1, Fiforonan'ny akora metaly eo amin'ny velaran'ny lasibatra
Aiza no misy ny akora miforona mandritra ny dingan'ny fananganana akora avy amin'ny velaran'ny metaly kendrena amin'ny alalan'ny dingana "reactive sputtering"? Koa satria ny fihetsika simika eo amin'ny poti-gaz mihetsika sy ny atôma eny ambonin'ny kendrena dia miteraka atôma mitambatra, izay matetika exothermic, dia tsy maintsy misy fomba ahafahan'ny hafanan'ny fihetsika mivoaka, raha tsy izany dia tsy afaka mitohy ny fihetsika simika. Amin'ny toe-javatra banga, dia tsy azo atao ny famindrana hafanana eo amin'ny entona, ka tsy maintsy mitranga amin'ny velaran-javatra mivaingana ny fihetsika simika. Ny "react sputtering" dia miteraka akora eo amin'ny velaran-javatra kendrena, velaran-tany, ary velaran-javatra ara-drafitra hafa. Ny famoronana akora eo amin'ny velaran-tany no tanjona, ny famoronana akora amin'ny velaran-javatra ara-drafitra hafa dia fandaniam-bola, ary ny famoronana akora eo amin'ny velaran-tany kendrena dia manomboka amin'ny maha-loharanon'ny atôma mitambatra azy ary lasa sakana amin'ny fanomezana atôma mitambatra bebe kokoa hatrany.
2, Ireo anton-javatra mety hampisy fanapoizinana amin'ny lasibatra
Ny anton-javatra lehibe misy fiantraikany amin'ny fanapoizinana ny lasibatra dia ny tahan'ny entona mihetsika sy ny entona miparitaka, ny entona mihetsika be loatra dia hitarika amin'ny fanapoizinana ny lasibatra. Ny dingana fiparitahana mihetsika dia atao eo amin'ny velaran'ny lasibatra izay toa rakotra ny akora mihetsika na esorina ny akora mihetsika ary aseho indray ny velaran'ny metaly. Raha mihoatra ny tahan'ny fanesorana ny akora ny tahan'ny famokarana akora, dia mitombo ny velaran'ny akora rakotry ny akora. Amin'ny hery iray, dia mitombo ny habetsaky ny entona mihetsika tafiditra amin'ny famokarana akora ary mitombo ny tahan'ny famokarana akora. Raha mitombo be loatra ny habetsaky ny entona mihetsika, dia mitombo ny velaran'ny akora rakotry ny akora. Ary raha tsy azo amboarina ara-potoana ny tahan'ny fikorianan'ny entona mihetsika, dia tsy voasakana ny fitomboan'ny tahan'ny fitomboan'ny velaran'ny akora, ary ho rakotra bebe kokoa ny fantsona miparitaka, rehefa rakotra tanteraka ny akora ny lasibatra, dia voapoizina tanteraka ny lasibatra.
3, trangan-javatra fanapoizinana lasibatra
(1) Fanangonana iôna tsara: rehefa voapoizina ny lasibatra, dia hisy sosona sarimihetsika manasaraka miforona eo amin'ny velaran'ny lasibatra, ka mahatratra ny velaran'ny katôda lasibatra ny iôna tsara noho ny sakana amin'ny sosona manasaraka. Tsy miditra mivantana amin'ny velaran'ny katôda lasibatra, fa miangona eo amin'ny velaran'ny lasibatra, ka mora ny mamokatra saha mangatsiaka mba hiteraka fivoahan'ny arko — arko, ka tsy afaka mitohy ny fiparitahan'ny katôda.
(2) fanjavonan'ny anode: rehefa voapoizin'ny lasibatra ny lasibatra, dia napetraka ao anaty rindrina misy banga ihany koa ny sarimihetsika miaro, ka tsy afaka miditra ao amin'ny anode ny elektrôna rehefa tonga any amin'ny anode, ka miteraka trangan-javatra fanjavonan'ny anode.
4, Fanazavana ara-batana momba ny fanapoizinana amin'ny lasibatra
(1) Amin'ny ankapobeny, ny coefficient famoahana elektrôna faharoa amin'ny fitambaran'ny metaly dia ambony noho ny an'ny metaly. Aorian'ny fanapoizinana ny lasibatra, dia fitambaran'ny metaly avokoa ny velaran'ny lasibatra, ary rehefa avy voadaroka baomba amin'ny ion, dia mitombo ny isan'ny elektrôna faharoa avoaka, izay manatsara ny conductivity ny habaka ary mampihena ny impedance plasma, ka mitarika ho amin'ny voltase sputtering ambany kokoa. Izany dia mampihena ny tahan'ny sputtering. Amin'ny ankapobeny, ny voltase sputtering amin'ny magnetron sputtering dia eo anelanelan'ny 400V-600V, ary rehefa misy fanapoizinana ny lasibatra, dia mihena be ny voltase sputtering.
(2) Samy hafa ny tahan'ny fiparitahan'ny metaly lasibatra sy ny fitambaran'ny lasibatra tany am-boalohany, amin'ny ankapobeny dia ambony kokoa ny coefficient sputtering an'ny metaly noho ny coefficient sputtering an'ny fitambaran'ny lasibatra, ka ambany ny tahan'ny sputtering aorian'ny fanapoizinana lasibatra.
(3) Ambany noho ny fahombiazan'ny entona tsy mihetsika ny fahombiazan'ny sputtering an'ny entona miparitaka, ka mihena ny tahan'ny sputtering feno rehefa mitombo ny isan'ny entona miparitaka.
5, Vahaolana ho an'ny fanapoizinana amin'ny lasibatra
(1) Mampiasa famatsiana herinaratra amin'ny matetika antonony na famatsiana herinaratra amin'ny matetika radio.
(2) Ampiharo ny fanaraha-maso mihidy ny fidiran'ny entona mihetsika.
(3) Manangana tanjona kambana
(4) Fehezo ny fiovan'ny fomba fanosorana: Alohan'ny fanosorana, dia angonina ny fiolahana vokatry ny hysteresis amin'ny fanapoizinana kendrena mba hifehezana ny fikorianan'ny rivotra miditra eo anoloan'ny famokarana fanapoizinana kendrena mba hahazoana antoka fa ao amin'ny fomba fiasa foana ny dingana alohan'ny hihena be ny tahan'ny fametrahana.
–Ity lahatsoratra ity dia navoakan'ny Guangdong Zhenhua Technology, mpanamboatra fitaovana fanosotra banga.
Fotoana fandefasana: 07 Novambra 2022