עקוויפּמענט מייַלע
1. טיף לאָך קאָוטינג אָפּטימיזאַציע
עקסקלוסיווע טיף לאָך קאָוטינג טעכנאָלאָגיע: זשענהואַ וואַקוום'ס זיך-דעוועלאָפּעד טיף לאָך קאָוטינג טעכנאָלאָגיע קען דערגרייכן אַ העכערע אַספּעקט פאַרהעלטעניש פון 10:1 אפילו פֿאַר קליינע אַפּערטורן אַזוי קליין ווי 30 מיקראָמעטערס, און איבערקומען די קאָוטינג טשאַלאַנדזשיז פון קאָמפּלעקס טיף לאָך סטראַקטשערז.
2. קאַסטאַמייזאַבאַל, שטיצט פאַרשידענע סיזעס
שטיצט גלאז סאַבסטראַטן פון פֿאַרשידענע סיזעס, אַרייַנגערעכנט 600×600 מם / 510×515 מם אָדער גרעסערע ספּעציפֿיקאַציעס.
3. פּראָצעס בייגיקייט, קאָמפּאַטיבל מיט קייפל מאַטעריאַלן
די עקוויפּמענט איז קאָמפּאַטיבל מיט קאַנדאַקטיווע אָדער פאַנגקשאַנאַלע דין-פילם מאַטעריאַלן ווי Cu, Ti, W, Ni, און Pt, וואָס טרעפן פאַרשידענע אַפּליקאַציע באדערפענישן פֿאַר קאַנדאַקטיוויטי און קעראָוזשאַן קעגנשטעל.
4. סטאַביל עקוויפּמענט פאָרשטעלונג, גרינג וישאַלט
די עקוויפּמענט איז אויסגעשטאַט מיט אַן אינטעליגענטער קאָנטראָל סיסטעם וואָס ערמעגליכט אויטאָמאַטישע פּאַראַמעטער אַדזשאַסטמאַנט און רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון פילם גרעב יונאַפאָרמאַטי; עס אַדאַפּט אַ מאַדזשאַלער פּלאַן פֿאַר גרינג וישאַלט, רידוסינג דאַונטיים.
אַפּליקאַציע:קען גענוצט ווערן פֿאַר TGV/TSV/TMV אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג, טויגיק צו דערגרייכן טיף לאָך זוימען שיכט קאָוטינג מיט אַן אַספּעקט פאַרהעלטעניש ≥10:1.