1, ការបង្កើតសមាសធាតុលោហៈនៅលើផ្ទៃគោលដៅ
តើសមាសធាតុត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅឯណាក្នុងដំណើរការនៃការបង្កើតសមាសធាតុពីផ្ទៃគោលដៅលោហៈដោយដំណើរការ sputtering ដែលមានប្រតិកម្ម? ដោយសារប្រតិកម្មគីមីរវាងភាគល្អិតឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្ម និងអាតូមផ្ទៃគោលដៅបង្កើតអាតូមសមាសធាតុ ដែលជាធម្មតាបញ្ចេញកំដៅ កំដៅប្រតិកម្មត្រូវតែមានវិធីដើម្បីដំណើរការចេញ បើមិនដូច្នោះទេប្រតិកម្មគីមីមិនអាចបន្តបានទេ។ ក្រោមលក្ខខណ្ឌសុញ្ញកាស ការផ្ទេរកំដៅរវាងឧស្ម័នមិនអាចធ្វើទៅបានទេ ដូច្នេះប្រតិកម្មគីមីត្រូវតែកើតឡើងនៅលើផ្ទៃរឹង។ sputtering ដែលមានប្រតិកម្មបង្កើតសមាសធាតុនៅលើផ្ទៃគោលដៅ ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម និងផ្ទៃរចនាសម្ព័ន្ធផ្សេងទៀត។ ការបង្កើតសមាសធាតុនៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមគឺជាគោលដៅ ការបង្កើតសមាសធាតុនៅលើផ្ទៃរចនាសម្ព័ន្ធផ្សេងទៀតគឺជាការខ្ជះខ្ជាយធនធាន ហើយការបង្កើតសមាសធាតុនៅលើផ្ទៃគោលដៅចាប់ផ្តើមជាប្រភពនៃអាតូមសមាសធាតុ ហើយក្លាយជាឧបសគ្គដល់ការផ្តល់អាតូមសមាសធាតុបន្ថែមទៀតជាបន្តបន្ទាប់។
2, កត្តាផលប៉ះពាល់នៃការពុលគោលដៅ
កត្តាចម្បងដែលប៉ះពាល់ដល់ការពុលគោលដៅគឺសមាមាត្រនៃឧស្ម័នប្រតិកម្ម និងឧស្ម័នបាញ់ថ្នាំ ឧស្ម័នប្រតិកម្មច្រើនពេកនឹងនាំឱ្យមានការពុលគោលដៅ។ ដំណើរការបាញ់ថ្នាំប្រតិកម្មត្រូវបានអនុវត្តនៅលើផ្ទៃគោលដៅ តំបន់បណ្តាញបាញ់ថ្នាំហាក់ដូចជាត្រូវបានគ្របដណ្តប់ដោយសមាសធាតុប្រតិកម្ម ឬសមាសធាតុប្រតិកម្មត្រូវបានបកចេញ និងលាតត្រដាងផ្ទៃលោហៈឡើងវិញ។ ប្រសិនបើអត្រានៃការបង្កើតសមាសធាតុធំជាងអត្រានៃការបកចេញសមាសធាតុ ផ្ទៃគ្របដណ្តប់សមាសធាតុកើនឡើង។ នៅថាមពលជាក់លាក់មួយ បរិមាណឧស្ម័នប្រតិកម្មដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតសមាសធាតុកើនឡើង ហើយអត្រានៃការបង្កើតសមាសធាតុកើនឡើង។ ប្រសិនបើបរិមាណឧស្ម័នប្រតិកម្មកើនឡើងខ្លាំងពេក ផ្ទៃគ្របដណ្តប់សមាសធាតុកើនឡើង។ ហើយប្រសិនបើអត្រាលំហូរឧស្ម័នប្រតិកម្មមិនអាចកែតម្រូវបានទាន់ពេលវេលាទេ អត្រានៃការកើនឡើងផ្ទៃគ្របដណ្តប់សមាសធាតុមិនត្រូវបានបង្ក្រាបទេ ហើយបណ្តាញបាញ់ថ្នាំនឹងត្រូវបានគ្របដណ្តប់បន្ថែមទៀតដោយសមាសធាតុ នៅពេលដែលគោលដៅបាញ់ថ្នាំត្រូវបានគ្របដណ្តប់ទាំងស្រុងដោយសមាសធាតុ គោលដៅត្រូវបានបំពុលទាំងស្រុង។
៣, បាតុភូតពុលគោលដៅ
(1) ការប្រមូលផ្តុំអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមាន៖ នៅពេលដែលគោលដៅពុល ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់មួយនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃគោលដៅ អ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានទៅដល់ផ្ទៃគោលដៅកាតូតដោយសារតែការស្ទះនៃស្រទាប់អ៊ីសូឡង់។ មិនចូលទៅក្នុងផ្ទៃគោលដៅកាតូតដោយផ្ទាល់ទេ ប៉ុន្តែប្រមូលផ្តុំនៅលើផ្ទៃគោលដៅ ងាយនឹងបង្កើតជាដែនត្រជាក់ដើម្បីបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនី - ចរន្តអគ្គិសនី ដូច្នេះការបំភាយចរន្តអគ្គិសនីកាតូតមិនអាចបន្តទៅមុខបានទេ។
(2) ការបាត់ខ្លួននៃអាណូត៖ នៅពេលដែលគោលដៅត្រូវបានបំពុល ជញ្ជាំងបន្ទប់បូមធូលីដែលមានដីក៏ត្រូវបានដាក់ខ្សែភាពយន្តអ៊ីសូឡង់ផងដែរ ដែលអេឡិចត្រុងទៅដល់អាណូតមិនអាចចូលទៅក្នុងអាណូតបានទេ ការបង្កើតបាតុភូតបាត់ខ្លួននៃអាណូត។
៤, ការពន្យល់ខាងរូបវន្តនៃការពុលគោលដៅ
(1) ជាទូទៅ មេគុណបំភាយអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំនៃសមាសធាតុលោហៈគឺខ្ពស់ជាងលោហៈ។ បន្ទាប់ពីការពុលគោលដៅ ផ្ទៃនៃគោលដៅគឺជាសមាសធាតុលោហៈទាំងអស់ ហើយបន្ទាប់ពីត្រូវបានបាញ់ដោយអ៊ីយ៉ុង ចំនួនអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំដែលបញ្ចេញកើនឡើង ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវចរន្តអគ្គិសនីនៃលំហ និងកាត់បន្ថយភាពធន់នៃប្លាស្មា ដែលនាំឱ្យមានវ៉ុលស្ព្រាយទាបជាង។ នេះកាត់បន្ថយអត្រាស្ព្រាយ។ ជាទូទៅ វ៉ុលស្ព្រាយនៃការស្ព្រាយម៉ាញ៉េត្រុងគឺស្ថិតនៅចន្លោះ 400V-600V ហើយនៅពេលដែលការពុលគោលដៅកើតឡើង វ៉ុលស្ព្រាយត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង។
(2) អត្រានៃការបាញ់ថ្នាំគោលដៅលោហៈ និងគោលដៅសមាសធាតុដើមឡើយគឺខុសគ្នា ជាទូទៅមេគុណនៃការបាញ់ថ្នាំលោហៈគឺខ្ពស់ជាងមេគុណនៃការបាញ់ថ្នាំសមាសធាតុ ដូច្នេះអត្រានៃការបាញ់ថ្នាំគឺទាបបន្ទាប់ពីការពុលគោលដៅ។
(3) ប្រសិទ្ធភាពនៃការបញ្ចេញឧស្ម័នប្រតិកម្មដំបូងគឺទាបជាងប្រសិទ្ធភាពនៃឧស្ម័នអសកម្ម ដូច្នេះអត្រាបញ្ចេញឧស្ម័នគ្រប់ជ្រុងជ្រោយថយចុះបន្ទាប់ពីសមាមាត្រនៃឧស្ម័នប្រតិកម្មកើនឡើង។
៥, ដំណោះស្រាយសម្រាប់ការពុលគោលដៅ
(1) ប្រើប្រាស់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់មធ្យម ឬការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់វិទ្យុ។
(2) អនុម័តការគ្រប់គ្រងរង្វិលជុំបិទជិតនៃលំហូរចូលឧស្ម័នប្រតិកម្ម។
(3) ទទួលយកគោលដៅភ្លោះ
(4) គ្រប់គ្រងការផ្លាស់ប្តូររបៀបថ្នាំកូត៖ មុនពេលលាបថ្នាំ ខ្សែកោងឥទ្ធិពលហ៊ីស្តេរីស៊ីសនៃការពុលគោលដៅត្រូវបានប្រមូល ដូច្នេះលំហូរខ្យល់ចូលត្រូវបានគ្រប់គ្រងនៅផ្នែកខាងមុខនៃការផលិតការពុលគោលដៅ ដើម្បីធានាថាដំណើរការនេះតែងតែស្ថិតក្នុងរបៀបមុនពេលអត្រានៃការដាក់ថ្នាំធ្លាក់ចុះយ៉ាងខ្លាំង។
– អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយ Guangdong Zhenhua Technology ដែលជាក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែវិច្ឆិកា-០៧-២០២២