آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی

آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی آئن بیم انجیکشن اور بخارات جمع کرنے والی کوٹنگ ٹیکنالوجی ہے جو آئن سطح کی جامع پروسیسنگ ٹیکنالوجی کے ساتھ ملتی ہے۔ آئن انجیکشن والے مواد کی سطح میں ترمیم کے عمل میں، چاہے سیمی کنڈکٹر میٹریلز ہوں یا انجینئرنگ میٹریل، اکثر یہ خواہش کی جاتی ہے کہ ترمیم شدہ پرت کی موٹائی آئن امپلانٹیشن کے مقابلے میں بہت زیادہ ہو، لیکن یہ آئن انجیکشن کے عمل کے فوائد کو بھی برقرار رکھنا چاہتے ہیں، جیسے کہ ترمیم شدہ پرت اور سبسٹریٹ، کمرے کے درجہ حرارت پر درجہ حرارت پر عمل کیا جا سکتا ہے۔ لہذا، کوٹنگ ٹیکنالوجی کے ساتھ آئن امپلانٹیشن کو ملا کر، کوٹنگ کے دوران ایک خاص توانائی کے ساتھ آئنوں کو فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان انٹرفیس میں لگاتار انجکشن کیا جاتا ہے، اور انٹرفیشل ایٹموں کو جھرنوں کے تصادم کی مدد سے ملایا جاتا ہے، ابتدائی انٹرفیس کے قریب ایٹم مکسنگ ٹرانزیشن زون بناتا ہے تاکہ بانڈنگ اور سبسٹریٹ کے درمیان بانڈنگ کو بہتر بنایا جا سکے۔ پھر، ایٹم مکسنگ زون پر، مطلوبہ موٹائی اور خصوصیات کے ساتھ فلم آئن بیم کی شرکت کے ساتھ بڑھتی رہتی ہے۔

اسے آئن بیم اسسٹڈ ڈیپوزیشن (IBED) کہا جاتا ہے، جو آئن امپلانٹیشن کے عمل کی خصوصیات کو برقرار رکھتا ہے جبکہ سبسٹریٹ کو ایک پتلی فلمی مواد کے ساتھ لیپت کرنے کی اجازت دیتا ہے جو سبسٹریٹ سے بالکل مختلف ہے۔

آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے کے درج ذیل فوائد ہیں۔

(1) چونکہ آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے سے گیس خارج ہونے کے بغیر پلازما پیدا ہوتا ہے، اس لیے کوٹنگ کو <10-2 Pa کے دباؤ پر کیا جا سکتا ہے، جس سے گیس کی آلودگی کم ہوتی ہے۔

(2) بنیادی عمل کے پیرامیٹرز (آئن انرجی، آئن کثافت) برقی ہیں۔ عام طور پر گیس کے بہاؤ اور دیگر غیر برقی پیرامیٹرز کو کنٹرول کرنے کی ضرورت نہیں ہے، آپ آسانی سے فلم کی پرت کی نشوونما کو کنٹرول کر سکتے ہیں، فلم کی ساخت اور ساخت کو ایڈجسٹ کر سکتے ہیں، عمل کی تکرار کو یقینی بنانا آسان ہے۔

(3) ورک پیس کی سطح کو ایک ایسی فلم کے ساتھ لیپت کیا جاسکتا ہے جو سبسٹریٹ سے بالکل مختلف ہو اور موٹائی کم درجہ حرارت (<200℃) پر بمباری آئنوں کی توانائی سے محدود نہیں ہوتی ہے۔ یہ ڈوپڈ فنکشنل فلموں، کولڈ مشینڈ پریزیشن مولڈز اور کم درجہ حرارت والے ساختی اسٹیل کے سطحی علاج کے لیے موزوں ہے۔

(4) یہ ایک غیر متوازن عمل ہے جسے کمرے کے درجہ حرارت پر کنٹرول کیا جاتا ہے۔ نئی فنکشنل فلمیں جیسے کہ ہائی ٹمپریچر فیز، سبسٹیبل فیز، بے ساختہ مرکبات وغیرہ کمرے کے درجہ حرارت پر حاصل کیے جاسکتے ہیں۔

آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کے نقصانات ہیں۔

(1) چونکہ آئن بیم میں براہ راست تابکاری کی خصوصیات ہیں، اس لیے ورک پیس کی پیچیدہ سطح کی شکل سے نمٹنا مشکل ہے۔

(2) آئن بیم اسٹریم کے سائز کی حد کی وجہ سے بڑے پیمانے پر اور بڑے ایریا والے ورک پیس سے نمٹنا مشکل ہے۔

(3) آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کی شرح عام طور پر 1nm/s کے لگ بھگ ہوتی ہے، جو کہ پتلی فلمی تہوں کی تیاری کے لیے موزوں ہے، اور بڑی مقدار میں مصنوعات کو چڑھانے کے لیے موزوں نہیں ہے۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا