Khaolo ea 1 ea ho Ntlafatsa Mouoane oa Lik'hemik'hale oa Plasma

Ho Hlahisoa ha Mouoane oa Lik'hemik'hale (CVD). Joalokaha lebitso le bolela, ke mokhoa o sebelisang li-reactant tsa pele ho khase ho hlahisa lifilimi tse tiileng ka liketso tsa lik'hemik'hale tsa athomo le tsa limolek'hule. Ho fapana le PVD, ts'ebetso ea CVD e etsoa haholo-holo tikolohong e nang le khatello e phahameng (vacuum e tlase), 'me khatello e phahameng e sebelisoa haholo-holo ho eketsa sekhahla sa ho hlahisoa ha filimi. Ho hlahisoa ha mouoane oa lik'hemik'hale ho ka aroloa ka CVD e akaretsang (e tsejoang hape e le thermal CVD) le ho hlahisoa ha mouoane oa lik'hemik'hale o ntlafalitsoeng ke plasma (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) ho latela hore na plasma e ameha ts'ebetsong ea ho hlahisoa. Karolo ena e shebane le theknoloji ea PECVD ho kenyeletsoa ts'ebetso ea PECVD le lisebelisoa tsa PECVD tse sebelisoang hangata le molao-motheo oa ts'ebetso.

Ho beoa ha mouoane ka lik'hemik'hale tse ntlafalitsoeng ke mokhoa oa ho beoa ha mouoane ka lik'hemik'hale o nang le filimi e tšesaane o sebelisang plasma e ntšang khanya ho susumetsa ts'ebetso ea ho beoa ha ts'ebetso ea ho beoa ha mouoane ka lik'hemik'hale ka khatello e tlase e ntse e etsahala. Ka kutloisiso ena, theknoloji ea CVD e tloaelehileng e itšetlehile ka mocheso o phahameng oa substrate ho phethahatsa karabelo ea lik'hemik'hale lipakeng tsa lintho tsa mohato oa khase le ho beoa ha lifilimi tse tšesaane, kahoo e ka bitsoa theknoloji ea CVD ea mocheso.

Sesebedisweng sa PECVD, kgatello ya kgase e sebetsang e ka ba 5~500 Pa, mme bongata ba dielektrone le di-ion bo ka fihla ho 109~1012/cm3, ha matla a tloaelehileng a dielektrone a ka fihla ho 1~10 eV. Se kgethollang mokgwa wa PECVD ho mekgwa e meng ya CVD ke hore plasma e na le palo e kgolo ya dielektrone tse nang le matla a mangata, tse ka fanang ka matla a ho kenya tshebetsong a hlokahalang bakeng sa tshebetso ya ho kenya mouoane wa dikhemikhale. Ho thulana ha dielektrone le dimolek'hule tsa kgase ho ka kgothaletsa ho bola, ho kopanya dikhemikhale, ho hlahisa dihlopha tsa dikhemikhale tse arabelang haholo, ka hona ho fokotsa haholo mocheso wa ho kenya filimi e tshesane ya CVD, ho etsa hore ho kgonehe ho phethahatsa tshebetso ya CVD, eo qalong e neng e hlokahala hore e etswe maemong a phahameng a mocheso, maemong a tlase a mocheso. Molemo wa ho kenya filimi e tshesane ya mocheso o tlase ke hore e ka qoba ho hasana ho sa hlokahaleng le karabelo ya dikhemikhale pakeng tsa filimi le substrate, diphetoho tsa sebopeho le ho senyeha ha filimi kapa thepa ya substrate, le kgatello e kgolo ya mocheso filiming le substrate.

–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua