DESCRICIÓN DO PRODUTO

Vantaxe do equipo

1. Optimización do revestimento de buratos profundos

Tecnoloxía exclusiva de revestimento de orificios profundos: a tecnoloxía de revestimento de orificios profundos de desenvolvemento propio de Zhenhua Vacuum pode acadar unha relación de aspecto superior de 10:1 mesmo para aberturas pequenas de ata 30 micrómetros, superando os desafíos de revestimento das complexas estruturas de orificios profundos.

2. Personalizable, admite diferentes tamaños

Admite substratos de vidro de varios tamaños, incluíndo especificacións de 600 × 600 mm / 510 × 515 mm ou maiores.

3. Flexibilidade do proceso, compatible con múltiples materiais

O equipo é compatible con materiais de película fina condutores ou funcionais como Cu, Ti, W, Ni e Pt, o que satisface as diferentes necesidades de aplicación en canto a condutividade e resistencia á corrosión.

4. Rendemento estable do equipo, mantemento sinxelo

O equipo está equipado cun sistema de control intelixente que permite o axuste automático dos parámetros e a monitorización en tempo real da uniformidade do grosor da película; adopta un deseño modular para facilitar o mantemento, o que reduce o tempo de inactividade.

Aplicación:Pódese usar para envases avanzados TGV/TSV/TMV, capaces de lograr un revestimento de capas de sementes de orificios profundos cunha relación de aspecto ≥10:1.