Ni ibihe bintu bigira ingaruka ku burozi buterwa na magnetron sputtering?

1, Gukora imvange z'ibyuma ku buso bw'ikintu kigamije
Aho iki kinyabutabire gikorerwa mu gihe cyo gukora ikinyabutabire giturutse ku buso bw'icyuma hakoreshejwe uburyo bwo gusukamo umwuka? Kubera ko uburyo bwa shimi hagati y'uduce twa gazi duhinduka n'atome zo ku buso bugamije butanga atome zivanze, akenshi ziba exothermic, ubushyuhe bw'imikorere bugomba kugira uburyo bwo kubikoresha, bitabaye ibyo uburyo bwa shimi ntibushobora gukomeza. Mu gihe cy'umwuka udafite umwuka, kwimura ubushyuhe hagati y'atome ntibishoboka, bityo uburyo bwa shimi bugomba kuba ku buso bukomeye. Gusukamo umwuka bitanga ibintu ku buso bugamije, ku buso busanzwe, no ku bundi buryo bw'imiterere. Intego ni ugukora ibintu ku buso busanzwe, gukora ibintu ku buso busanzwe ni ugupfusha ubusa umutungo, kandi gukora ibintu ku buso bugamije bitangira nk'isoko ya atome zivanze kandi bikaba imbogamizi yo gutanga atome nyinshi zivanze.

2, Ingaruka z'uburozi buterwa n'intego
Ikintu cy'ingenzi kigira ingaruka ku burozi bw’intego ni igipimo cy’umwuka utera ingaruka ku ngaruka n’umwuka utera ingaruka ku ngaruka, umwuka mwinshi utera ingaruka ku ngaruka utera ingaruka ku ngaruka. Uburyo bwo gutera ingaruka ku ngaruka bukorerwa mu gice cy’umuyoboro utera ingaruka ku ngaruka ku ngaruka busa n’aho butwikiriwe n’inyongera cyangwa igice cy’umuyoboro utera ingaruka ku ngaruka kikongera kugaragara ku buso bw’icyuma. Iyo igipimo cyo gutera ingingo kiruta igipimo cyo gutera ingingo ku ngaruka, agace gatwikiriwe n’inyongera kiyongera. Ku ngufu runaka, ingano y’umwuka utera ingingo ku ngaruka irazamuka kandi igipimo cyo gutera ingingo ku ngaruka kirongera. Iyo ingano y’umwuka utera ingingo yiyongera cyane, agace gatwikiriwe n’inyongera kiyongera. Kandi niba igipimo cy’umuyoboro utera ingingo kidashobora guhindurwa mu gihe, igipimo cyo kwiyongera k’agace gatwikiriwe n’inyongera ntikigabanywa, kandi umuyoboro utera ingingo uzakomeza gutwikirirwa n’inyongera, iyo intego yo gutera ingingo itwikiriwe n’inyongera ku ngaruka, intego iba yuzuye uburozi.

3, Ikibazo cy'uburozi bw'intego
(1) ubwiyongere bwa iyoni nziza: iyo uburozi bw’ikintu bukoreshejwe, urwego rw’icyuma gikingira ibidukikije ruzakorwa ku buso bw’ikintu, iyoni nziza zigera ku buso bw’ikintu gikingira ibidukikije bitewe n’uko urwego rw’ikintu gikingira ibidukikije rwazibye. Ntizinjira mu buryo butaziguye ku buso bw’ikintu gikingira ibidukikije, ahubwo zirundanya ku buso bw’ikintu gikingira ibidukikije, byoroshye gutanga umuyoboro ukonje wo gusohora arc — arcing, ku buryo cathode itabasha gukomeza gusohora.
(2) ibura rya anode: iyo uburozi bw’ikintu cyakoreshejwe, urukuta rw’icyumba cy’ubusa rufite ifu rushyiramo firime irinda ubushyuhe, electron za anode ntizishobora kwinjira muri anode, ikorwa ry’ibura rya anode.

4, Ibisobanuro bifatika ku burozi bw'intego
(1) Muri rusange, igipimo cya kabiri cy’ibyuka bya elegitoroniki mu byuma kiba kiri hejuru y’icy’ibyuma. Nyuma yo gushwanyaguzwa n’intego, ubuso bw’intego bugizwe n’ibintu by’icyuma gusa, kandi nyuma yo gukubitwa na iyoni, umubare wa elegitoroniki za kabiri zirekurwa uriyongera, ibyo bikanoza imikorere y’ikirere kandi bikagabanya impedance ya plasma, bigatuma voltage yo gushwanyaguzwa iba nkeya. Ibi bigabanya igipimo cyo gushwanyaguzwa. Muri rusange voltage yo gushwanyaguzwa n’intego ya magnetron iba iri hagati ya 400V-600V, kandi iyo habayeho uburozi, voltage yo gushwanyaguzwa iragabanuka cyane.
(2) Igipimo cyo gusukamo kw'icyuma gishongeshejwe n'ikintu gishongeshejwe mu ntangiriro kiratandukanye, muri rusange igipimo cyo gusukamo kw'icyuma kiri hejuru y'igipimo cyo gusukamo kw'ikintu gishongeshejwe, bityo igipimo cyo gusukamo kw'ikintu kiba gito nyuma yo gushwanyaguzwa.
(3) Ubushobozi bwo gusohora umwuka ukoresha umwuka ukoresha umwuka utari mu kirere buri hasi ugereranyije n'ubushobozi bwo gusohora umwuka utari mu kirere, bityo igipimo cy'umuvuduko w'umwuka ukoresha umwuka ukoresha umwuka ukoresha umwuka urimo umwuka ugabanuka nyuma y'uko igipimo cy'umwuka ukoresha umwuka w'umwuka cyiyongera.

5, Ibisubizo ku burozi bw'intego
(1) Koresha amashanyarazi akoreshwa ku murongo uciriritse cyangwa akoreshwa ku murongo wa radiyo.
(2) Koresha uburyo bwo kugenzura ubwinjirire bw'umwuka uturuka ku ruhu.
(3) Shyiraho intego ebyiri
(4) Kugenzura ihinduka ry'uburyo bwo gutwikira: Mbere yo gutwikira, umurongo w'ingaruka za hysteresis z'uburozi bw'intego urakusanywa kugira ngo umwuka winjira ugenzurwe imbere y'uko uburozi bw'intego bukorwa kugira ngo hamenyekane ko inzira ihora iri mu buryo mbere yuko igipimo cyo gushyiramo kigabanuka cyane.

–Iyi nkuru yasohotse na Guangdong Zhenhua Technology, uruganda rukora ibikoresho byo gusiga irangi mu buryo bw'umwuka.