1, Ташаккули пайвастагиҳои металлӣ дар сатҳи ҳадаф
Дар раванди ташаккули пайвастагӣ аз сатҳи ҳадафи металлӣ тавассути раванди пошидани реактивӣ пайвастагӣ дар куҷо ташаккул меёбад? Азбаски реаксияи кимиёвӣ байни зарраҳои гази реактивӣ ва атомҳои сатҳи ҳадаф атомҳои пайвастаро ба вуҷуд меорад, ки одатан экзотермикӣ аст, гармии реаксия бояд роҳи интиқол дошта бошад, вагарна реаксияи кимиёвӣ идома ёфта наметавонад. Дар шароити вакуум, интиқоли гармӣ байни газҳо имконнопазир аст, аз ин рӯ реаксияи кимиёвӣ бояд дар сатҳи сахт сурат гирад. Пошидани реаксия пайвастагиҳоро дар сатҳҳои ҳадаф, сатҳҳои субстрат ва дигар сатҳҳои сохторӣ ба вуҷуд меорад. Ҳадаф тавлиди пайвастагиҳо дар сатҳи субстрат аст, тавлиди пайвастагиҳо дар дигар сатҳҳои сохторӣ исрофи захираҳо аст ва тавлиди пайвастагиҳо дар сатҳи ҳадаф ҳамчун манбаи атомҳои пайваста оғоз мешавад ва монеа барои таъмини пайвастаи атомҳои пайвастаи бештар мегардад.
2, Омилҳои таъсири заҳролудшавӣ аз ҳадаф
Омили асосие, ки ба заҳролудшавии ҳадаф таъсир мерасонад, таносуби гази реаксия ва гази пошидани он мебошад, ки аз ҳад зиёд гази реаксия боиси заҳролудшавии ҳадаф мегардад. Раванди пошидани реактивӣ дар сатҳи ҳадаф анҷом дода мешавад, ки ба назар мерасад, ки минтақаи канали пошидани он бо пайвастагии реаксия пӯшонида шудааст ё пайвастагии реаксия тоза карда шуда, сатҳи металлӣ дубора кушода мешавад. Агар суръати тавлиди пайвастагӣ аз суръати тозакунии пайвастагӣ зиёдтар бошад, майдони фарогирии пайвастагӣ меафзояд. Дар қувваи муайян миқдори гази реаксия, ки дар тавлиди пайвастагӣ иштирок мекунад, меафзояд ва суръати тавлиди пайвастагӣ меафзояд. Агар миқдори гази реаксия аз ҳад зиёд афзоиш ёбад, майдони фарогирии пайвастагӣ меафзояд. Ва агар суръати ҷараёни гази реаксияро сари вақт танзим кардан мумкин набошад, суръати афзоиши майдони фарогирии пайвастагӣ пахш намешавад ва канали пошидани он аз ҷониби пайвастагӣ минбаъд пӯшонида мешавад, вақте ки ҳадафи пошидани он пурра бо пайвастагӣ пӯшонида мешавад, ҳадаф пурра заҳролуд мешавад.
3, падидаи заҳролудшавии ҳадаф
(1) ҷамъшавии ионҳои мусбат: ҳангоми заҳролудшавӣ бо ҳадаф, қабати плёнкаи изолятсия дар сатҳи ҳадаф пайдо мешавад, ки аз сабаби баста шудани қабати изолятсия ионҳои мусбат ба сатҳи ҳадафи катод мерасанд. Онҳо мустақиман ба сатҳи ҳадафи катод ворид намешаванд, балки дар сатҳи ҳадаф ҷамъ мешаванд, ки ба осонӣ майдони хунукро ба камон табдил медиҳанд ва камоншакл мешаванд, то ки пошидани катод идома ёбад.
(2) Нопадид шудани анод: вақте ки ҳадаф заҳролуд мешавад, дар девори камераи вакуумӣ плёнкаи изолятсия низ гузошта мешавад, ки ба анод мерасад ва электронҳо наметавонанд ба анод ворид шаванд, ки ин падидаи нопадидшавии анодро ба вуҷуд меорад.
4, Шарҳи ҷисмонии заҳролудшавии ҳадаф
(1) Умуман, коэффитсиенти партоби электронҳои дуюмдараҷаи пайвастагиҳои металлӣ нисбат ба металлҳо баландтар аст. Пас аз заҳролудшавӣ аз ҳадаф, сатҳи ҳадаф ҳама пайвастагиҳои металлӣ аст ва пас аз бомбаборон кардани ионҳо, шумораи электронҳои дуюмдараҷаи раҳошуда зиёд мешавад, ки ин гузаронандагии фазо ва коҳиши импеданси плазмаро беҳтар мекунад ва боиси паст шудани шиддати пошидани он мегардад. Ин суръати пошиданиро коҳиш медиҳад. Умуман, шиддати пошидани пошидани магнетронӣ дар байни 400В-600В аст ва ҳангоми заҳролудшавӣ аз ҳадаф, шиддати пошидани он ба таври назаррас коҳиш меёбад.
(2) Суръати пошидани аслии ҳадафи металлӣ ва ҳадафи мураккаб фарқ мекунад, умуман коэффитсиенти пошидани металл нисбат ба коэффитсиенти пошидани пайвастагӣ баландтар аст, аз ин рӯ, пас аз заҳролудшавӣ бо ҳадаф, суръати пошидани он паст аст.
(3) Самаранокии пошидани гази реактивӣ дар аввал нисбат ба самаранокии пошидани гази инертӣ пасттар аст, аз ин рӯ, суръати пошидани ҳамаҷониба пас аз афзоиши таносуби гази реактивӣ коҳиш меёбад.
5, Роҳҳои ҳалли заҳролудшавӣ бо мақсад
(1) Таъминоти барқи басомади миёна ё таъминоти барқи басомади радиоро қабул кунед.
(2) Идоракунии ҳалқаи пӯшидаи ҷараёни гази реаксияро қабул кунед.
(3) Ҳадафҳои дугоникро қабул кунед
(4) Тағйир додани ҳолати пӯшишро назорат кунед: Пеш аз пӯшиш, каҷхати таъсири гистерезиси заҳролудшавии ҳадаф ҷамъоварӣ карда мешавад, то ҷараёни ҳавои вуруд дар пеши тавлиди заҳролудшавии ҳадаф назорат карда шавад, то боварӣ ҳосил шавад, ки раванд ҳамеша дар ҳолати пеш аз паст шудани суръати таҳшиншавӣ қарор дорад.
–Ин мақола аз ҷониби ширкати Guangdong Zhenhua Technology, истеҳсолкунандаи таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ, нашр шудааст.
Вақти нашр: 07 ноябри соли 2022