መሳሪያው የማግኔትሮን ስፑተርቲንግ እና የመቋቋም ትነት ቴክኖሎጂን ያዋህዳል፣ እና የተለያዩ ንጣፎችን ለመሸፈን መፍትሄ ይሰጣል።
የሙከራ ሽፋን መሳሪያዎቹ በዋናነት በዩኒቨርሲቲዎች እና በሳይንሳዊ ምርምር ተቋማት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ሲሆን የተለያዩ የሙከራ መስፈርቶችን ሊያሟሉ ይችላሉ። ለመሳሪያዎቹ የተለያዩ መዋቅራዊ ኢላማዎች የተጠበቁ ናቸው፣ እነዚህም በተለያዩ መስኮች ሳይንሳዊ ምርምርን እና ልማትን ለማሟላት በተለዋዋጭ ሁኔታ ሊዋቀሩ ይችላሉ። የማግኔትሮን ስፑተርንግ ሲስተም፣ የካቶድ ቅስት ሲስተም፣ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ሲስተም፣ የመቋቋም ትነት ሲስተም፣ CVD፣ PECVD፣ የአዮን ምንጭ፣ የዳያ ሲስተም፣ የማሞቂያ ስርዓት፣ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ፋውንዴሽን፣ ወዘተ ሊመረጡ ይችላሉ። ደንበኞች እንደየፍላጎታቸው መምረጥ ይችላሉ።
መሳሪያዎቹ ውብ መልክ፣ የታመቀ መዋቅር፣ አነስተኛ የወለል ስፋት፣ ከፍተኛ አውቶሜሽን፣ ቀላል እና ተለዋዋጭ አሠራር፣ የተረጋጋ አፈጻጸም እና ቀላል ጥገና ባህሪያት አሏቸው።
መሳሪያዎቹ በፕላስቲክ፣ አይዝጌ ብረት፣ በኤሌክትሮፕላይትድ ሃርድዌር/ፕላስቲክ ክፍሎች፣ በመስታወት፣ በሴራሚክስ እና በሌሎች ቁሳቁሶች ላይ ሊተገበሩ ይችላሉ። እንደ ቲታኒየም፣ ክሮሚየም፣ ብር፣ መዳብ፣ አልሙኒየም ወይም የብረት ውህድ ፊልሞች ያሉ ቀላል የብረት ንብርብሮች እንደ TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ሊዘጋጁ ይችላሉ።
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(ሚሜ) | φ600*H800(ሚሜ) | φ800*H1000(ሚሜ) |