Tshooj 1 ntawm Kev Tso Tshuaj Pa Uas Ua Rau Cov Tshuaj Plasma Zoo Dua

Kev Tso Tshuaj Paus (CVD). Raws li lub npe qhia, nws yog ib txoj kev siv cov tshuaj ua ntej roj los tsim cov zaj duab xis khov los ntawm kev siv cov tshuaj atomic thiab intermolecular. Tsis zoo li PVD, cov txheej txheem CVD feem ntau yog ua nyob rau hauv qhov chaw siab dua (qhov chaw nqus tsev qis dua), nrog rau qhov siab dua yog siv los ua kom cov zaj duab xis nce ntxiv. Kev tso tshuaj paus tuaj yeem faib ua CVD dav dav (tseem hu ua thermal CVD) thiab plasma-enhanced chemical vapor deposition (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) raws li seb plasma puas koom nrog hauv cov txheej txheem tso tshuaj. Ntu no tsom mus rau PECVD thev naus laus zis suav nrog cov txheej txheem PECVD thiab cov khoom siv PECVD feem ntau siv thiab txoj cai ua haujlwm.

Kev siv cov tshuaj lom neeg uas muaj plasma ua kom zoo dua yog ib txoj kev siv cov tshuaj lom neeg uas siv cov plasma uas ci ntsa iab los ua kom muaj kev cuam tshuam rau cov txheej txheem kev siv cov tshuaj lom neeg thaum cov txheej txheem kev siv cov tshuaj lom neeg uas muaj zog tsawg. Hauv qhov no, cov thev naus laus zis CVD ib txwm siv cov kub siab dua los ua kom pom cov tshuaj lom neeg ntawm cov tshuaj theem roj thiab cov yeeb yaj kiab nyias, yog li ntawd hu ua thermal CVD technology.

Hauv lub cuab yeej PECVD, lub zog ua haujlwm ntawm cov pa roj yog li 5 ~ 500 Pa, thiab qhov ceev ntawm cov electrons thiab ions tuaj yeem ncav cuag 109 ~ 1012 / cm3, thaum lub zog nruab nrab ntawm cov electrons tuaj yeem ncav cuag 1 ~ 10 eV. Qhov sib txawv ntawm txoj kev PECVD los ntawm lwm txoj kev CVD yog tias cov plasma muaj ntau cov electrons muaj zog siab, uas tuaj yeem muab lub zog ua kom muaj zog rau cov txheej txheem tso pa tshuaj. Kev sib tsoo ntawm cov electrons thiab cov roj-theem molecules tuaj yeem txhawb kev rhuav tshem, chemosynthesis, excitation thiab ionization cov txheej txheem ntawm cov roj molecules, tsim cov pab pawg tshuaj lom neeg uas muaj zog heev, yog li txo qhov kub ntawm CVD zaj duab xis nyias nyias, ua rau nws muaj peev xwm ua tiav cov txheej txheem CVD, uas yog thawj qhov yuav tsum tau ua ntawm qhov kub siab, ntawm qhov kub qis. Qhov zoo ntawm qhov kub qis zaj duab xis nyias nyias yog tias nws tuaj yeem zam kev sib kis tsis tsim nyog thiab tshuaj lom neeg ntawm zaj duab xis thiab lub substrate, kev hloov pauv ntawm cov qauv thiab kev puas tsuaj ntawm zaj duab xis lossis cov khoom siv substrate, thiab kev ntxhov siab loj hauv zaj duab xis thiab lub substrate.

– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua