መሳሪያዎቹ የማግኔትሮን ስፑተርቲንግ እና የአዮን ሽፋን ቴክኖሎጂን ያዋህዳሉ፣ እና የቀለም ወጥነትን፣ የመቀመጫ ፍጥነትን እና የውህድ ስብጥርን መረጋጋት ለማሻሻል መፍትሄ ይሰጣሉ። በተለያዩ የምርት መስፈርቶች መሠረት የማሞቂያ ስርዓት፣ የአድሎአዊ ስርዓት፣ የአዮኒዜሽን ስርዓት እና ሌሎች መሳሪያዎች ሊመረጡ ይችላሉ። በመሳሪያዎቹ የተዘጋጀው ሽፋን ጠንካራ የማጣበቅ እና ከፍተኛ የታመቀነት ጥቅሞች አሉት፣ ይህም የጨው ስፕሬይ መቋቋምን፣ የመልበስ መቋቋምን እና የምርቱን የገጽታ ጥንካሬ በብቃት ሊያሻሽል እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የሽፋን ዝግጅት መስፈርቶችን ሊያሟላ ይችላል።
የሙከራ ሽፋን መሳሪያዎቹ በዋናነት በዩኒቨርሲቲዎች እና በሳይንሳዊ ምርምር ተቋማት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ሲሆን የተለያዩ የሙከራ መስፈርቶችን ሊያሟሉ ይችላሉ። ለመሳሪያዎቹ የተለያዩ መዋቅራዊ ኢላማዎች የተጠበቁ ናቸው፣ እነዚህም በተለያዩ መስኮች ሳይንሳዊ ምርምርን እና ልማትን ለማሟላት በተለዋዋጭ ሁኔታ ሊዋቀሩ ይችላሉ። የማግኔትሮን ስፑተርንግ ሲስተም፣ የካቶድ ቅስት ሲስተም፣ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ሲስተም፣ የመቋቋም ትነት ሲስተም፣ CVD፣ PECVD፣ የአዮን ምንጭ፣ የዳያ ሲስተም፣ የማሞቂያ ስርዓት፣ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ፋውንዴሽን፣ ወዘተ ሊመረጡ ይችላሉ። ደንበኞች እንደየፍላጎታቸው መምረጥ ይችላሉ።
መሳሪያዎቹ ውብ መልክ፣ የታመቀ መዋቅር፣ አነስተኛ የወለል ስፋት፣ ከፍተኛ አውቶሜሽን፣ ቀላል እና ተለዋዋጭ አሠራር፣ የተረጋጋ አፈጻጸም እና ቀላል ጥገና ባህሪያት አሏቸው።
መሳሪያዎቹ በአይዝጌ ብረት፣ በኤሌክትሮፕላይትድ ሃርድዌር/ፕላስቲክ ክፍሎች፣ በመስታወት፣ በሴራሚክስ እና በሌሎች ቁሳቁሶች ላይ ሊተገበሩ ይችላሉ። እንደ ቲታኒየም፣ ክሮሚየም፣ ብር፣ መዳብ ወይም የብረት ውህድ ፊልሞች ያሉ ቀላል የብረት ንብርብሮች እንደ TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ሊዘጋጁ ይችላሉ። ጥቁር ጥቁር፣ የምድጃ ወርቅ፣ ሮዝ ወርቅ፣ የማስመሰል ወርቅ፣ ዚርኮኒየም ወርቅ፣ ሰንፔር ሰማያዊ፣ ደማቅ ብር እና ሌሎች ቀለሞችን ማግኘት ይችላል።
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(ሚሜ) | φ600*H800(ሚሜ) | φ800*H1000(ሚሜ) |