1, Ho thehoa ha metsoako ea tšepe sebakeng se lebisitsoeng
Motsoako o thehoa hokae nakong ea ho etsa motsoako ho tloha holim'a tšepe e entsoeng ka tšepe ka mokhoa o ts'oanelang oa ho fafatsa?Kaha lik'hemik'hale tsa lik'hemik'hale pakeng tsa likaroloana tsa khase tse sebetsang le liathomo tse holim'a metsi li hlahisa liathomo tse kopantsoeng, tseo hangata e leng exothermic, mocheso oa mocheso o tlameha ho ba le mokhoa oa ho tsoa, ho seng joalo lik'hemik'hale li ke ke tsa tsoela pele.Tlas'a maemo a vacuum, phetisetso ea mocheso lipakeng tsa likhase ha e khonehe, kahoo ts'ebetso ea lik'hemik'hale e tlameha ho etsahala sebakeng se tiileng.Reaction sputtering e hlahisa metsoako sebakeng se shebiloeng, bokaholimo ba substrate le libaka tse ling tsa sebopeho.Ho hlahisa metsoako holim'a substrate ke sepheo, ho hlahisa metsoako holim'a libaka tse ling tsa sebopeho ke tšenyo ea lisebelisoa, 'me ho hlahisa metsoako holim'a sepheo se reretsoeng ho qala e le mohloli oa liathomo tse kopantsoeng' me e fetoha tšitiso ea ho fana ka liathomo tse ngata tse sa khaotseng.
2, Lintlha tse amang chefo ea sepheo
Ntho e ka sehloohong e amang chefo e shebiloeng ke karo-karolelano ea khase e arabelang le khase e fafatsang, khase e ngata haholo e tla lebisa chefong.Reactive sputtering thulaganyou e etsoa ka shebiloeng holim sputtering kanale sebakeng bonahala ho koaheloa ke motsoako karabelo kapa motsoako karabelo e hlobolisoa le botjha pepenene holim'a tšepe holim'a.Haeba sekhahla sa tlhahiso ea motsoako se le seholo ho feta sekhahla sa ho hlobola ha motsoako, sebaka sa tšireletso sa motsoako sea eketseha.Ka matla a itseng, palo ea khase e amehang tlhahisong e kopaneng ea eketseha 'me sekhahla sa tlhahiso e kopaneng ea eketseha.Haeba palo ea khase e arabelang e eketseha ka mokhoa o feteletseng, sebaka sa tšireletso sa motsoako sea eketseha.'Me haeba sekhahla sa phallo ea khase se ke keng sa fetoloa ka nako, sekhahla sa keketseho ea sebaka sa tšireletso ha se hatelloe,' me mocha oa sputtering o tla koaheloa hape ke motsoako, ha sepheo sa sputtering se koaheloa ka botlalo ke motsoako, sepheo ke. chefo ka botlalo.
3, Phenomenon ea chefo ea sepheo
(1) Pokello ea ion e ntle: ha chefo e reretsoeng ho chefo, ho tla thehoa lera la filimi e sireletsang holim'a sebaka se lebeletsoeng, li-ion tse ntle li fihla sebakeng sa sepheo sa cathode ka lebaka la ho thibela lera la insulating.U se ke ua ka ho toba kena cathode shebiloeng holim'a metsi, empa ipokellele ka shebiloeng holim'a, ho le bonolo ho hlahisa batang tšimo ho arc tebello ea mali - arcing, e le hore cathode sputtering ke ke tsoela pele.
(2) anode nyamela: ha shebiloeng chefo, thehile vacuum kamoreng lerako hape beha insulating filimi, fihla elektronike anode ke ke kena anode, sebopeho sa anode nyamela ketsahalo.
4, Tlhaloso ea 'mele ea chefo ea sepheo
(1) Ka kakaretso, karolo ea bobeli ea tlhahiso ea elektronike ea metsoako ea tšepe e phahame ho feta ea tšepe.Ka mor'a chefo shebiloeng, holim 'a shebiloeng ke metsoako tsohle tšepe,' me ka mor'a ho qhoma ka li-ion, palo ea lielektrone tsa bobeli lokolloa e eketseha, e leng ho ntlafatsa conductivity ea sebaka le ho fokotsa plasma impedance, e lebisang ho tlaase sputtering gagamalo.Sena se fokotsa sekhahla sa sputtering.Ka kakaretso matla a sputtering a magnetron sputtering a pakeng tsa 400V-600V, 'me ha chefo ea sepheo e etsahala, motlakase oa sputtering o fokotseha haholo.
2
(3) Bokhoni ba ho fafatsa ba khase ea ho fafatsa bo tlase qalong ho feta bokhoni ba ho fafatsa ba khase e sa sebetseng, kahoo sekhahla se felletseng sa ho phatloha sea fokotseha ka mor'a hore karolo ea khase e sebetsang e eketsehe.
5, Tharollo bakeng sa chefo ea sepheo
(1) Amohela phepelo ea motlakase ea maqhubu a mahareng kapa phepelo ea matla a maqhubu a seea-le-moea.
(2) Amohela taolo e koetsoeng ea khase e kenang.
(3) Ho amohela liphofu tse peli
(4) Laola phetoho ea mokhoa oa ho roala: Pele o roala, sekhahla sa hysteresis sa chefo e reretsoeng se bokelloa e le hore phallo ea moea e kenang e laoloe ka pele ho hlahisa chefo e lebisitsoeng ho netefatsa hore ts'ebetso e lula e le teng pele ho deposition. sekhahla se theoha ka sekhahla.
-Sengoloa sena se hatisitsoe ke Guangdong Zhenhua Technology, moetsi oa lisebelisoa tsa ho roala vacuum.
Nako ea poso: Nov-07-2022