Ion beam ṣe iranlọwọ imọ-ẹrọ ifisilẹ jẹ abẹrẹ ion tan ina ati imọ-ẹrọ fifin eefin ni idapo pẹlu imọ-ẹrọ iṣelọpọ idapọpọ ion. Ninu ilana ti iyipada dada ti awọn ohun elo itasi ion, boya awọn ohun elo semikondokito tabi awọn ohun elo imọ-ẹrọ, igbagbogbo fẹ pe sisanra ti Layer ti a yipada jẹ tobi pupọ ju ti fifin ion lọ, ṣugbọn tun fẹ lati ni idaduro awọn anfani ti ilana abẹrẹ ion, gẹgẹ bi Layer ti a yipada ati sobusitireti laarin wiwo didasilẹ, le ṣe ni ilọsiwaju ni iṣẹ ṣiṣe iwọn otutu yara, ati bẹbẹ lọ. Nitorinaa, nipa apapọ fifin ion pẹlu imọ-ẹrọ ti a bo, awọn ions pẹlu agbara kan ni itasi nigbagbogbo sinu wiwo laarin fiimu ati sobusitireti lakoko ti a bo, ati awọn ọta interfacial ti wa ni idapọ pẹlu iranlọwọ ti awọn ikọlu kasikedi, ti o dagba agbegbe idapọpọ atomu kan nitosi wiwo akọkọ lati mu agbara isunmọ pọ si laarin fiimu naa ati sobusitireti. Lẹhinna, lori agbegbe idapọ atomu, fiimu pẹlu sisanra ti a beere ati awọn ohun-ini tẹsiwaju lati dagba pẹlu ikopa ti ina ion.
Eyi ni a pe ni Ion Beam Assisted Deposition (IBED), eyiti o da awọn abuda ti ilana gbin ion duro lakoko gbigba sobusitireti lati bo pẹlu ohun elo fiimu tinrin ti o yatọ patapata si sobusitireti.
Ifipamọ iranlọwọ Ion beam ni awọn anfani wọnyi.
(1) Niwọn igba ti ion beam ṣe iranlọwọ ifisilẹ ti n ṣe pilasima laisi idasilẹ gaasi, a le ṣe ibora ni titẹ ti <10-2 Pa, idinku idoti gaasi.
(2) Awọn ipilẹ ilana ipilẹ (agbara ion, iwuwo ion) jẹ itanna. Ni gbogbogbo ko nilo lati ṣakoso ṣiṣan gaasi ati awọn paramita miiran ti kii ṣe itanna, o le ni rọọrun ṣakoso idagbasoke ti fiimu fiimu, ṣatunṣe akopọ ati eto fiimu naa, rọrun lati rii daju pe atunṣe ilana naa.
(3) Awọn dada ti workpiece le ti wa ni ti a bo pẹlu kan fiimu ti o jẹ patapata ti o yatọ lati sobusitireti ati awọn sisanra ti wa ni ko ni opin nipasẹ awọn agbara ti awọn bombardment ions ni kekere otutu (<200 ℃). O dara fun itọju dada ti awọn fiimu iṣẹ-ṣiṣe doped, awọn apẹrẹ pipe ti ẹrọ tutu ati iwọn otutu kekere ti o ni iwọn otutu.
(4) O jẹ ilana ti kii ṣe iwọntunwọnsi ti a ṣakoso ni iwọn otutu yara. Awọn fiimu iṣẹ-ṣiṣe titun gẹgẹbi awọn ipele iwọn otutu giga, awọn ipele substable, amorphous alloys, bbl le ṣee gba ni iwọn otutu yara.
Awọn aila-nfani ti ion tan ina iranlọwọ ifisilẹ jẹ.
(1) Nitori tan ina ion ni awọn abuda itankalẹ taara, o nira lati koju pẹlu apẹrẹ dada eka ti iṣẹ iṣẹ
(2) O ṣoro lati ṣe pẹlu awọn iṣẹ-ṣiṣe ti o tobi-nla ati agbegbe-nla nitori idiwọn ti iwọn ti ṣiṣan ṣiṣan ion.
(3) Oṣuwọn idasile iranlọwọ ti ion beam jẹ igbagbogbo ni ayika 1nm / s, eyiti o dara fun igbaradi ti awọn fẹlẹfẹlẹ fiimu tinrin, ati pe ko dara fun fifin titobi awọn ọja.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-16-2023