл әдістің негізгі кемшіліктері кристалдық құрылымы бар пленкаларды алудың оңай еместігі, пленканың субстратқа жабысуының аздығы және процестің қайталану қабілетінің жеткіліксіздігі.
Соңғы жылдары электронды бомбалаудың арқасында булану, жоғары жиілікті индукциялық булану, сондай-ақ лазерлік булану және басқа технологияларды вакуумды булану технологиясында жалпы қолдану технологиясында, сондықтан бұл технология неғұрлым жетілдіріліп, машина жасауда, электр вакуумында, радиода, оптикада, атом энергиясында қаланы табу үшін кеңінен қолданылады.
Жіберу уақыты: 17 тамыз 2023 ж