Kalamangan ng kagamitan
1. Deep Hole Coating Optimization
Eksklusibong Deep Hole Coating Technology: Ang teknolohiya ng deep hole coating na binuo ng Zhenhua Vacuum ay makakamit ng mas mataas na aspect ratio na 10:1 kahit para sa maliliit na aperture na kasing liit ng 30 micrometers, na nalalampasan ang mga hamon sa coating ng mga kumplikadong istruktura ng malalim na butas.
2. Nako-customize, Sinusuportahan ang Iba't ibang Sukat
Sinusuportahan ang mga glass substrate na may iba't ibang laki, kabilang ang 600×600mm / 510×515mm o mas malaking mga detalye.
3. Flexibility ng Proseso, Tugma sa Maramihang Materyal
Ang kagamitan ay tugma sa conductive o functional thin film na materyales gaya ng Cu, Ti, W, Ni, at Pt, na nakakatugon sa iba't ibang pangangailangan sa aplikasyon para sa conductivity at corrosion resistance.
4. Matatag na Pagganap ng Kagamitan, Madaling Pagpapanatili
Ang kagamitan ay nilagyan ng isang intelligent control system na nagbibigay-daan sa awtomatikong pagsasaayos ng parameter at real-time na pagsubaybay sa pagkakapareho ng kapal ng pelikula; gumagamit ito ng modular na disenyo para sa madaling pagpapanatili, na binabawasan ang downtime.
Application:Maaaring gamitin para sa advanced na packaging ng TGV/TSV/TMV, na may kakayahang makamit ang deep hole seed layer coating na may aspect ratio ≥10:1.