1, Kev tsim cov hlau sib xyaw rau ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj
Cov tshuaj sib xyaw ua ke nyob qhov twg thaum lub sijhawm tsim cov tshuaj sib xyaw los ntawm cov hlau los ntawm cov txheej txheem reactive sputtering? Txij li thaum cov tshuaj sib xyaw ua ke ntawm cov pa roj reactive thiab cov atoms ntawm lub hom phiaj tsim cov tshuaj sib xyaw ua ke, uas feem ntau yog exothermic, qhov kub ntawm cov tshuaj sib xyaw ua ke yuav tsum muaj txoj hauv kev los ua, txwv tsis pub cov tshuaj sib xyaw ua ke tsis tuaj yeem txuas ntxiv mus. Nyob rau hauv cov xwm txheej nqus tsev, kev hloov pauv cua sov ntawm cov pa roj tsis tuaj yeem ua tau, yog li cov tshuaj sib xyaw ua ke yuav tsum tshwm sim ntawm qhov chaw khov kho. Reaction sputtering tsim cov tshuaj sib xyaw ua ke ntawm cov chaw tsom, cov chaw substrate, thiab lwm qhov chaw ntawm cov qauv. Kev tsim cov tshuaj sib xyaw ua ke ntawm qhov chaw substrate yog lub hom phiaj, kev tsim cov tshuaj sib xyaw ua ke ntawm lwm qhov chaw ntawm cov qauv yog kev pov tseg ntawm cov peev txheej, thiab kev tsim cov tshuaj sib xyaw ua ke ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj pib ua qhov chaw ntawm cov tshuaj sib xyaw ua ke thiab dhau los ua qhov thaiv kom tsis tu ncua muab ntau cov tshuaj sib xyaw ua ke.
2, Cov yam cuam tshuam ntawm kev lom neeg
Qhov tseem ceeb tshaj plaws uas cuam tshuam rau qhov lom ntawm lub hom phiaj yog qhov sib piv ntawm cov pa roj teb thiab cov pa roj sputtering, cov pa roj teb ntau dhau yuav ua rau lub hom phiaj lom. Cov txheej txheem reactive sputtering yog ua tiav hauv qhov chaw ntawm lub hom phiaj sputtering channel zoo li tau npog los ntawm cov tshuaj tiv thaiv lossis cov tshuaj tiv thaiv raug stripped thiab rov tshwm sim ntawm cov hlau nto. Yog tias tus nqi ntawm cov tshuaj tsim ntau dua li tus nqi ntawm cov tshuaj stripping, thaj chaw npog compound nce ntxiv. Ntawm qee lub zog, qhov ntau ntawm cov pa roj teb koom nrog hauv kev tsim compound nce thiab tus nqi ntawm cov tshuaj tsim nce ntxiv. Yog tias tus nqi ntawm cov pa roj teb nce ntau dhau, thaj chaw npog compound nce ntxiv. Thiab yog tias tus nqi ntws ntawm cov pa roj teb tsis tuaj yeem hloov kho raws sijhawm, tus nqi ntawm thaj chaw npog compound nce ntxiv tsis raug tswj, thiab cov channel sputtering yuav raug npog ntxiv los ntawm cov tshuaj, thaum lub hom phiaj sputtering raug npog tag nrho los ntawm cov tshuaj, lub hom phiaj raug lom tag nrho.
3, Lub hom phiaj lom tshwm sim
(1) cov ion zoo sib sau ua ke: thaum lub hom phiaj lom, ib txheej ntawm cov zaj duab xis rwb thaiv tsev yuav tsim rau ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj, cov ions zoo mus txog qhov chaw ntawm lub hom phiaj cathode vim yog qhov thaiv ntawm cov txheej rwb thaiv tsev. Tsis ncaj qha nkag mus rau qhov chaw ntawm lub hom phiaj cathode, tab sis sib sau ua ke rau ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj, yooj yim los tsim cov cua txias rau arc discharge - arcing, yog li cathode sputtering tsis tuaj yeem mus ntxiv.
(2) anode ploj mus: thaum lub hom phiaj lom, grounded lub tshuab nqus tsev phab ntsa kuj tso cov zaj duab xis rwb thaiv tsev, ncav cuag lub anode electrons tsis tuaj yeem nkag mus rau hauv anode, tsim cov anode ploj mus phenomenon.
4, Kev piav qhia txog lub cev ntawm kev lom neeg
(1) Feem ntau, qhov coefficient ntawm cov electron emission ntawm cov hlau sib xyaw yog siab dua li ntawm cov hlau. Tom qab lub hom phiaj lom, qhov chaw ntawm lub hom phiaj yog tag nrho cov hlau sib xyaw, thiab tom qab raug bombarded los ntawm ions, tus naj npawb ntawm cov electrons theem nrab tso tawm nce, uas txhim kho qhov conductivity ntawm qhov chaw thiab txo cov plasma impedance, ua rau lub zog qis dua sputtering. Qhov no txo qhov nrawm sputtering. Feem ntau lub zog sputtering ntawm magnetron sputtering yog ntawm 400V-600V, thiab thaum lub hom phiaj lom tshwm sim, lub zog sputtering raug txo qis heev.
(2) Lub hom phiaj hlau thiab lub hom phiaj sib xyaw ua ke thawj zaug sputtering tus nqi sib txawv, feem ntau cov coefficient sputtering ntawm cov hlau yog siab dua li cov coefficient sputtering ntawm cov tshuaj, yog li cov sputtering tus nqi qis tom qab lub hom phiaj lom.
(3) Qhov ua tau zoo ntawm cov roj reactive sputtering yog qis dua li qhov ua tau zoo ntawm cov roj inert, yog li qhov kev ua tiav ntawm cov sputtering txo qis tom qab qhov feem pua ntawm cov roj reactive nce.
5, Kev daws teeb meem rau kev lom neeg
(1) Txais yuav qhov nruab nrab zaus fais fab mov lossis xov tooj cua zaus fais fab mov.
(2) Txais yuav qhov kev tswj hwm kaw-lub voj voog ntawm cov roj teb nkag.
(3) Txais ob lub hom phiaj
(4) Tswj kev hloov pauv ntawm hom txheej: Ua ntej txheej, cov kab hysteresis effect ntawm lub hom phiaj lom tau sau kom cov cua nkag tau tswj hwm ntawm pem hauv ntej ntawm kev tsim cov hom phiaj lom kom ntseeg tau tias cov txheej txheem ib txwm nyob hauv hom ua ntej tus nqi tso tawm poob qis heev.
– Tsab xov xwm no yog luam tawm los ntawm Guangdong Zhenhua Technology, lub chaw tsim khoom ntawm cov khoom siv nqus tsev.
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-07-2022