1, Nyşana ýüzünde metal birleşmeleriniň emele gelmegi
Reaktiw püskürtme prosesi arkaly metal nyşana ýüzünden birleşme emele getirmek prosesinde birleşme nirede emele gelýär? Reaktiw gaz bölejikleri bilen nyşana ýüzüniň atomlarynyň arasyndaky himiki reaksiýa adatça ekzotermik bolan birleşme atomlaryny emele getirýändigi üçin, reaksiýanyň ýylylygynyň geçirilmeginiň bir usuly bolmaly, ýogsam himiki reaksiýa dowam edip bilmez. Wakuum şertlerinde gazlaryň arasynda ýylylyk geçişi mümkin däl, şonuň üçin himiki reaksiýa berk ýüzünde bolmaly. Reaksiýanyň püskürtmesi nyşana ýüzünde, substrat ýüzünde we beýleki gurluşyk ýüzünde birleşmeleri emele getirýär. Substrat ýüzünde birleşmeleri döretmek maksatdyr, beýleki gurluşyk ýüzünde birleşmeleri döretmek serişdeleriň ýitgisidir we nyşana ýüzünde birleşmeleri döretmek birleşme atomlarynyň çeşmesi hökmünde başlaýar we yzygiderli has köp birleşme atomlaryny üpjün etmek üçin päsgelçilik döredýär.
2, Nyşana zäherlenmegiň täsir faktorlary
Nyşana zäherlenmä täsir edýän esasy faktor reaksiýa gazynyň we püskürýän gazyň gatnaşygydyr, reaksiýa gazynyň aşa köp bolmagy nyşana zäherlenmä getirer. Reaksiýa püskürme prosesi nyşana ýüzünde amala aşyrylýar, püskürýän kanal meýdany reaksiýa birleşmesi bilen örtülen ýaly ýa-da reaksiýa birleşmesi soýulyp, metal ýüzüne gaýtadan açyk goýulýar. Eger birleşme döreme tizligi birleşme soýulma tizliginden ýokary bolsa, birleşme örtük meýdany artýar. Belli bir güýçde, birleşme döremesinde gatnaşýan reaksiýa gazynyň mukdary artýar we birleşme döreme tizligi artýar. Eger reaksiýa gazynyň mukdary aşa artsa, birleşme örtük meýdany artýar. Eger reaksiýa gazynyň akymynyň tizligini wagtynda sazlap bolmasa, birleşme örtük meýdanynyň artma tizligi basylyp saklanmaýar we püskürýän kanal birleşme bilen has-da örtüler, püskürýän nyşana birleşme bilen doly örtülende, nyşana doly zäherlenýär.
3, Nyşana zäherlenme hadysasy
(1) oňyn ionlaryň toplanmagy: nyşana zäherlenende, nyşana ýüzünde izolýasiýa plýonkasynyň gatlagy emele gelýär, izolýasiýa gatlagynyň dykylmagy sebäpli oňyn ionlar katodyň nyşana ýüzüne ýetýär. Katodyň nyşana ýüzüne gönüden-göni girmeýär, ýöne nyşana ýüzünde toplanýar, sowuk meýdany ýaý boşalmasyna öwürmek aňsat, şonuň üçin katodyň püskürmegi dowam edip bilmeýär.
(2) Anodyň ýitip gitmegi: nyşana zäherlenende, topraklama kamerasynyň diwaryna izolýasiýa plýonkasy hem goýulýar, anod elektronlary anoda ýetip bilmeýär we anodyň ýitip gitmegi hadysasy emele gelýär.
4, Nyşana zäherlenmegiň fiziki düşündirişi
(1) Umuman alanyňda, metal birleşmeleriniň ikinji elektron emissiýa koeffisiýenti metallaryňkydan ýokarydyr. Nyşana zäherlenmeden soň, nyşananyň ýüzüniň hemmesi metal birleşmelerinden ybarat bolýar we ionlar tarapyndan bombardman edilenden soň, bölünip çykýan ikinji elektronlaryň sany artýar, bu bolsa giňişligiň geçirijiligini gowulandyrýar we plazma impedansyny azaldýar, bu bolsa püskürme naprýaženiýesiniň peselmegine getirýär. Bu püskürme tizligini azaldýar. Umuman alanyňda, magnetron püskürmesiniň püskürme naprýaženiýesi 400V-600V aralygynda bolýar we nyşana zäherlenmesi ýüze çykanda, püskürme naprýaženiýesi ep-esli azalýar.
(2) Metal nyşana we birleşme nyşanasynyň başlangyç püskürme tizligi tapawutlydyr, umuman, metalyň püskürme koeffisiýenti birleşmeniň püskürme koeffisiýentinden ýokarydyr, şonuň üçin nyşana zäherlenmesinden soň püskürme tizligi pes bolýar.
(3) Reaktiw püskürýän gazyň püskürme netijeliligi aslynda inert gazyň püskürme netijeliliginden pes, şonuň üçin reaktiw gazyň paýy artandan soň umumy püskürme tizligi azalýar.
5, Nyşana zäherlenme üçin çözgütler
(1) Orta ýygylykly elektrik üpjünçiligini ýa-da radio ýygylykly elektrik üpjünçiligini kabul ediň.
(2) Reaksiýa gazynyň akymynyň ýapyk aýlawly dolandyryşyny kabul ediň.
(3) Iki nyşana kabul ediň
(4) Örtük režiminiň üýtgemegini gözegçilikde saklaň: Örtükden öň, nyşana zäherlenmeginiň gisterezis täsiri egrisi ýygnalýar, şonuň üçin giriş howa akymy nyşana zäherlenmeginiň öň tarapynda gözegçilik edilýär we çökündi tizligi keskin pese gaçmazdan öň prosesiň hemişe režimde bolmagyny üpjün edýär.
–Bu makala wakuum örtük enjamlaryny öndüriji “Guangdong Zhenhua Technology” kompaniýasy tarapyndan çap edildi.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 7-nji noýabry