Vaakumaurustuskatmine (edaspidi aurustuskatmine) toimub vaakumkeskkonnas, kus aurusti kuumutab kilematerjali gaasistamiseks, kilematerjali osakeste voog aurustub otse aluspinnale ja aluspind sadestatakse, moodustades tahke kile tehnoloogia abil. Vaakumaurustamine on PVD-tehnoloogia arendamisel varaseim ja laialdasemalt kasutatav linnakile tehnoloogia. Kuigi hiljem arenesid välja pihustus- ja ioonkatmine mitmes aspektis võrreldes vaakumaurustamisega, on vaakumaurustuslinnakile tehnoloogial siiski palju eeliseid, näiteks seadmete ja protsesside suhteliselt lihtne lihtsus, nii väga puhta kile sadestamine kui ka spetsiifilise struktuuri ja omadustega kilekihi valmistamine jne. Selle meetodi peamised puudused on see, et kristallilise struktuuriga kilede saamine on keeruline, kile nakkuvus aluspinnaga on väike ja protsessi korratavus ei ole piisavalt hea.
Viimastel aastatel on vaakumaurustamise katmise tehnoloogiat laialdaselt kasutatud elektronpommitamise, kõrgsagedusliku induktsioonaurustamise, laseraurustamise ja muude tehnoloogiate abil, mistõttu on see tehnoloogia täiustatud ja laialdaselt kasutatav masinates, elektrilises vaakumis, raadios, optikas ja aatomienergias.
Postituse aeg: 17. august 2023