Mene ne abubuwan da ke haifar da guba a cikin bututun magnetron?

1, Samar da mahaɗan ƙarfe a saman da aka nufa
Ina aka samar da mahaɗin a cikin tsarin samar da mahaɗin daga saman ƙarfe ta hanyar tsarin sputtering mai amsawa? Tunda amsawar sinadarai tsakanin barbashin iskar gas mai amsawa da ƙwayoyin halittar saman da aka yi niyya suna samar da ƙwayoyin halittar da aka yi niyya, wanda yawanci yana fitowa daga waje, zafin amsawar dole ne ya sami hanyar da zai iya aiwatarwa, in ba haka ba amsawar sinadarai ba zai iya ci gaba ba. A ƙarƙashin yanayin injin, canja wurin zafi tsakanin iskar gas ba zai yiwu ba, don haka amsawar sinadarai dole ne ta faru a kan wani wuri mai ƙarfi. Sputtering mai amsawa yana haifar da mahaɗin akan saman da aka yi niyya, saman da aka yi niyya, da sauran saman da aka yi niyya. Samar da mahaɗin akan saman da aka yi niyya shine burin, samar da mahaɗin akan wasu saman da aka yi niyya ɓata albarkatu ne, kuma samar da mahaɗin akan saman da aka yi niyya yana farawa a matsayin tushen ƙwayoyin halittar da aka yi niyya kuma ya zama shinge don ci gaba da samar da ƙarin ƙwayoyin halittar da aka yi niyya.

2, Abubuwan da ke haifar da gubar da aka yi niyya
Babban abin da ke shafar gubar da aka yi niyya shi ne rabon iskar amsawa da iskar gas mai fitar da iska, iskar amsawa da yawa zai haifar da gubar da aka yi niyya. Ana gudanar da tsarin sputtering mai amsawa a yankin tashar sputtering da aka yi niyya da alama an rufe shi da mahaɗin amsawa ko kuma an cire mahaɗin amsawa kuma an sake fallasa saman ƙarfe. Idan ƙimar samar da mahaɗi ya fi ƙimar cire mahaɗin, yankin rufe mahaɗin ya ƙaru. A wani iko, adadin iskar amsawa da ke cikin samar da mahaɗin yana ƙaruwa kuma ƙimar samar da mahaɗin yana ƙaruwa. Idan adadin iskar amsawa ya ƙaru da yawa, yankin rufe mahaɗin yana ƙaruwa. Kuma idan ba za a iya daidaita ƙimar kwararar iskar gas mai amsawa akan lokaci ba, ƙimar rufe mahaɗin ba ta ƙaruwa ba, kuma tashar sputtering za ta ƙara rufe ta da mahaɗin, lokacin da mahaɗin ya cika rufe mahaɗin, abin da aka yi niyya ya zama guba gaba ɗaya.

3, Abin da ke haifar da guba a hari
(1) tarin ion mai kyau: lokacin da gubar da aka yi niyya ta faru, za a samar da wani Layer na fim mai rufi a saman da aka yi niyya, ions masu kyau suna isa saman da aka yi niyya ta cathode saboda toshewar layin mai rufi. Ba sa shiga saman da aka yi niyya ta cathode kai tsaye, amma suna taruwa a saman da aka yi niyya, suna da sauƙin samar da fitar da filin sanyi zuwa baka - suna juyawa, ta yadda ba za a iya ci gaba da fitar da cathode ba.
(2) ɓacewar anode: lokacin da gubar da aka yi niyya ta faru, bangon ɗakin injin da aka yi niyya ya kuma ajiye fim ɗin rufewa, isa ga anode electrons ba zai iya shiga anode ba, samuwar bacewar anode.

4, Bayanin jiki game da gubar da aka yi niyya
(1) Gabaɗaya, ma'aunin fitar da electron na biyu na mahaɗan ƙarfe ya fi na ƙarfe girma. Bayan gubar da aka yi niyya, saman abin da aka yi niyya duk mahaɗan ƙarfe ne, kuma bayan an yi ruwan bama-bamai da ions, adadin electrons na biyu da aka saki yana ƙaruwa, wanda ke inganta watsawar sarari da rage juriyar plasma, wanda ke haifar da ƙarancin ƙarfin sputtering. Wannan yana rage ƙimar sputtering. Gabaɗaya ƙarfin sputtering na magnetron sputtering yana tsakanin 400V-600V, kuma lokacin da gubar da aka yi niyya ta faru, ƙarfin sputtering yana raguwa sosai.
(2) Maƙallin ƙarfe da maƙallin mahaɗin da farko ya bambanta, gabaɗaya ma'aunin sputtering na ƙarfe ya fi ma'aunin sputtering na mahaɗin, don haka ƙimar sputtering ɗin ba ta da yawa bayan gubar da aka yi niyya.
(3) Ingancin fitar da iskar gas mai amsawa ya fara ƙasa da ingancin fitar da iskar gas mara aiki, don haka cikakken saurin fitar da iskar gas mai amsawa yana raguwa bayan yawan ƙaruwar iskar gas mai amsawa.

5, Maganin gubar da aka yi niyya
(1) Ɗauki wutar lantarki mai matsakaicin mita ko wutar lantarki ta mitar rediyo.
(2) Ɗauki ikon rufewa na kwararar iskar gas.
(3) Ɗauki maƙasudai biyu
(4) Sarrafa canjin yanayin rufewa: Kafin a shafa, ana tattara lanƙwasa tasirin hysteresis na gubar manufa ta yadda iskar shiga za ta kasance a gaban samar da gubar manufa don tabbatar da cewa tsarin koyaushe yana cikin yanayin kafin ƙimar ajiya ta faɗi sosai.

– Kamfanin Guangdong Zhenhua Technology ne ya buga wannan labarin, wani kamfanin kera kayan shafa na injin.