Cutubka 1aad ee Kaydinta Uumiga Kiimikada ee Balaasmaha lagu Kordhiyay

Kala-saarista Uumiga Kiimikada (CVD). Sida magacu tilmaamayo, waa farsamo adeegsata falgalayaasha gaaska ee hormoodka ah si loo soo saaro filimaan adag iyadoo la adeegsanayo falgallada kiimikada ee atomiga iyo kuwa isku-dhafan. Si ka duwan PVD, habka CVD waxaa inta badan lagu sameeyaa jawi cadaadis sare (vacuum hoose), iyadoo cadaadiska sare loo isticmaalo si loo kordhiyo heerka dhigista filimka. Kala-saarista uumiga kiimikada waxaa loo kala saari karaa CVD guud (sidoo kale loo yaqaan CVD kuleylka) iyo dhigista uumiga kiimikada ee la xoojiyay ee balaasmaha (Deynta Uumiga Kiimikada ee la xoojiyay ee Balaasmaha. PECVD) iyadoo loo eegayo in balaasmaha uu ku lug leeyahay habka dhigista. Qaybtani waxay diiradda saareysaa tignoolajiyada PECVD oo ay ku jirto habka PECVD iyo qalabka PECVD ee caadiga ah loo isticmaalo iyo mabda'a shaqada.

Kaydinta uumiga kiimikada ee la xoojiyay ee balaasmaha waa farsamo kaydin uumi kiimiko oo khafiif ah oo adeegsata balaasmaha dheecaanka dhalaalaya si ay saameyn ugu yeelato habka dhigista inta uu socdo habka dhigista uumiga kiimikada ee cadaadiska hooseeya. Macnahaas, tiknoolajiyada caadiga ah ee CVD waxay ku tiirsan tahay heerkulka sare ee substrate-ka si loo xaqiijiyo falcelinta kiimikada ee u dhaxaysa walxaha marxaladda gaaska iyo dhigista filimada khafiifka ah, sidaas darteedna waxaa loogu yeeri karaa tiknoolajiyadda kuleylka ee CVD.

Qalabka PECVD, cadaadiska gaaska shaqeynaya waa qiyaastii 5~500 Pa, cufnaanta elektaroonada iyo ion-yaduna waxay gaari karaan 109~1012/cm3, halka tamarta celceliska elektaroonada ay gaari karto 1~10 eV. Waxa ka soocaya habka PECVD hababka kale ee CVD ayaa ah in balaasmaha uu ka kooban yahay tiro badan oo elektaroono tamar sare leh, kuwaas oo bixin kara tamarta kicinta ee loo baahan yahay habka kaydinta uumiga kiimikada. Isku dhaca elektaroonada iyo molecules-ka marxaladda gaaska waxay kor u qaadi karaan kala-goynta, kiimikada-samaynta, kicinta iyo hababka ionization ee molecules-ka gaaska, taasoo soo saarta kooxo kiimiko oo aad u falceliyay, sidaas darteedna si weyn u yareyneysa heerkulka kaydinta filimka khafiifka ah ee CVD, taasoo suurtogal ka dhigaysa in la xaqiijiyo habka CVD, kaas oo asal ahaan looga baahan yahay in lagu sameeyo heerkul sare, heerkul hooseeya. Faa'iidada kaydinta filimka khafiifka ah ee heerkulka hooseeya ayaa ah inay ka fogaan karto faafinta aan loo baahnayn iyo falcelinta kiimikada ee u dhaxaysa filimka iyo substrate-ka, isbeddellada qaab-dhismeedka iyo burburka filimka ama walxaha substrate-ka, iyo walbahaarka kulaylka ee filimka iyo substrate-ka.

– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua