Himiki bug çökündisi (HBÇ). Adyndan görnüşi ýaly, bu atom we molekulaara himiki reaksiýalar arkaly gaty plýonkalary döretmek üçin gaz görnüşli öňki reaktantlary ulanýan usuldyr. HBÇ-den tapawutlylykda, HBÇ prosesi esasan ýokary basyşly (pes wakuum) gurşawda amala aşyrylýar, ýokary basyş bolsa esasan plýonkanyň çökündi tizligini ýokarlandyrmak üçin ulanylýar. Himiki bug çökündisi plazmanyň çökündi prosesine gatnaşyp-gatnaşmaýandygyna görä umumy HBÇ (termal HBÇ diýlip hem atlandyrylýar) we plazma bilen güýçlendirilen himiki bug çökündisine (Plazma bilen güýçlendirilen himiki bug çökündisi. PECVD) bölünip bilner. Bu bölümde PECVD prosesi we giňden ulanylýan PECVD enjamlary we iş prinsipi ýaly PECVD tehnologiýasyna üns berilýär.
Plazma bilen güýçlendirilen himiki bug çökündisi pes basyşly himiki bug çökündisi prosesi bolup geçýän mahalynda çökündi prosesine täsir etmek üçin ýalpyldawuk boşaltma plazmasyny ulanýan inçe plýonkaly himiki bug çökündisi usulydyr. Şu manyda, adaty CVD tehnologiýasy gaz fazasyndaky maddalaryň arasyndaky himiki reaksiýany we inçe plýonkalaryň çökündisini amala aşyrmak üçin ýokary substrat temperaturasyna daýanýar we şonuň üçin termal CVD tehnologiýasy diýlip atlandyrylyp bilner.
PECVD enjamynda işçi gaz basyşy takmynan 5 ~ 500 Pa, elektronlaryň we ionlaryň dykyzlygy bolsa 109 ~ 1012 / sm3 ýetip biler, elektronlaryň ortaça energiýasy bolsa 1 ~ 10 eV ýetip biler. PECVD usulyny beýleki CVD usullaryndan tapawutlandyrýan zat, plazmada himiki bug çökündi prosesi üçin zerur bolan aktiwleşdiriş energiýasyny üpjün edip bilýän köp sanly ýokary energiýaly elektronlaryň bolmagydyr. Elektronlaryň we gaz faza molekulalarynyň çaknyşmagy gaz molekulalarynyň parçalanmagyny, himosintezini, gyjyndyrylmagyny we ionlaşma proseslerini höweslendirip, ýokary reaktiv himiki toparlary döredip, şeýlelik bilen CVD inçe plýonka çökündisiniň temperatura aralygyny ep-esli azaldyp, aslynda ýokary temperaturada geçirilmegi zerur bolan CVD prosesini pes temperaturada amala aşyrmaga mümkinçilik berýär. Pes temperatura inçe plýonka çökündisiniň artykmaçlygy, plýonka bilen substratyň arasyndaky gereksiz diffuziýanyň we himiki reaksiýanyň, plýonkanyň ýa-da substrat materialynyň gurluş üýtgeşmeleriniň we zaýalanmagynyň, şeýle hem plýonkada we substratda uly termal stressleriň öňüni alyp bilmegidir.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 18-nji apreli