Ион нуры ярдәмендә чүпләү технологиясе - ион нурларын инъекцияләү һәм парны каплау каплау технологиясе, ион өслеген композит эшкәртү технологиясе белән берләштерелгән. Ион инъекцияләнгән материалларның өслеген модификацияләү процессында, ярымүткәргеч материаллар яки инженер материаллары булсын, еш үзгәртелгән катлам калынлыгы ион имплантациясенә караганда күпкә зуррак булырга тиеш, ләкин шулай ук үзгәртелгән катлам һәм кискен интерфейс арасындагы субстрат өстенлекләрен сакларга тели, бүлмә температурасы эшендә һәм башкалар. Шуңа күрә, ион имплантациясен каплау технологиясе белән берләштереп, билгеле бер энергия белән ионнар каплау вакытында фильм һәм субстрат арасындагы интерфейска өзлексез кертелә, һәм интерфейсара атомнар каскад бәрелешләре ярдәмендә кушылып, кино белән субстрат арасындагы бәйләнеш көчен яхшырту өчен башлангыч интерфейс янында атом кушылу зонасын формалаштыралар. Аннары, атом кушылу зонасында кирәкле калынлык һәм характеристикасы булган фильм ион нуры катнашында үсә бара.
Бу Ion Beam Assisted Deposition (IBED) дип атала, ул ион имплантация процессының характеристикаларын саклый, шул ук вакытта субстратны субстраттан бөтенләй аерылып торган нечкә кино материалы белән капларга мөмкинлек бирә.
Ион нуры ярдәмендә түбәндәге өстенлекләр бар.
.
(2) Төп процесс параметрлары (ион энергиясе, ион тыгызлыгы) электр. Гадәттә газ агымын һәм башка электр булмаган параметрларны контрольдә тоту кирәк түгел, сез кино катламының үсешен җиңел контрольдә тота аласыз, фильмның составын һәм структурасын көйли аласыз, процессның кабатлануын тәэмин итү җиңел.
(3) Эш кисәгенең өслеге субстраттан бөтенләй аерылып торган пленка белән капланырга мөмкин һәм калынлыгы түбән температурада бомбардировать ионнары энергиясе белән чикләнми (<200 ℃). Бу допедлы функциональ фильмнарны, салкын эшкәртелгән төгәл формаларны һәм түбән температуралы температуралы корычны эшкәртү өчен яраклы.
(4) Бу бүлмә температурасында контрольдә булмаган тигезсезлек процессы. Бүлмә температурасында югары температуралы этаплар, алмаштырыла торган этаплар, аморф эретмәләре һ.б. кебек яңа функциональ фильмнарны алырга мөмкин.
Ион нурының булышлыклары.
(1) Ион нурының туры нурланыш үзенчәлекләре булганга, эш кисәгенең катлаулы өслек формасы белән эш итү кыен
(2) Ион нуры агымының зурлыгы чикләнгәнгә, зур масштаблы һәм зур мәйданлы эш кисәкләре белән эш итү кыен.
.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 16-2023 ноябрь