Kouch evaporasyon vakyòm (yo rele kouch evaporasyon) fèt nan yon anviwònman vakyòm, materyèl fim nan chofe nan evaporatè a pou fè li gazifye. Materyèl fim nan evaporasyon kouran patikil yo dirèkteman nan substra a epi depoze substra a, fòmasyon teknoloji fim solid. Evaporasyon vakyòm se teknoloji PVD ki te devlope pi bonè, teknoloji fim vil ki pi lajman itilize. Malgre ke pulverizasyon ak plake iyon te devlope pita sou plizyè aspè, teknoloji fim vil evaporasyon vakyòm lan toujou gen anpil avantaj, tankou ekipman ak pwosesis ki relativman senp, tou de depo fim ki trè pi, men tou, li ka prepare ak yon estrikti ak pwopriyete espesifik kouch fim nan, elatriye. Dezavantaj prensipal metòd sa a se ke li pa fasil pou jwenn fim ki gen yon estrikti cristalline, adezyon fim nan sou substra a piti, epi repetibilite pwosesis la pa ase bon.
Nan dènye ane sa yo, akòz evaporasyon bonbadman elektwon, evaporasyon endiksyon wo-frekans, osi byen ke evaporasyon lazè ak lòt teknoloji nan teknoloji kouch evaporasyon vakyòm nan aplikasyon jeneral teknoloji a, pou teknoloji sa a vin pi pafè, epi lajman itilize nan machin, vakyòm elektrik, radyo, optik, enèji atomik pou jwenn vil la.
Dat piblikasyon: 17 Out 2023