Tyhjiöhaihdutuspinnoitus (jäljempänä höyrystyspinnoitus) tapahtuu tyhjiöympäristössä, jossa höyrystin lämmittää kalvomateriaalia kaasun muodostamiseksi. Kalvomateriaali höyrystää hiukkasvirran suoraan alustalle ja pinnoittaa alustan muodostaen kiinteän kalvon. Tyhjiöhaihdutus on PVD-tekniikan kehityksessä varhaisin ja laajemmin käytetty kaupunkikalvoteknologia. Myöhemmin kehitettiin kuitenkin sputterointia ja ionipinnoitusta, mutta tyhjiöhaihdutuskaupunkikalvoteknologialla on silti paljon etuja, kuten laitteiden ja prosessien yksinkertaisuus, sekä erittäin puhtaan kalvon pinnoitus että tietyn rakenteen ja ominaisuuksien omaava kalvokerros. Tämän menetelmän tärkeimmät haitat ovat, että kiteisen rakenteen omaavien kalvojen saaminen ei ole helppoa, kalvon tarttuvuus alustaan on heikko ja prosessin toistettavuus ei ole riittävän hyvä.
Viime vuosina elektronipommituksen haihduttamisen, korkeataajuisen induktiohaihduttamisen sekä laserhaihduttamisen ja muiden tyhjiöhaihdutuspäällystystekniikan teknologioiden ansiosta tätä teknologiaa on käytetty yleisesti, joten se on täydellisempi ja sitä käytetään laajalti koneissa, sähkötyhjiössä, radiossa, optiikassa ja atomienergiassa.
Julkaisun aika: 17. elokuuta 2023