Вакуумнае выпарванне (званае выпарным пакрыццём) праводзіцца ў вакуумным асяроддзі, падчас якога плёнкавы матэрыял награваецца ў выпарніку для яго газіфікацыі, пасля чаго часціцы плёнкавага матэрыялу выпарваюцца непасрэдна на падкладку і асядаюцца на падкладку, утвараючы тэхналогію цвёрдай плёнкі. Вакуумнае выпарванне з'яўляецца адной з самых ранніх і шырока выкарыстоўваных тэхналогій нанясення плёнак з выкарыстаннем PVD. Нягледзячы на тое, што пазней распыленне і іённае пакрыццё пераўзыходзяць вакуумнае выпарэнне ў многіх аспектах, яно ўсё яшчэ мае шмат пераваг, такіх як адносна простае абсталяванне і працэс, як нанясенне вельмі чыстай плёнкі, так і магчымасць атрымання плёнкавага пласта са спецыфічнай структурай і ўласцівасцямі. Асноўнымі недахопамі гэтага метаду з'яўляюцца цяжкасці атрымання плёнак з крышталічнай структурай, нізкая адгезія плёнкі да падкладкі і недастатковая паўтаральнасць працэсу.
У апошнія гады, дзякуючы электроннай бамбардзіроўцы выпарэння, высокачастотнаму індукцыйнаму выпарэнню, а таксама лазернаму выпарэнню і іншым тэхналогіям у тэхналогіі вакуумнага выпарэння пакрыцця ў агульным прымяненні тэхналогіі, гэтая тэхналогія стала больш дасканалай і шырока выкарыстоўваецца ў машынабудаванні, электрычным вакууме, радыё, оптыцы, атамнай энергетыцы.
Час публікацыі: 17 жніўня 2023 г.