Kí ni àwọn ohun tó lè fa ìpalára nínú ìfọ́ magnetron?

1, Ìṣẹ̀dá àwọn èròjà irin lórí ojú ibi tí a fẹ́
Níbo ni a ti ń ṣe àkójọpọ̀ èròjà kan nígbà tí a ń ṣẹ̀dá àkójọpọ̀ èròjà kan láti ojú irin tí a fi irin ṣe nípasẹ̀ ìlànà ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́? Níwọ́n ìgbà tí ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín àwọn èròjà gaasi oníṣẹ́ láàrín àti àwọn èròjà ojú àkójọpọ̀ èròjà náà ń mú àwọn èròjà oníṣẹ́ láàrín, èyí tí ó sábà máa ń jẹ́ exothermic, ooru ìfọ́mọ́ra náà gbọ́dọ̀ ní ọ̀nà láti ṣe é, bí bẹ́ẹ̀ kọ́ ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín kò lè tẹ̀síwájú. Lábẹ́ àwọn ipò afẹ́fẹ́, ìyípadà ooru láàárín àwọn gáàsì kò ṣeé ṣe, nítorí náà ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín gáàsì gbọ́dọ̀ wáyé lórí ojú líle kan. Ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín gáàsì náà ń mú àwọn èròjà jáde lórí ojú àkójọpọ̀ èròjà, ojú àkójọpọ̀ èròjà, àti àwọn ojú àkójọpọ̀ èròjà mìíràn. Ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín ojú àkójọpọ̀ èròjà ni ète, ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín ojú àkójọpọ̀ èròjà mìíràn jẹ́ ìfowópamọ́ àwọn ohun àlùmọ́nì, àti ìfọ́mọ́ra oníṣẹ́ láàrín ojú àkójọpọ̀ èròjà bẹ̀rẹ̀ gẹ́gẹ́ bí orísun àwọn èròjà oníṣẹ́ láàrín àti di ìdènà sí fífún àwọn èròjà oníṣẹ́ láàrín ...

2, Àwọn ohun tó lè fa ìpalára fún ìpalára àfojúsùn
Ohun pàtàkì tó ń nípa lórí ìpalára ìfojúsùn ni ìpíndọ́gba gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀ àti gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀, gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tó pọ̀ jù yóò yọrí sí ìpalára ìfojúsùn. Ìlànà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ni a ń ṣe ní agbègbè ikanni ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí a fojúsùn kàn, ó dàbí pé àdàpọ̀ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà bo ilẹ̀ tàbí kí a bọ́ àdàpọ̀ ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà kí a sì tún fi ojú irin hàn. Tí ìwọ̀n ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà bá pọ̀ ju ìwọ̀n ìyọkúrò ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà lọ, agbègbè ìbòjúpọ̀ ìfojúsùn náà yóò pọ̀ sí i. Ní agbára kan, iye gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀ tí ó wà nínú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà yóò pọ̀ sí i, ìwọ̀n ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà yóò sì pọ̀ sí i. Tí iye gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà bá pọ̀ sí i jù, agbègbè ìbòjúpọ̀ ìfojúsùn náà yóò pọ̀ sí i. Tí a kò bá lè ṣàtúnṣe ìwọ̀n ìṣàn gáàsì ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà ní àkókò, ìwọ̀n ìbòjúpọ̀ ìfojúsùn náà kò ní pọ̀ sí i, àti pé àdàpọ̀ náà yóò tún bo ikanni ìfọwọ́sowọ́pọ̀ náà mọ́lẹ̀, nígbà tí àdàpọ̀ náà bá bo gbogbo àdàpọ̀ náà mọ́lẹ̀, àdàpọ̀ náà yóò ní majele pátápátá.

3, Ìṣẹ̀lẹ̀ ìjẹkújẹ àfojúsùn
(1) ìkójọpọ̀ ion rere: nígbà tí ìpalára ibi-afẹ́de bá wáyé, a óò ṣẹ̀dá fẹlẹfẹlẹ kan ti fíìmù ìdènà lórí ojú ibi-afẹ́de náà, àwọn ion rere yóò dé ojú ibi-afẹ́de katode náà nítorí ìdínà ti ìdènà ti ìdènà. Kì í wọ ojú ibi-afẹ́de katode náà taara, ṣùgbọ́n ó kójọpọ̀ sórí ojú ibi-afẹ́de náà, ó rọrùn láti mú kí pápá tútù jáde — tí ó ń yípo, kí ìtújáde katode náà má baà lè máa lọ.
(2) píparẹ́ anode: nígbà tí ìparẹ́ ohun tí a fẹ́ ṣe, ògiri ìyẹ̀fun onípele ilẹ̀ náà tún fi fíìmù ìdábòbò sí i, tí ó dé àwọn elekitiron anode kò le wọ inú anode náà, ìṣẹ̀dá ìṣẹ̀lẹ̀ píparẹ́ anode náà.

4, Àlàyé nípa ìpalára tí a fojú sí
(1) Ni gbogbogbo, iye itujade elekitironi keji ti awọn agbo irin ga ju ti awọn irin lọ. Lẹhin majele afojusun, oju ibi-afẹde naa jẹ gbogbo awọn agbo irin, ati lẹhin ti awọn ions ba ti kọlu wọn, nọmba awọn elekitironi keji ti a tu silẹ pọ si, eyiti o mu agbara itusilẹ aaye dara si ati dinku impedance plasma, eyiti o yori si foliteji sputtering ti o kere si. Eyi dinku oṣuwọn sputtering. Ni gbogbogbo foliteji sputtering ti magnetron sputtering wa laarin 400V-600V, ati nigbati majele afojusun ba waye, foliteji sputtering dinku pupọ.
(2) Ìwọ̀n ìfọ́mọ́ irin àti ìfọ́mọ́ onírúuru ní àkọ́kọ́ yàtọ̀ síra, ní gbogbogbòò ìwọ̀n ìfọ́mọ́ irin ga ju ìwọ̀n ìfọ́mọ́ onírúuru onírúuru onírúuru lọ, nítorí náà ìwọ̀n ìfọ́mọ́ onírúuru ...
(3) Agbára ìfọ́pọ̀ gaasi oníṣẹ́-agbára kéré ní ìpilẹ̀ṣẹ̀ ju agbára ìfọ́pọ̀ gaasi oníṣẹ́-agbára lọ, nítorí náà ìwọ̀n ìfọ́pọ̀ gaasi oníṣẹ́-agbára dínkù lẹ́yìn tí ìwọ̀n gáàsì oníṣẹ́-agbára bá pọ̀ sí i.

5, Awọn ojutu fun majele afojusun
(1) Gba ipese agbara igbohunsafẹfẹ alabọde tabi ipese agbara igbohunsafẹfẹ redio.
(2) Gba iṣakoso pipade ti sisan gaasi iṣipopada.
(3) Gba àwọn ibi ìfojúsùn méjì
(4) Ṣàkóso ìyípadà ipò ìbòrí: Kí a tó fi bo, a máa kó ipa hysteresis ti ìbòrí ibi-afẹ́fẹ́ jọ kí a lè ṣàkóso ìṣàn afẹ́fẹ́ inú ní iwájú ibi-afẹ́fẹ́ tí ó ń mú ìbòrí ibi-afẹ́fẹ́ jáde láti rí i dájú pé iṣẹ́ náà wà ní ipò náà nígbà gbogbo kí ìwọ̀n ìbòrí tó lọ sílẹ̀ kí ó tó dínkù gidigidi.

–Ẹ̀rọ ìmọ́-ẹ̀rọ Guangdong Zhenhua, ilé iṣẹ́ tí ń ṣe ẹ̀rọ ìbòrí ìgbálẹ̀, ló gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde.