АПІСАННЕ ПРАДУКТУ

Перавага абсталявання

1. Маштабаваная функцыянальная канфігурацыя

Выкарыстоўваючы модульную архітэктуру, яна падтрымлівае рэжымы хуткай масавай вытворчасці, што дазваляе хутка дадаваць, выдаляць і рэарганізоўваць функцыянальныя камеры. Кампаноўку вытворчай лініі можна гнутка рэгуляваць у залежнасці ад патрэб вытворчасці.

2. Рашэнне па тэхналогіі дакладнага пакрыцця

Інавацыйнае выкарыстанне тэхналогіі распылення мішэняў з малым вуглом кручэння ў спалучэнні з аптымізаваным рашэннем магнітнага поля для дасягнення эфектыўнага запаўнення структур скразных адтулін.

3. Укараненне структуры ратацыйнай мішэні

Такая структура дазваляе пазбегнуць страт пакрывальнага матэрыялу і палепшыць выкарыстанне матэрыялу мішэні. Яна таксама скарачае цыкл замены мішэні, тым самым павышаючы эфектыўнасць вытворчасці.

4. Перавагі кіравання працэсамі

Дзякуючы аптымізацыі параметраў магнетроннага распылення і тэхналогіі двухбаковага сінхроннага нанясення, эфектыўнасць пакрыцця складаных структурных кампанентаў значна паляпшаецца, а страты матэрыялу зніжаюцца.

Прымяненне:Здольны падрыхтоўваць розныя пласты аднаэлементных металічных плёнак, такіх як Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni і г.д. Шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковых электронных кампанентах, такіх як керамічныя падложкі DPC, керамічныя кандэнсатары, тэрмістары, керамічныя кранштэйны для святлодыёдаў і г.д.