יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאָזיציע טעכנאָלאָגיע איז די יאָן שטראַל ינדזשעקשאַן און פארע דעפּאָזיציע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע קאַמביינד מיט יאָן ייבערפלאַך קאַמפּאַזאַט פּראַסעסינג טעכנאָלאָגיע. אין דעם פּראָצעס פון ייבערפלאַך מאָדיפיקאַציע פון יאָן ינדזשעקטעד מאַטעריאַלס, צי האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלס אָדער אינזשעניריע מאַטעריאַלס, איז עס אָפט געוואונטשן אַז די גרעב פון די מאָדיפיצירטע שיכט זאָל זיין פיל גרעסער ווי די פון די יאָן ימפּלאַנטיישאַן, אָבער אויך ווילן צו האַלטן די אַדוואַנידזשיז פון די יאָן ינדזשעקשאַן פּראָצעס, אַזאַ ווי די מאָדיפיצירטע שיכט און די סאַבסטראַט צווישן די שאַרף צובינד, קענען זיין פּראַסעסט ביי צימער טעמפּעראַטור וואָרקפּיעסע, און אַזוי ווייטער. דעריבער, דורך קאַמביינינג יאָן ימפּלאַנטיישאַן מיט קאָוטינג טעכנאָלאָגיע, יאָנען מיט אַ געוויסע ענערגיע זענען קאַנטיניואַסלי ינדזשעקטעד אין די צובינד צווישן די פילם און די סאַבסטראַט בשעת קאָוטינג, און די צובינד אַטאָמס זענען געמישט מיט די הילף פון קאַסקאַדע קאַליזשאַנז, פאָרמינג אַן אַטאָם מיקסינג יבערגאַנג זאָנע לעבן די ערשט צובינד צו פֿאַרבעסערן די באַנדינג קראַפט צווישן די פילם און די סאַבסטראַט. דערנאָך, אויף די אַטאָם מיקסינג זאָנע, די פילם מיט די פארלאנגט גרעב און פּראָפּערטיעס פאָרזעצן צו וואַקסן מיט די אָנטייל פון די יאָן שטראַל.
דאָס ווערט גערופן יאָן שטראַל אַסיסטעד דעפּאָזיציע (IBED), וואָס האַלט די כאַראַקטעריסטיקס פון דעם יאָן ימפּלאַנטאַציע פּראָצעס בשעת עס ערלויבט דעם סאַבסטראַט צו זיין באדעקט מיט אַ דין פילם מאַטעריאַל וואָס איז גאָר אַנדערש פון דעם סאַבסטראַט.
יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאַזישאַן האט די פאלגענדע אַדוואַנידזשיז.
(1) זינט יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאָזיציע דזשענערירט פּלאַזמע אָן גאַז אָפּזאָגן, קען קאָוטינג דורכגעפירט ווערן ביי אַ דרוק פון <10-2 פּאַ, וואָס רעדוצירט גאַז קאַנטאַמאַניישאַן.
(2) די גרונטלעכע פּראָצעס פּאַראַמעטערס (יאָן ענערגיע, יאָן געדיכטקייט) זענען עלעקטרישע. בכלל דאַרף מען נישט קאָנטראָלירן דעם גאַז שטראָם און אַנדערע נישט-עלעקטרישע פּאַראַמעטערס, מען קען לייכט קאָנטראָלירן דעם וואוקס פון דער פילם שיכט, סטרויערן די קאָמפּאָזיציע און סטרוקטור פון דער פילם, און גרינג זיכער מאַכן די איבערחזרנדיקייט פון דעם פּראָצעס.
(3) די ייבערפלאַך פון דער ווערקפּיס קען זיין באדעקט מיט אַ פילם וואָס איז גאָר אַנדערש פון דעם סאַבסטראַט און די גרעב איז נישט באַגרענעצט דורך די ענערגיע פון די באָמבאַרדירונג יאָנען ביי נידעריק טעמפּעראַטור (<200℃). עס איז פּאַסיק פֿאַר ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פון דאָפּעד פאַנגקשאַנאַל פילמען, קאַלט מאַשינד פּרעציזיע פורמען און נידעריק טעמפּעראַטור טעמפּערד סטרוקטורעל שטאָל.
(4) עס איז אַ נישט-גלייכגעוויכט פּראָצעס קאָנטראָלירט ביי צימער טעמפּעראַטור. נייע פונקציאָנעלע פילמען ווי הויך-טעמפּעראַטור פאַזעס, סובסטאַביל פאַזעס, אַמאָרפֿישע אַלויז, אאז"וו קענען באַקומען ווערן ביי צימער טעמפּעראַטור.
די חסרונות פון יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאַזישאַן זענען.
(1) ווייל דער יאָן שטראַל האט דירעקטע ראַדיאַציע כאַראַקטעריסטיקס, איז שווער צו האַנדלען מיט קאָמפּלעקס ייבערפלאַך פאָרעם פון די ווערקפּיס
(2) עס איז שווער צו האַנדלען מיט גרויסע און גרויסע-שטח ווערקפּיעסעס צוליב דער באַגרענעצונג פון דער גרייס פון די יאָן שטראַל שטראָם.
(3) די יאָן שטראַל אַסיסטירטע דעפּאָזיציע קורס איז געוויינטלעך אַרום 1 נאַנאָמעטער/ס, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר דער צוגרייטונג פון דין פילם לייַערס, און איז נישט פּאַסיק פֿאַר די פּלייטינג פון גרויסע קוואַנטאַטיז פון פּראָדוקטן.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 16טן נאוועמבער 2023