Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kẹ́míkà tí a mú dara sí i ní Plasma Orí 1

Ìtújáde Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà (CVD). Gẹ́gẹ́ bí orúkọ náà ṣe túmọ̀ sí, ó jẹ́ ọ̀nà kan tí ó ń lo àwọn ohun tí ń fa ìfàsẹ́yìn gaseous láti ṣe àwọn fíìmù líle nípasẹ̀ àwọn ìhùwàsí kẹ́míkà atomiki àti intermolecular. Láìdàbí PVD, ìlànà CVD ni a sábà máa ń ṣe ní àyíká tí ó ga (afẹ́fẹ́ ìsàlẹ̀), pẹ̀lú ìfúnpá gíga tí a ń lò ní pàtàkì láti mú kí ìwọ̀n ìtújáde fíìmù náà pọ̀ sí i. A lè pín ìtújáde afẹ́fẹ́ kẹ́míkà sí CVD gbogbogbòò (tí a tún mọ̀ sí thermal CVD) àti ìtújáde afẹ́fẹ́ kẹ́míkà tí a mú dara sí plasma (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) gẹ́gẹ́ bí bóyá plasma náà ní ipa nínú ìlànà ìtújáde. Apá yìí dojúkọ ìmọ̀-ẹ̀rọ PECVD pẹ̀lú ìlànà PECVD àti ohun èlò PECVD tí a sábà máa ń lò àti ìlànà iṣẹ́.

Ìfipamọ́ ìgbóná kẹ́míkà tí a mú kí ó pọ̀ sí i nínú plasma jẹ́ ọ̀nà ìfipamọ́ ìgbóná kẹ́míkà tín-tín tí ó ń lo plasma ìfipamọ́ ìgbóná láti ní ipa lórí ìlànà ìfipamọ́ nígbà tí ìlànà ìfipamọ́ ìgbóná kẹ́míkà tí ó ní ìtẹ̀sí kékeré ń wáyé. Ní ọ̀nà yìí, ìmọ̀ ẹ̀rọ CVD ìbílẹ̀ gbára lé àwọn iwọ̀n otútù tí ó ga jùlọ láti ṣe àṣeyọrí ìṣiṣẹ́ kẹ́míkà láàrín àwọn ohun èlò ìpele gaasi àti ìfipamọ́ àwọn fíìmù tín-tín, nítorí náà a lè pè é ní ìmọ̀ ẹ̀rọ CVD thermal.

Nínú ẹ̀rọ PECVD, ìfúnpá gáàsì iṣẹ́ jẹ́ nǹkan bí 5~500 Pa, àti pé ìwọ̀n àwọn elekitironi àti àwọn ion le dé 109~1012/cm3, nígbàtí agbára àpapọ̀ àwọn elekitironi le dé 1~10 eV. Ohun tí ó ya ọ̀nà PECVD sọ́tọ̀ kúrò lára ​​àwọn ọ̀nà CVD mìíràn ni pé plasma ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn elekitironi agbára gíga, èyí tí ó le pèsè agbára ìṣiṣẹ́ tí a nílò fún ìlànà ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ kẹ́míkà. Ìkọlù àwọn elekitironi àti àwọn molikula ìpele gaasi le ṣe igbelaruge ìbàjẹ́, chemosynthesis, ìtara àti àwọn ilana ionization ti awọn molikula gaasi, tí ó ń mú àwọn ẹgbẹ́ kemikali tí ó ń ṣe àtúnṣe gíga wá, nípa bẹ́ẹ̀ ó dín ìwọ̀n otútù ti ìfipamọ́ fíìmù tinrin CVD kù gidigidi, èyí tí ó mú kí ó ṣeé ṣe láti ṣe ìlànà CVD, èyí tí a kọ́kọ́ nílò láti ṣe ní ìwọ̀n otútù gíga, ní ìwọ̀n otútù kékeré. Àǹfààní ìfipamọ́ fíìmù tinrin ìgbóná kékeré ni pé ó le yẹra fún ìtànkálẹ̀ tí kò pọndandan àti ìṣe kẹ́míkà láàrín fíìmù àti substrate, àwọn ìyípadà ìṣètò àti ìbàjẹ́ fíìmù tàbí ohun èlò substrate, àti àwọn ìfúnpá ooru ńlá nínú fíìmù àti substrate náà.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua