He aha ngā āhuatanga e pā ana ki te paihana ūnga i roto i te magnetron sputtering?

1, Te hanganga o ngā matū whakarewa i runga i te mata ūnga
Kei hea te matū i hangaia i te tukanga hanga i tētahi matū mai i te mata whakarewa e ahu mai ana i te tukanga pupuhi tauhohe? Nā te mea ka puta he ngota matū i waenga i ngā matūriki hau tauhohe me ngā ngota mata e ahu mai ana i te tauhohenga matū, he mea werawera te nuinga o te wā, me whai ara te wera tauhohenga ki te kawe atu, ki te kore, kāore e taea te haere tonu o te tauhohenga matū. I raro i ngā āhuatanga korehau, kāore e taea te whakawhiti wera i waenga i ngā hau, nō reira me puta te tauhohenga matū ki runga i te mata totoka. Ka puta he matū i runga i ngā mata e ahu mai ana i te pupuhi tauhohenga, i ngā mata papa, me ētahi atu mata hanganga. Ko te whakaputa matū i runga i te mata papa te whāinga, ko te whakaputa matū i runga i ētahi atu mata hanganga he moumou rauemi, ā, ko te whakaputa matū i runga i te mata e ahu mai ana ka tīmata hei pūtake o ngā ngota matū, ā, ka noho hei arai ki te whakarato tonu i ngā ngota matū.

2, Ngā pānga o te paihana ūnga
Ko te mea nui e pā ana ki te paihana o te ūnga ko te ōwehenga o te hau tauhohenga me te hau pupuhi. Mēnā he nui rawa te hau tauhohenga ka arahi ki te paihana o te ūnga. Ka mahia te tukanga pupuhi tauhohenga i roto i te mata ūnga, te āhua nei kua kapihia e te matū tauhohenga, kua tangohia rānei te matū tauhohenga, ā, kua whakaatuhia anō te mata whakarewa. Mēnā he nui ake te tere o te whakaputanga matū i te tere o te tangohanga matū, ka piki ake te horahanga kapi o te matū. I tētahi mana, ka piki ake te nui o te hau tauhohenga e uru ana ki te whakaputanga matū, ā, ka piki ake te tere o te whakaputanga matū. Mēnā ka nui rawa te pikinga o te hau tauhohenga, ka piki ake te horahanga kapi o te matū. Ā, ki te kore e taea te whakarerekē i te tere rere o te hau tauhohenga i roto i te wā, kāore e pehia te tere o te pikinga o te horahanga kapi o te matū, ā, ka kapi anō te awaawa pupuhi e te matū, ina kapi katoa te ūnga pupuhi e te matū, kua paihana katoa te ūnga.

3, Te āhuatanga paihana ūnga
(1) te kohikohinga o ngā katote pai: ina pāngia te ūnga e te paihana, ka hangaia he paparanga kiriata ārai i runga i te mata ūnga, ka tae ngā katote pai ki te mata ūnga katote nā te aukati o te paparanga ārai. Kāore e uru tika ki te mata ūnga katote, engari ka kohikohi ki runga i te mata ūnga, ka ngāwari te whakaputa i te mara matao ki te tukunga pewa - te pewa, kia kore ai e taea te haere tonu te pupuhi o te katote.
(2) te ngaronga o te anode: i te wa e paitini ana te ūnga, ka tukuna ano hoki te kiriata whakamahana ki te pakitara rūma korehau whenua, ka kore e taea e nga irahiko anode te tomo ki te anode, ka puta te ngaronga o te anode.

4, Whakamārama ā-tinana mō te paihana ūnga
(1) I te nuinga o te wā, he teitei ake te tauwehenga tukunga irahiko tuarua o ngā matū whakarewa i tērā o ngā konganuku. I muri i te paihana o te ūnga, he matū whakarewa katoa te mata o te ūnga, ā, i muri i te pupuhitanga e ngā katote, ka piki ake te maha o ngā irahiko tuarua e tukuna ana, ka whakapai ake i te kawe hiko o te wāhi me te whakaiti i te aukati plasma, ka iti ake te ngaohiko pupuhi. Ka whakaitihia e tēnei te tere pupuhi. I te nuinga o te wā, ko te ngaohiko pupuhi o te pupuhi magnetron kei waenga i te 400V-600V, ā, ina puta te paihana o te ūnga, ka tino heke te ngaohiko pupuhi.
(2) He rerekē te tere o te pupuhi i waenganui i te konganuku me te matū, i te nuinga o te wā he teitei ake te tauwehenga pupuhi o te konganuku i te tauwehenga pupuhi o te matū, nō reira he iti te tere pupuhi i muri i te paihana o te ūnga.
(3) Ko te whai huatanga o te pupuhi o te hau pupuhi tauhohe he iti iho i te whai huatanga o te pupuhi o te hau kore mahi, nō reira ka heke te tere pupuhi whānui i muri i te pikinga o te ōwehenga o te hau urupare.

5, Ngā otinga mō te paihana ūnga
(1) Whakamahia te pūtake hiko auau reo, te pūtake hiko auau reo irirangi rānei.
(2) Whakamahia te mana whakahaere porowhita-kati o te rerenga mai o te hau tauhohenga.
(3) Whakamahi i ngā whāinga māhanga
(4) Whakahaere i te huringa o te aratau paninga: I mua i te paninga, ka kohia te pihi pānga hysteresis o te paihana ūnga kia whakahaeretia ai te rere o te hau e tomo mai ana i mua o te whakaputa paihana ūnga kia mau tonu ai te tukanga i roto i te aratau i mua i te hekenga nui o te tere whakatakotoranga.

–Nā Guangdong Zhenhua Technology tēnei tuhinga i whakaputa, he kaihanga taputapu paninga korehau.