פּלאַזמע דירעקט פּאָלימעריזאַציע פּראָצעס

פּלאַזמע דירעקט פּאָלימעריזאַציע פּראָצעס

דער פּראָצעס פֿון פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע איז גאַנץ פּשוט סיי פֿאַר אינערלעכע עלעקטראָד פּאָלימעריזאַציע עקוויפּמענט און סיי פֿאַר אויסערלעכע עלעקטראָד פּאָלימעריזאַציע עקוויפּמענט, אָבער פּאַראַמעטער סעלעקציע איז וויכטיקער אין פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע, ווײַל פּאַראַמעטערס האָבן אַ גרעסערן השפּעה אויף דער סטרוקטור און פאָרשטעלונג פֿון פּאָלימער פֿילמען בעת ​​פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע.

די אָפּעראַציע טריט פֿאַר דירעקט פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע זענען ווי גייט:

(1) וואַקוום אויסזויגן

דער הינטערגרונט וואַקוום פון פּאָלימעריזאַציע אונטער וואַקוום באדינגונגען זאָל זיין פּאָמפּט צו 1.3×10⁻⁹ פּאַ. פֿאַר פּאָלימעריזאַציע רעאַקציעס וואָס דאַרפן ספּעציעלע באדערפענישן פֿאַר קאָנטראָלירן זויערשטאָף אָדער שטיקשטאָף אינהאַלט, איז דער הינטערגרונט וואַקוום פאָדערונג נאָך העכער.

(2) לאָד רעאַקציע מאָנאָמער אָדער געמישט גאַז פון טרעגער גאַז און מאָנאָמער

דער וואַקוום גראַד איז 13-130Pa. פֿאַר פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע וואָס דאַרף אַרבעט, זאָל מען אויסוועלן אַ פּאַסיקן פֿלוס קאָנטראָל מאָדע און פֿלוס קורס, בכלל 10.100mL/min. אין פּלאַזמע ווערן מאָנאָמער מאַלעקולן יאָניזירט און דיסאָוסיירט דורך באָמבאַרדירן ענערגעטישע פּאַרטיקלען, וואָס רעזולטירט אין אַקטיווע פּאַרטיקלען ווי יאָנען און אַקטיווע גענען. די אַקטיווע פּאַרטיקלען אַקטיוויזירט דורך פּלאַזמע קענען דורכגיין פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע ביים גרענעץ פון גאַז פאַזע און האַרטער פאַזע. דער מאָנאָמער איז די מקור פון פאָרגייער פֿאַר פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע, און דער אַרייַנגאַנג רעאַקציע גאַז און מאָנאָמער זאָלן האָבן אַ געוויסע ריינקייט.

(3) אויסוואל פון עקסייטיישאַן מאַכט צושטעל

פּלאַזמע קען גענערירט ווערן מיט גלייכשטראָם, הויך-פרעקווענץ, RF, אדער מייקראַוועוו מאַכט קוואלן צו צושטעלן אַ פּלאַזמע סביבה פֿאַר פּאָלימעריזאַציע. די סעלעקציע פון ​​מאַכט צושטעל ווערט באַשטימט באַזירט אויף די באדערפענישן פֿאַר די סטרוקטור און פאָרשטעלונג פון די פּאָלימער.

(4) אויסוואל פון אויסלאזונג מאָדע

פֿאַר פּאָלימער רעקווייערמענץ, קען פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע אויסקלײַבן צוויי אָפּזאָגן מאָדעס: קאָנטינויִערלעכע אָפּזאָגן אָדער פּולס אָפּזאָגן.

(5) אויסוואל פון אויסלאזונג פאראמעטערס

ווען מען פירט דורך פלאזמע פאלימעריזאציע, דארף מען נעמען אין באטראכט די דיסטשאַרדזש פאראמעטערס פון פלאזמע פאראמעטערס, פאלימער אייגנשאפטן און סטרוקטור באדערפענישן. די גרייס פון דער אנגעווענדעטער מאכט בעת פאלימעריזאציע ווערט באשטימט דורך דעם פארנעם פון דער וואקיום קאמער, עלעקטראד גרייס, מאנאָמער פלוס ראטע און סטרוקטור, פאלימעריזאציע ראטע, און פאלימער סטרוקטור און פאָרשטעלונג. למשל, אויב דער רעאקציע קאמער פארנעם איז 1 ל און RF פלאזמע פאלימעריזאציע ווערט אנגענומען, וועט די דיסטשאַרדזש מאכט זיין אין די קייט פון 10~30 וואט. אונטער אזעלכע באדינגונגען, קען די גענערירטע פלאזמע זיך צוזאמעננעמען צו פארמירן א דין פילם אויף דער ייבערפלאך פון דער ווערקפּיס. די וואוקס ראטע פון ​​פלאזמע פאלימעריזאציע פילם ווערירט מיט דער מאכט צושטעל, מאנאָמער טיפ און פלוס ראטע, און פּראָצעס באדינגונגען. בכלל, איז די וואוקס ראטע 100 נאַנאָמעטער/מין~1ום/מין.

(6) פּאַראַמעטער מעסטונג אין פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע

די פּלאַזמע פּאַראַמעטערס און פּראָצעס פּאַראַמעטערס וואָס מעסטן אין פּלאַזמע פּאָלימעריזאַציע אַרייַננעמען: אָפּזאָגן וואָולטידזש, אָפּזאָגן קראַנט, אָפּזאָגן אָפטקייט, עלעקטראָן טעמפּעראַטור, געדיכטקייט, רעאַקציע גרופּע טיפּ און קאַנסאַנטריישאַן, אאז"ו ו.

——דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן געוואָרן דורך גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע, אַפאַבריקאַנט פון אָפּטישע קאָוטינג מאַשינען.