ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD)។ ដូចដែលឈ្មោះបានបញ្ជាក់ វាគឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលប្រើប្រាស់សារធាតុប្រតិកម្មបឋមឧស្ម័ន ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តរឹង តាមរយៈប្រតិកម្មគីមីអាតូម និងអន្តរម៉ូលេគុល។ មិនដូច PVD ទេ ដំណើរការ CVD ភាគច្រើនត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសសម្ពាធខ្ពស់ (កន្លែងទំនេរទាប) ដោយសម្ពាធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីបង្កើនអត្រាការដាក់ខ្សែភាពយន្ត។ ការដាក់ចំហាយគីមីអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ទៅជា CVD ទូទៅ (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា CVD កម្ដៅ) និងការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា (ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា។ PECVD) អាស្រ័យលើថាតើប្លាស្មាជាប់ពាក់ព័ន្ធនឹងដំណើរការដាក់ឬអត់។ ផ្នែកនេះផ្តោតលើបច្ចេកវិទ្យា PECVD រួមទាំងដំណើរការ PECVD និងឧបករណ៍ PECVD ដែលប្រើជាទូទៅ និងគោលការណ៍ការងារ។
ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនដោយប្លាស្មា គឺជាបច្ចេកទេសដាក់ចំហាយគីមីស្រទាប់ស្តើង ដែលប្រើប្រាស់ប្លាស្មាបញ្ចេញពន្លឺ ដើម្បីបញ្ចេញឥទ្ធិពលលើដំណើរការដាក់ ខណៈពេលដែលដំណើរការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាបកំពុងកើតឡើង។ ក្នុងន័យនេះ បច្ចេកវិទ្យា CVD ធម្មតាពឹងផ្អែកលើសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមខ្ពស់ជាង ដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រតិកម្មគីមីរវាងសារធាតុដំណាក់កាលឧស្ម័ន និងការដាក់ស្រទាប់ស្តើង ដូច្នេះអាចត្រូវបានគេហៅថាបច្ចេកវិទ្យា CVD កម្ដៅ។
នៅក្នុងឧបករណ៍ PECVD សម្ពាធឧស្ម័នការងារគឺប្រហែល 5~500 Pa ហើយដង់ស៊ីតេនៃអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងអាចឡើងដល់ 109~1012/cm3 ខណៈពេលដែលថាមពលជាមធ្យមនៃអេឡិចត្រុងអាចឡើងដល់ 1~10 eV។ អ្វីដែលសម្គាល់វិធីសាស្ត្រ PECVD ពីវិធីសាស្ត្រ CVD ផ្សេងទៀតគឺថាប្លាស្មាមានអេឡិចត្រុងថាមពលខ្ពស់មួយចំនួនធំ ដែលអាចផ្តល់ថាមពលធ្វើឱ្យសកម្មដែលត្រូវការសម្រាប់ដំណើរការដាក់ចំហាយគីមី។ ការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអេឡិចត្រុង និងម៉ូលេគុលដំណាក់កាលឧស្ម័នអាចជំរុញដំណើរការរលួយ គីមីសំយោគ ការរំភើប និងអ៊ីយ៉ូដនៃម៉ូលេគុលឧស្ម័ន បង្កើតក្រុមគីមីដែលមានប្រតិកម្មខ្ពស់ ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយជួរសីតុណ្ហភាពនៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើង CVD យ៉ាងសំខាន់ ដែលធ្វើឱ្យវាអាចសម្រេចបាននូវដំណើរការ CVD ដែលដំបូងឡើយត្រូវបានទាមទារឱ្យអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ នៅសីតុណ្ហភាពទាប។ អត្ថប្រយោជន៍នៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើងសីតុណ្ហភាពទាបគឺថាវាអាចជៀសវាងការសាយភាយដែលមិនចាំបាច់ និងប្រតិកម្មគីមីរវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធ និងការខូចទ្រង់ទ្រាយនៃខ្សែភាពយន្ត ឬសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម និងភាពតានតឹងកម្ដៅច្រើននៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៤